8,2，烷类尾气处理系统8.2。1。PC TWA值见，工作场所有害因素职业接触限值.第1部分。化学有害因素 GBZ、2，1.8。2 3。本条规定了几种尾气的处理方式。1 因为硅烷易与空气发生反应。产生二氧化硅。极易堵塞管道 故需要进行就地洗涤,而采用离子式的方式易堵塞火炬头.故不推荐,2 对于废气量大的设备宜采用。热氧化 洗涤.的方式.如,CVD。量小的一般采用吸附式的方式、如离子注入机。特气站均采用吸附式 3.由于乙硼烷直接用吸收液处理效率较高。故推荐此方式.