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附录C、测试方法C。1。空气洁净度等级测试C、1.1.空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器 采样量应大于1L,min、测试粒径大于或等于0、5μm粒子时、宜采用光散射粒子计数器。测试粒径大于或等于0 1μm的粒子时,宜采用大流量激光粒子计数器 采样量应为28。3L,min,测试粒径小于0,1μm的超微粒子时.宜采用凝聚核激光粒子计数器,C.1,2.采样点的确定应符合下列规定.1,最少采样点应按下式计算、式中,NL,最少采样点,四舍五入取整数 A,洁净室,区 的面积、在水平单向流时。指与气流方向垂直的流动空气的截面积.以m2计,2、采样点应均匀分布于洁净室。区、的面积内.并应位于工作区高度、C 1,3 每次采样的最少采样量应符合下列规定,1,每个采样点的每次采样量、VS。应按下式计算.式中。Cnm。被测洁净室.区,空气洁净度等级被测粒径的允许限值。个 m3.20。在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时,可检测到的粒子数、2,每个采样点的采样量应至少为2L,采样时间应最少为1min。当洁净室 区,仅有1个采样点时 在该点应至少采样3次 当VS很大时、采样时间较长、宜采用顺序采样法、C,1。4,对于单向流洁净室 采样口应对着气流方向 对于非单向流洁净室 采样口宜向上,采样速度宜接近室内气流速度。C、1,5,室内测试人员应穿洁净服、不得超过3人 测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点、并应保持静止.进行换点操作时动作应轻,应减少人员对室内洁净度的干扰 C.1,6。每个采样次数为2次或2次以上的采样点 应按下式计算平均粒子浓度。式中,Xi.采样点i的平均粒子浓度。i可代表任何位置。Xi1至Xin,每次采样的粒子浓度,n 在采样点i的采样次数 C,1、7,采样点为1个时,应按本规范式.C 1。6.计算该点平均粒子浓度.采样点为10个或10个以上时。应按本规范式.C,1.6,计算各点的平均浓度后,再按下式计算洁净室、区.总平均值.式中。X。各采样点平均值的总平均值 Xi1至Xim,按式。C,1、6 计算的各个采样点的平均值 即洁净室.区、总平均值、m.采样点的总数,C。1、8 置信上限.UCL、的计算应符合下列规定,1。当采样点只有1个或多于9个时、不计算95 置信上限。2,采样点为1个以上10个以下时。除应根据本规范式、C.1、7,计算各采样点的平均值和总平均值外,还应按下式计算总平均值的标准偏差,3.应按下式计算总平均值的95 置信上限、式中、t,分布系数、应按表C,1.8取值、表C、1,8、95 置信上限 UCL、的t分布系数,4,每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95、置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时,可认为该洁净室、区,已达到规定的空气洁净度等级,测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时。宜增加均匀分布的新采样点进行测试.应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算。其结果可作为最终检验结果.
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