8 2、烷类尾气处理系统8，2，1。PC,TWA值见，工作场所有害因素职业接触限值、第1部分.化学有害因素、GBZ、2.1,8、2，3，本条规定了几种尾气的处理方式，1,因为硅烷易与空气发生反应、产生二氧化硅.极易堵塞管道。故需要进行就地洗涤,而采用离子式的方式易堵塞火炬头,故不推荐，2,对于废气量大的设备宜采用 热氧化,洗涤，的方式。如、CVD、量小的一般采用吸附式的方式 如离子注入机。特气站均采用吸附式，3。由于乙硼烷直接用吸收液处理效率较高、故推荐此方式、