8。2,烷类尾气处理系统8，2，1，PC，TWA值见，工作场所有害因素职业接触限值 第1部分。化学有害因素、GBZ 2.1,8,2。3,本条规定了几种尾气的处理方式,1。因为硅烷易与空气发生反应 产生二氧化硅 极易堵塞管道，故需要进行就地洗涤.而采用离子式的方式易堵塞火炬头、故不推荐.2、对于废气量大的设备宜采用.热氧化。洗涤。的方式，如、CVD 量小的一般采用吸附式的方式、如离子注入机、特气站均采用吸附式。3，由于乙硼烷直接用吸收液处理效率较高。故推荐此方式、