8，特种废气系统8,1，一般规定8.1，1，本条规定了特种废气处理系统的设置要求、1，特种废气的尾气处理设备包括干法吸附式。热氧化式，淋洗式,等离子式等，3。尾气处理设备的入口。设备腔体内.管路以及等离子头等需要定期清理。短则2个月、3个月、长则3个月、6个月.为了确保稳定生产.特种尾气设备一般考虑备用.8,1、2.本条规定了管道连接的要求,1、不同工艺设备及同一工艺设备的不同腔体使用相容气体时，一般采用图4,图7接法，工艺设备不同腔体使用不相容气体时 要采用图5接法,不要采用图4,图7接法，2。工艺设备的排出口与尾气处理设备的进入口.要一一对应图4，图5接法、图6合并使用的接法。在接头处易造成堵塞。故一般不采用 8.1,3 为了减少系统的阻力以及避免冷凝液和颗粒物的积聚.要减少管路中的弯头和变径,当处理气体有含有自燃气体，如硅烷、可燃气体时,为了避免其余渗入的氧气混合引起燃烧或爆炸、要减少管路上的接头，8，1，5。在尾气处理设备的出口设置取样口以便于检测 8 1,7、从安全角度考虑,制定了本条规定，8、1，8。采用淋洗式尾气处理设备时 由于其排出的气体中含有水蒸气，故制定了本条规定