8、特种废气系统8.1。一般规定8 1、1、本条规定了特种废气处理系统的设置要求,1 特种废气的尾气处理设备包括干法吸附式.热氧化式、淋洗式。等离子式等，3,尾气处理设备的入口。设备腔体内 管路以及等离子头等需要定期清理，短则2个月.3个月。长则3个月.6个月、为了确保稳定生产.特种尾气设备一般考虑备用.8.1。2。本条规定了管道连接的要求.1、不同工艺设备及同一工艺设备的不同腔体使用相容气体时、一般采用图4。图7接法，工艺设备不同腔体使用不相容气体时、要采用图5接法。不要采用图4.图7接法 2，工艺设备的排出口与尾气处理设备的进入口，要一一对应图4 图5接法.图6合并使用的接法.在接头处易造成堵塞.故一般不采用,8,1 3 为了减少系统的阻力以及避免冷凝液和颗粒物的积聚.要减少管路中的弯头和变径、当处理气体有含有自燃气体，如硅烷,可燃气体时 为了避免其余渗入的氧气混合引起燃烧或爆炸、要减少管路上的接头。8。1,5、在尾气处理设备的出口设置取样口以便于检测,8,1 7,从安全角度考虑.制定了本条规定。8 1，8、采用淋洗式尾气处理设备时,由于其排出的气体中含有水蒸气,故制定了本条规定,