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附录C、测试方法C 1,空气洁净度等级测试C,1 1.空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器,采样量应大于1L、min.测试粒径大于或等于0,5μm粒子时,宜采用光散射粒子计数器、测试粒径大于或等于0。1μm的粒子时、宜采用大流量激光粒子计数器。采样量应为28。3L.min,测试粒径小于0 1μm的超微粒子时,宜采用凝聚核激光粒子计数器 C,1 2 采样点的确定应符合下列规定、1,最少采样点应按下式计算。式中.NL.最少采样点,四舍五入取整数.A.洁净室,区。的面积,在水平单向流时.指与气流方向垂直的流动空气的截面积,以m2计.2、采样点应均匀分布于洁净室.区.的面积内,并应位于工作区高度、C、1、3、每次采样的最少采样量应符合下列规定,1,每个采样点的每次采样量。VS,应按下式计算,式中.Cnm、被测洁净室.区。空气洁净度等级被测粒径的允许限值.个 m3,20,在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时,可检测到的粒子数。2、每个采样点的采样量应至少为2L,采样时间应最少为1min.当洁净室、区,仅有1个采样点时、在该点应至少采样3次 当VS很大时。采样时间较长.宜采用顺序采样法 C 1,4,对于单向流洁净室.采样口应对着气流方向.对于非单向流洁净室,采样口宜向上,采样速度宜接近室内气流速度,C,1,5。室内测试人员应穿洁净服。不得超过3人。测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点.并应保持静止 进行换点操作时动作应轻 应减少人员对室内洁净度的干扰,C 1 6、每个采样次数为2次或2次以上的采样点。应按下式计算平均粒子浓度。式中。Xi。采样点i的平均粒子浓度、i可代表任何位置。Xi1至Xin。每次采样的粒子浓度 n,在采样点i的采样次数 C,1 7、采样点为1个时,应按本规范式.C。1。6,计算该点平均粒子浓度、采样点为10个或10个以上时。应按本规范式、C,1,6,计算各点的平均浓度后,再按下式计算洁净室,区、总平均值 式中 X.各采样点平均值的总平均值。Xi1至Xim,按式。C 1.6、计算的各个采样点的平均值,即洁净室,区、总平均值。m,采样点的总数,C、1,8.置信上限,UCL.的计算应符合下列规定、1,当采样点只有1个或多于9个时.不计算95.置信上限,2。采样点为1个以上10个以下时、除应根据本规范式 C。1 7 计算各采样点的平均值和总平均值外。还应按下式计算总平均值的标准偏差,3,应按下式计算总平均值的95,置信上限,式中、t、分布系数,应按表C.1、8取值、表C 1。8。95,置信上限,UCL,的t分布系数.4。每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95。置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时、可认为该洁净室、区 已达到规定的空气洁净度等级,测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时、宜增加均匀分布的新采样点进行测试。应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算,其结果可作为最终检验结果、
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