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附录C,测试方法C 1、空气洁净度等级测试C,1。1、空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器,采样量应大于1L min,测试粒径大于或等于0.5μm粒子时.宜采用光散射粒子计数器 测试粒径大于或等于0,1μm的粒子时、宜采用大流量激光粒子计数器。采样量应为28。3L、min.测试粒径小于0,1μm的超微粒子时。宜采用凝聚核激光粒子计数器、C,1、2、采样点的确定应符合下列规定,1,最少采样点应按下式计算 式中、NL.最少采样点,四舍五入取整数。A.洁净室,区,的面积。在水平单向流时、指与气流方向垂直的流动空气的截面积,以m2计.2 采样点应均匀分布于洁净室,区,的面积内 并应位于工作区高度,C,1,3.每次采样的最少采样量应符合下列规定.1、每个采样点的每次采样量.VS、应按下式计算.式中,Cnm。被测洁净室 区 空气洁净度等级被测粒径的允许限值、个。m3,20。在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时。可检测到的粒子数 2,每个采样点的采样量应至少为2L,采样时间应最少为1min。当洁净室,区,仅有1个采样点时.在该点应至少采样3次 当VS很大时.采样时间较长,宜采用顺序采样法,C,1、4,对于单向流洁净室。采样口应对着气流方向 对于非单向流洁净室 采样口宜向上,采样速度宜接近室内气流速度。C.1,5。室内测试人员应穿洁净服,不得超过3人、测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点.并应保持静止,进行换点操作时动作应轻,应减少人员对室内洁净度的干扰,C,1.6.每个采样次数为2次或2次以上的采样点 应按下式计算平均粒子浓度,式中、Xi。采样点i的平均粒子浓度、i可代表任何位置.Xi1至Xin,每次采样的粒子浓度 n,在采样点i的采样次数 C、1。7。采样点为1个时.应按本规范式,C,1。6、计算该点平均粒子浓度,采样点为10个或10个以上时、应按本规范式 C、1、6、计算各点的平均浓度后.再按下式计算洁净室。区.总平均值.式中。X.各采样点平均值的总平均值。Xi1至Xim.按式 C 1,6、计算的各个采样点的平均值,即洁净室、区.总平均值。m 采样点的总数,C、1.8、置信上限,UCL 的计算应符合下列规定。1。当采样点只有1个或多于9个时、不计算95。置信上限、2,采样点为1个以上10个以下时 除应根据本规范式、C,1.7 计算各采样点的平均值和总平均值外.还应按下式计算总平均值的标准偏差.3 应按下式计算总平均值的95,置信上限.式中、t、分布系数,应按表C。1。8取值,表C、1,8,95,置信上限、UCL 的t分布系数,4,每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95,置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时,可认为该洁净室.区。已达到规定的空气洁净度等级,测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时,宜增加均匀分布的新采样点进行测试.应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算,其结果可作为最终检验结果,
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