8.2、烷类尾气处理系统8。2,1 PC，TWA值见、工作场所有害因素职业接触限值。第1部分 化学有害因素.GBZ 2.1。8。2.3.本条规定了几种尾气的处理方式，1,因为硅烷易与空气发生反应。产生二氧化硅.极易堵塞管道.故需要进行就地洗涤。而采用离子式的方式易堵塞火炬头、故不推荐.2.对于废气量大的设备宜采用、热氧化,洗涤,的方式、如 CVD。量小的一般采用吸附式的方式,如离子注入机、特气站均采用吸附式。3。由于乙硼烷直接用吸收液处理效率较高。故推荐此方式,