8,特种废气系统8、1。一般规定8 1 1 本条规定了特种废气处理系统的设置要求 1.特种废气的尾气处理设备包括干法吸附式.热氧化式 淋洗式。等离子式等 3,尾气处理设备的入口.设备腔体内,管路以及等离子头等需要定期清理、短则2个月，3个月、长则3个月 6个月 为了确保稳定生产.特种尾气设备一般考虑备用,8、1,2.本条规定了管道连接的要求,1,不同工艺设备及同一工艺设备的不同腔体使用相容气体时,一般采用图4，图7接法，工艺设备不同腔体使用不相容气体时、要采用图5接法,不要采用图4 图7接法,2.工艺设备的排出口与尾气处理设备的进入口、要一一对应图4,图5接法,图6合并使用的接法,在接头处易造成堵塞、故一般不采用 8、1,3。为了减少系统的阻力以及避免冷凝液和颗粒物的积聚.要减少管路中的弯头和变径、当处理气体有含有自燃气体、如硅烷。可燃气体时，为了避免其余渗入的氧气混合引起燃烧或爆炸，要减少管路上的接头,8、1.5。在尾气处理设备的出口设置取样口以便于检测，8 1 7,从安全角度考虑，制定了本条规定、8、1、8,采用淋洗式尾气处理设备时。由于其排出的气体中含有水蒸气。故制定了本条规定,