8，2、烷类尾气处理系统8、2 1.PC TWA值见 工作场所有害因素职业接触限值 第1部分.化学有害因素，GBZ，2,1。8。2 3，本条规定了几种尾气的处理方式，1 因为硅烷易与空气发生反应。产生二氧化硅 极易堵塞管道,故需要进行就地洗涤.而采用离子式的方式易堵塞火炬头,故不推荐、2.对于废气量大的设备宜采用 热氧化.洗涤。的方式 如、CVD 量小的一般采用吸附式的方式 如离子注入机、特气站均采用吸附式、3，由于乙硼烷直接用吸收液处理效率较高，故推荐此方式.