附录C,测试方法C 1、空气洁净度等级测试C，1.1 空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器 采样量应大于1L,min、测试粒径大于或等于0。5μm粒子时、宜采用光散射粒子计数器,测试粒径大于或等于0。1μm的粒子时，宜采用大流量激光粒子计数器，采样量应为28、3L,min。测试粒径小于0、1μm的超微粒子时 宜采用凝聚核激光粒子计数器、C.1。2，采样点的确定应符合下列规定，1.最少采样点应按下式计算,式中。NL.最少采样点、四舍五入取整数.A。洁净室。区、的面积、在水平单向流时 指与气流方向垂直的流动空气的截面积.以m2计。2，采样点应均匀分布于洁净室,区，的面积内、并应位于工作区高度。C 1、3.每次采样的最少采样量应符合下列规定.1.每个采样点的每次采样量、VS.应按下式计算，式中 Cnm 被测洁净室 区,空气洁净度等级被测粒径的允许限值，个、m3。20,在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时 可检测到的粒子数、2.每个采样点的采样量应至少为2L，采样时间应最少为1min 当洁净室.区.仅有1个采样点时、在该点应至少采样3次，当VS很大时、采样时间较长，宜采用顺序采样法。C 1 4、对于单向流洁净室，采样口应对着气流方向 对于非单向流洁净室，采样口宜向上。采样速度宜接近室内气流速度、C 1,5，室内测试人员应穿洁净服，不得超过3人,测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点。并应保持静止、进行换点操作时动作应轻。应减少人员对室内洁净度的干扰，C.1。6。每个采样次数为2次或2次以上的采样点。应按下式计算平均粒子浓度。式中，Xi。采样点i的平均粒子浓度 i可代表任何位置。Xi1至Xin。每次采样的粒子浓度。n。在采样点i的采样次数、C,1 7，采样点为1个时。应按本规范式.C 1。6，计算该点平均粒子浓度,采样点为10个或10个以上时,应按本规范式，C.1,6 计算各点的平均浓度后，再按下式计算洁净室,区，总平均值、式中 X。各采样点平均值的总平均值，Xi1至Xim、按式，C。1 6.计算的各个采样点的平均值，即洁净室.区.总平均值、m,采样点的总数,C，1,8 置信上限，UCL,的计算应符合下列规定、1.当采样点只有1个或多于9个时、不计算95,置信上限 2.采样点为1个以上10个以下时。除应根据本规范式、C、1,7，计算各采样点的平均值和总平均值外、还应按下式计算总平均值的标准偏差、3 应按下式计算总平均值的95.置信上限，式中,t，分布系数，应按表C.1,8取值。表C 1，8.95 置信上限，UCL,的t分布系数，4,每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95 置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时,可认为该洁净室 区,已达到规定的空气洁净度等级.测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时,宜增加均匀分布的新采样点进行测试,应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算。其结果可作为最终检验结果.