8.特种废气系统8、1。一般规定8、1。1。本条规定了特种废气处理系统的设置要求。1.特种废气的尾气处理设备包括干法吸附式。热氧化式、淋洗式,等离子式等。3,尾气处理设备的入口，设备腔体内 管路以及等离子头等需要定期清理 短则2个月,3个月,长则3个月、6个月.为了确保稳定生产、特种尾气设备一般考虑备用 8 1，2.本条规定了管道连接的要求 1、不同工艺设备及同一工艺设备的不同腔体使用相容气体时，一般采用图4、图7接法 工艺设备不同腔体使用不相容气体时、要采用图5接法，不要采用图4.图7接法.2，工艺设备的排出口与尾气处理设备的进入口.要一一对应图4.图5接法 图6合并使用的接法.在接头处易造成堵塞 故一般不采用、8 1、3.为了减少系统的阻力以及避免冷凝液和颗粒物的积聚，要减少管路中的弯头和变径 当处理气体有含有自燃气体,如硅烷、可燃气体时。为了避免其余渗入的氧气混合引起燃烧或爆炸 要减少管路上的接头,8，1 5，在尾气处理设备的出口设置取样口以便于检测。8.1 7、从安全角度考虑。制定了本条规定。8，1、8 采用淋洗式尾气处理设备时。由于其排出的气体中含有水蒸气,故制定了本条规定、