附录C、测试方法C.1、空气洁净度等级测试C 1.1.空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器,采样量应大于1L,min。测试粒径大于或等于0.5μm粒子时.宜采用光散射粒子计数器 测试粒径大于或等于0、1μm的粒子时,宜采用大流量激光粒子计数器 采样量应为28,3L,min 测试粒径小于0、1μm的超微粒子时、宜采用凝聚核激光粒子计数器,C.1 2、采样点的确定应符合下列规定。1、最少采样点应按下式计算,式中.NL.最少采样点,四舍五入取整数.A.洁净室,区,的面积,在水平单向流时.指与气流方向垂直的流动空气的截面积、以m2计、2,采样点应均匀分布于洁净室.区,的面积内、并应位于工作区高度 C,1.3 每次采样的最少采样量应符合下列规定,1.每个采样点的每次采样量,VS。应按下式计算,式中 Cnm,被测洁净室,区,空气洁净度等级被测粒径的允许限值。个、m3 20.在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时 可检测到的粒子数,2 每个采样点的采样量应至少为2L、采样时间应最少为1min 当洁净室 区 仅有1个采样点时、在该点应至少采样3次.当VS很大时,采样时间较长。宜采用顺序采样法、C、1.4。对于单向流洁净室。采样口应对着气流方向、对于非单向流洁净室.采样口宜向上,采样速度宜接近室内气流速度。C,1.5.室内测试人员应穿洁净服。不得超过3人,测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点。并应保持静止.进行换点操作时动作应轻。应减少人员对室内洁净度的干扰 C,1 6 每个采样次数为2次或2次以上的采样点、应按下式计算平均粒子浓度,式中,Xi,采样点i的平均粒子浓度,i可代表任何位置 Xi1至Xin,每次采样的粒子浓度,n.在采样点i的采样次数,C,1.7,采样点为1个时,应按本规范式。C,1。6 计算该点平均粒子浓度。采样点为10个或10个以上时.应按本规范式。C、1。6。计算各点的平均浓度后 再按下式计算洁净室、区,总平均值.式中,X.各采样点平均值的总平均值、Xi1至Xim.按式,C,1,6、计算的各个采样点的平均值,即洁净室,区、总平均值 m.采样点的总数,C.1。8。置信上限,UCL,的计算应符合下列规定 1 当采样点只有1个或多于9个时。不计算95,置信上限,2、采样点为1个以上10个以下时。除应根据本规范式.C,1、7,计算各采样点的平均值和总平均值外。还应按下式计算总平均值的标准偏差、3,应按下式计算总平均值的95,置信上限,式中,t,分布系数、应按表C,1.8取值,表C.1。8,95,置信上限,UCL,的t分布系数。4,每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95,置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时,可认为该洁净室 区.已达到规定的空气洁净度等级,测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时.宜增加均匀分布的新采样点进行测试。应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算.其结果可作为最终检验结果.