8.特种废气系统8.1，一般规定8 1、1 本条规定了特种废气处理系统的设置要求,1，特种废气的尾气处理设备包括干法吸附式 热氧化式 淋洗式.等离子式等，3、尾气处理设备的入口.设备腔体内，管路以及等离子头等需要定期清理、短则2个月 3个月。长则3个月，6个月,为了确保稳定生产 特种尾气设备一般考虑备用。8、1、2、本条规定了管道连接的要求,1。不同工艺设备及同一工艺设备的不同腔体使用相容气体时，一般采用图4。图7接法 工艺设备不同腔体使用不相容气体时、要采用图5接法.不要采用图4。图7接法.2、工艺设备的排出口与尾气处理设备的进入口，要一一对应图4 图5接法.图6合并使用的接法 在接头处易造成堵塞，故一般不采用，8、1.3.为了减少系统的阻力以及避免冷凝液和颗粒物的积聚,要减少管路中的弯头和变径、当处理气体有含有自燃气体.如硅烷。可燃气体时，为了避免其余渗入的氧气混合引起燃烧或爆炸，要减少管路上的接头.8,1.5、在尾气处理设备的出口设置取样口以便于检测。8。1、7、从安全角度考虑。制定了本条规定.8.1、8。采用淋洗式尾气处理设备时,由于其排出的气体中含有水蒸气。故制定了本条规定