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- 电子工业废气处理工程设计标准 GB 51401-2019
- 条文说明
- 1 总则
- 3 基本规定
- 4 工艺及工艺设备
- 5 碱性废气系统
- 6 酸性废气系统
- 7 挥发性有机物废气系统
- 8 特种废气系统
- 8．1 一般规定
- 8．2 烷类尾气处理系统
- 8．3 全氟化合物（PFC）尾气处理系统
- 8．4 其他特种尾气处理系统
- 8．5 中央废气处理系统
- 9 除尘系统
- 10 电子玻璃窑炉废气系统
- 11 事故通风
- 12 电气设计
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8。4.其他特种尾气处理系统8、4,2。外延设备的尾气处理设备处理的尾气中含有氢气，氢气为燃烧爆炸性气体 从安全角度考虑 制定了本条规定,8,4 4。为了避免尾气遇低温时析出粉尘,从而堵塞管路系统.制定了本条第2款规定.
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