附录C,测试方法C,1,空气洁净度等级测试C,1,1。空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器 采样量应大于1L.min,测试粒径大于或等于0,5μm粒子时.宜采用光散射粒子计数器,测试粒径大于或等于0 1μm的粒子时.宜采用大流量激光粒子计数器。采样量应为28,3L.min.测试粒径小于0、1μm的超微粒子时.宜采用凝聚核激光粒子计数器 C、1 2。采样点的确定应符合下列规定,1、最少采样点应按下式计算、式中,NL。最少采样点 四舍五入取整数 A。洁净室,区、的面积 在水平单向流时。指与气流方向垂直的流动空气的截面积,以m2计,2、采样点应均匀分布于洁净室 区 的面积内、并应位于工作区高度.C,1,3,每次采样的最少采样量应符合下列规定、1、每个采样点的每次采样量。VS、应按下式计算。式中,Cnm,被测洁净室。区 空气洁净度等级被测粒径的允许限值。个,m3,20 在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时、可检测到的粒子数,2、每个采样点的采样量应至少为2L。采样时间应最少为1min。当洁净室,区。仅有1个采样点时、在该点应至少采样3次,当VS很大时.采样时间较长 宜采用顺序采样法 C。1 4、对于单向流洁净室.采样口应对着气流方向。对于非单向流洁净室,采样口宜向上、采样速度宜接近室内气流速度,C 1,5,室内测试人员应穿洁净服 不得超过3人.测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点、并应保持静止 进行换点操作时动作应轻、应减少人员对室内洁净度的干扰,C 1.6 每个采样次数为2次或2次以上的采样点,应按下式计算平均粒子浓度,式中,Xi.采样点i的平均粒子浓度。i可代表任何位置,Xi1至Xin,每次采样的粒子浓度,n 在采样点i的采样次数,C.1,7。采样点为1个时 应按本规范式 C。1、6.计算该点平均粒子浓度、采样点为10个或10个以上时。应按本规范式.C 1,6.计算各点的平均浓度后。再按下式计算洁净室、区、总平均值.式中。X,各采样点平均值的总平均值.Xi1至Xim。按式,C,1、6 计算的各个采样点的平均值 即洁净室,区,总平均值 m、采样点的总数、C。1,8.置信上限,UCL.的计算应符合下列规定、1、当采样点只有1个或多于9个时.不计算95,置信上限.2,采样点为1个以上10个以下时,除应根据本规范式。C。1。7,计算各采样点的平均值和总平均值外。还应按下式计算总平均值的标准偏差.3.应按下式计算总平均值的95、置信上限 式中,t 分布系数。应按表C,1,8取值,表C 1。8.95。置信上限 UCL,的t分布系数 4.每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95.置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时 可认为该洁净室。区,已达到规定的空气洁净度等级 测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时、宜增加均匀分布的新采样点进行测试.应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算,其结果可作为最终检验结果,