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附录C 测试方法C.1,空气洁净度等级测试C、1。1.空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器.采样量应大于1L,min.测试粒径大于或等于0.5μm粒子时,宜采用光散射粒子计数器、测试粒径大于或等于0、1μm的粒子时.宜采用大流量激光粒子计数器、采样量应为28.3L,min,测试粒径小于0。1μm的超微粒子时.宜采用凝聚核激光粒子计数器,C,1。2,采样点的确定应符合下列规定、1、最少采样点应按下式计算。式中,NL。最少采样点。四舍五入取整数,A。洁净室、区 的面积.在水平单向流时 指与气流方向垂直的流动空气的截面积,以m2计、2、采样点应均匀分布于洁净室 区。的面积内、并应位于工作区高度.C、1。3.每次采样的最少采样量应符合下列规定,1.每个采样点的每次采样量,VS、应按下式计算。式中.Cnm 被测洁净室.区.空气洁净度等级被测粒径的允许限值.个,m3、20,在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时,可检测到的粒子数。2。每个采样点的采样量应至少为2L、采样时间应最少为1min,当洁净室,区。仅有1个采样点时 在该点应至少采样3次、当VS很大时 采样时间较长、宜采用顺序采样法。C、1.4。对于单向流洁净室,采样口应对着气流方向.对于非单向流洁净室、采样口宜向上,采样速度宜接近室内气流速度,C,1,5、室内测试人员应穿洁净服,不得超过3人.测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点 并应保持静止 进行换点操作时动作应轻。应减少人员对室内洁净度的干扰。C。1 6.每个采样次数为2次或2次以上的采样点.应按下式计算平均粒子浓度、式中,Xi、采样点i的平均粒子浓度,i可代表任何位置,Xi1至Xin。每次采样的粒子浓度、n,在采样点i的采样次数.C.1.7、采样点为1个时,应按本规范式.C 1、6。计算该点平均粒子浓度,采样点为10个或10个以上时 应按本规范式,C、1 6,计算各点的平均浓度后.再按下式计算洁净室,区。总平均值,式中。X 各采样点平均值的总平均值、Xi1至Xim,按式,C。1.6,计算的各个采样点的平均值。即洁净室.区。总平均值.m.采样点的总数.C 1,8、置信上限,UCL,的计算应符合下列规定,1。当采样点只有1个或多于9个时 不计算95.置信上限,2。采样点为1个以上10个以下时,除应根据本规范式.C、1、7。计算各采样点的平均值和总平均值外,还应按下式计算总平均值的标准偏差 3、应按下式计算总平均值的95、置信上限,式中,t 分布系数,应按表C.1,8取值 表C.1.8,95 置信上限,UCL,的t分布系数,4、每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95.置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时,可认为该洁净室,区、已达到规定的空气洁净度等级。测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时,宜增加均匀分布的新采样点进行测试。应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算。其结果可作为最终检验结果、
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