附录C、测试方法C、1,空气洁净度等级测试C,1 1 空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器.采样量应大于1L,min,测试粒径大于或等于0、5μm粒子时.宜采用光散射粒子计数器。测试粒径大于或等于0,1μm的粒子时、宜采用大流量激光粒子计数器,采样量应为28、3L,min,测试粒径小于0.1μm的超微粒子时。宜采用凝聚核激光粒子计数器、C.1.2、采样点的确定应符合下列规定、1。最少采样点应按下式计算 式中、NL.最少采样点 四舍五入取整数 A、洁净室、区,的面积、在水平单向流时、指与气流方向垂直的流动空气的截面积,以m2计.2.采样点应均匀分布于洁净室 区 的面积内.并应位于工作区高度,C。1,3 每次采样的最少采样量应符合下列规定,1。每个采样点的每次采样量 VS、应按下式计算.式中,Cnm 被测洁净室。区.空气洁净度等级被测粒径的允许限值。个。m3,20.在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时、可检测到的粒子数 2、每个采样点的采样量应至少为2L.采样时间应最少为1min.当洁净室 区 仅有1个采样点时.在该点应至少采样3次.当VS很大时,采样时间较长、宜采用顺序采样法。C.1.4.对于单向流洁净室。采样口应对着气流方向。对于非单向流洁净室,采样口宜向上。采样速度宜接近室内气流速度.C 1、5、室内测试人员应穿洁净服、不得超过3人、测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点。并应保持静止,进行换点操作时动作应轻、应减少人员对室内洁净度的干扰,C 1,6.每个采样次数为2次或2次以上的采样点,应按下式计算平均粒子浓度 式中、Xi,采样点i的平均粒子浓度,i可代表任何位置,Xi1至Xin 每次采样的粒子浓度,n。在采样点i的采样次数,C、1,7。采样点为1个时.应按本规范式,C 1。6 计算该点平均粒子浓度,采样点为10个或10个以上时,应按本规范式 C、1.6 计算各点的平均浓度后。再按下式计算洁净室,区、总平均值,式中,X,各采样点平均值的总平均值,Xi1至Xim、按式.C。1,6.计算的各个采样点的平均值、即洁净室.区。总平均值,m。采样点的总数 C。1.8,置信上限.UCL.的计算应符合下列规定。1。当采样点只有1个或多于9个时,不计算95.置信上限,2,采样点为1个以上10个以下时,除应根据本规范式.C,1。7、计算各采样点的平均值和总平均值外、还应按下式计算总平均值的标准偏差,3。应按下式计算总平均值的95,置信上限 式中。t。分布系数 应按表C.1,8取值,表C.1,8.95、置信上限。UCL 的t分布系数,4,每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95,置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时 可认为该洁净室.区.已达到规定的空气洁净度等级.测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时,宜增加均匀分布的新采样点进行测试,应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算.其结果可作为最终检验结果.