附录C、测试方法C.1 空气洁净度等级测试C,1 1,空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器 采样量应大于1L,min,测试粒径大于或等于0.5μm粒子时,宜采用光散射粒子计数器。测试粒径大于或等于0。1μm的粒子时,宜采用大流量激光粒子计数器,采样量应为28,3L、min。测试粒径小于0 1μm的超微粒子时,宜采用凝聚核激光粒子计数器 C、1,2。采样点的确定应符合下列规定、1.最少采样点应按下式计算,式中、NL 最少采样点,四舍五入取整数,A.洁净室,区,的面积 在水平单向流时。指与气流方向垂直的流动空气的截面积、以m2计 2 采样点应均匀分布于洁净室,区 的面积内。并应位于工作区高度,C 1,3.每次采样的最少采样量应符合下列规定,1.每个采样点的每次采样量,VS 应按下式计算、式中,Cnm,被测洁净室.区,空气洁净度等级被测粒径的允许限值,个,m3.20.在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时,可检测到的粒子数 2,每个采样点的采样量应至少为2L.采样时间应最少为1min.当洁净室,区、仅有1个采样点时,在该点应至少采样3次 当VS很大时,采样时间较长。宜采用顺序采样法、C、1,4.对于单向流洁净室.采样口应对着气流方向.对于非单向流洁净室。采样口宜向上,采样速度宜接近室内气流速度、C。1.5.室内测试人员应穿洁净服、不得超过3人 测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点、并应保持静止,进行换点操作时动作应轻.应减少人员对室内洁净度的干扰.C,1 6,每个采样次数为2次或2次以上的采样点,应按下式计算平均粒子浓度,式中.Xi.采样点i的平均粒子浓度、i可代表任何位置.Xi1至Xin 每次采样的粒子浓度 n、在采样点i的采样次数,C。1,7 采样点为1个时。应按本规范式,C、1.6 计算该点平均粒子浓度、采样点为10个或10个以上时 应按本规范式.C、1,6、计算各点的平均浓度后,再按下式计算洁净室,区.总平均值 式中、X。各采样点平均值的总平均值.Xi1至Xim、按式,C,1.6,计算的各个采样点的平均值、即洁净室,区、总平均值,m。采样点的总数.C,1、8,置信上限,UCL 的计算应符合下列规定、1、当采样点只有1个或多于9个时.不计算95 置信上限.2。采样点为1个以上10个以下时,除应根据本规范式.C。1 7 计算各采样点的平均值和总平均值外,还应按下式计算总平均值的标准偏差,3,应按下式计算总平均值的95 置信上限,式中,t 分布系数,应按表C、1、8取值.表C.1 8.95。置信上限、UCL.的t分布系数 4、每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95.置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时。可认为该洁净室,区.已达到规定的空气洁净度等级 测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时。宜增加均匀分布的新采样点进行测试,应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算,其结果可作为最终检验结果,