8、特种废气系统8 1,一般规定8，1。1，本条规定了特种废气处理系统的设置要求 1、特种废气的尾气处理设备包括干法吸附式.热氧化式。淋洗式、等离子式等。3.尾气处理设备的入口。设备腔体内.管路以及等离子头等需要定期清理,短则2个月.3个月、长则3个月,6个月。为了确保稳定生产 特种尾气设备一般考虑备用、8，1、2.本条规定了管道连接的要求。1,不同工艺设备及同一工艺设备的不同腔体使用相容气体时。一般采用图4。图7接法。工艺设备不同腔体使用不相容气体时 要采用图5接法 不要采用图4,图7接法.2.工艺设备的排出口与尾气处理设备的进入口,要一一对应图4。图5接法，图6合并使用的接法、在接头处易造成堵塞。故一般不采用。8，1 3、为了减少系统的阻力以及避免冷凝液和颗粒物的积聚。要减少管路中的弯头和变径、当处理气体有含有自燃气体、如硅烷、可燃气体时，为了避免其余渗入的氧气混合引起燃烧或爆炸.要减少管路上的接头,8 1、5，在尾气处理设备的出口设置取样口以便于检测.8 1.7，从安全角度考虑、制定了本条规定 8，1.8，采用淋洗式尾气处理设备时。由于其排出的气体中含有水蒸气，故制定了本条规定