8,特种废气系统8,1.一般规定8。1.1 本条规定了特种废气处理系统的设置要求、1。特种废气的尾气处理设备包括干法吸附式、热氧化式、淋洗式、等离子式等。3。尾气处理设备的入口，设备腔体内、管路以及等离子头等需要定期清理,短则2个月,3个月。长则3个月 6个月。为了确保稳定生产。特种尾气设备一般考虑备用,8,1。2。本条规定了管道连接的要求、1 不同工艺设备及同一工艺设备的不同腔体使用相容气体时,一般采用图4.图7接法。工艺设备不同腔体使用不相容气体时、要采用图5接法，不要采用图4。图7接法、2.工艺设备的排出口与尾气处理设备的进入口 要一一对应图4,图5接法，图6合并使用的接法。在接头处易造成堵塞，故一般不采用 8。1.3 为了减少系统的阻力以及避免冷凝液和颗粒物的积聚，要减少管路中的弯头和变径、当处理气体有含有自燃气体,如硅烷，可燃气体时。为了避免其余渗入的氧气混合引起燃烧或爆炸,要减少管路上的接头 8 1。5，在尾气处理设备的出口设置取样口以便于检测 8,1 7。从安全角度考虑,制定了本条规定、8 1、8、采用淋洗式尾气处理设备时.由于其排出的气体中含有水蒸气 故制定了本条规定。