8 特种废气系统8。1、一般规定8。1.1、本条规定了特种废气处理系统的设置要求,1 特种废气的尾气处理设备包括干法吸附式、热氧化式。淋洗式。等离子式等。3，尾气处理设备的入口.设备腔体内.管路以及等离子头等需要定期清理.短则2个月，3个月.长则3个月，6个月 为了确保稳定生产.特种尾气设备一般考虑备用 8.1、2，本条规定了管道连接的要求、1 不同工艺设备及同一工艺设备的不同腔体使用相容气体时、一般采用图4、图7接法.工艺设备不同腔体使用不相容气体时。要采用图5接法，不要采用图4，图7接法,2,工艺设备的排出口与尾气处理设备的进入口、要一一对应图4，图5接法,图6合并使用的接法.在接头处易造成堵塞,故一般不采用。8 1 3、为了减少系统的阻力以及避免冷凝液和颗粒物的积聚。要减少管路中的弯头和变径 当处理气体有含有自燃气体、如硅烷，可燃气体时，为了避免其余渗入的氧气混合引起燃烧或爆炸 要减少管路上的接头,8，1.5、在尾气处理设备的出口设置取样口以便于检测,8 1.7 从安全角度考虑、制定了本条规定、8 1，8。采用淋洗式尾气处理设备时。由于其排出的气体中含有水蒸气 故制定了本条规定、