附录C,测试方法C.1,空气洁净度等级测试C.1 1,空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器,采样量应大于1L、min,测试粒径大于或等于0。5μm粒子时,宜采用光散射粒子计数器,测试粒径大于或等于0 1μm的粒子时、宜采用大流量激光粒子计数器、采样量应为28.3L。min.测试粒径小于0,1μm的超微粒子时 宜采用凝聚核激光粒子计数器、C 1,2。采样点的确定应符合下列规定,1 最少采样点应按下式计算,式中,NL 最少采样点。四舍五入取整数,A.洁净室.区,的面积.在水平单向流时,指与气流方向垂直的流动空气的截面积。以m2计。2 采样点应均匀分布于洁净室。区。的面积内,并应位于工作区高度 C。1.3,每次采样的最少采样量应符合下列规定.1。每个采样点的每次采样量 VS,应按下式计算.式中。Cnm、被测洁净室.区 空气洁净度等级被测粒径的允许限值.个.m3、20,在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时 可检测到的粒子数、2 每个采样点的采样量应至少为2L 采样时间应最少为1min、当洁净室、区、仅有1个采样点时 在该点应至少采样3次、当VS很大时,采样时间较长,宜采用顺序采样法。C 1.4、对于单向流洁净室、采样口应对着气流方向.对于非单向流洁净室 采样口宜向上 采样速度宜接近室内气流速度.C.1,5。室内测试人员应穿洁净服,不得超过3人 测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点、并应保持静止。进行换点操作时动作应轻 应减少人员对室内洁净度的干扰 C,1,6 每个采样次数为2次或2次以上的采样点,应按下式计算平均粒子浓度、式中,Xi.采样点i的平均粒子浓度。i可代表任何位置。Xi1至Xin。每次采样的粒子浓度,n 在采样点i的采样次数,C、1,7.采样点为1个时、应按本规范式.C.1 6 计算该点平均粒子浓度,采样点为10个或10个以上时.应按本规范式.C。1 6,计算各点的平均浓度后,再按下式计算洁净室、区,总平均值,式中.X 各采样点平均值的总平均值,Xi1至Xim、按式,C,1 6,计算的各个采样点的平均值.即洁净室。区,总平均值。m、采样点的总数,C、1。8、置信上限。UCL.的计算应符合下列规定,1,当采样点只有1个或多于9个时、不计算95 置信上限 2.采样点为1个以上10个以下时.除应根据本规范式。C。1 7.计算各采样点的平均值和总平均值外,还应按下式计算总平均值的标准偏差.3。应按下式计算总平均值的95,置信上限 式中 t,分布系数,应按表C,1,8取值 表C,1 8、95.置信上限。UCL、的t分布系数。4,每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95.置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时、可认为该洁净室。区。已达到规定的空气洁净度等级 测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时 宜增加均匀分布的新采样点进行测试、应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算 其结果可作为最终检验结果,