8，特种废气系统8.1.一般规定8，1。1.本条规定了特种废气处理系统的设置要求,1,特种废气的尾气处理设备包括干法吸附式 热氧化式、淋洗式。等离子式等,3.尾气处理设备的入口。设备腔体内.管路以及等离子头等需要定期清理 短则2个月 3个月、长则3个月,6个月，为了确保稳定生产。特种尾气设备一般考虑备用,8.1。2、本条规定了管道连接的要求 1,不同工艺设备及同一工艺设备的不同腔体使用相容气体时,一般采用图4。图7接法 工艺设备不同腔体使用不相容气体时.要采用图5接法、不要采用图4、图7接法、2,工艺设备的排出口与尾气处理设备的进入口,要一一对应图4 图5接法,图6合并使用的接法,在接头处易造成堵塞、故一般不采用、8。1,3，为了减少系统的阻力以及避免冷凝液和颗粒物的积聚，要减少管路中的弯头和变径,当处理气体有含有自燃气体、如硅烷 可燃气体时、为了避免其余渗入的氧气混合引起燃烧或爆炸。要减少管路上的接头.8,1、5,在尾气处理设备的出口设置取样口以便于检测 8。1,7，从安全角度考虑、制定了本条规定，8.1,8 采用淋洗式尾气处理设备时 由于其排出的气体中含有水蒸气。故制定了本条规定，