8,2。烷类尾气处理系统8、2，1、PC,TWA值见，工作场所有害因素职业接触限值 第1部分，化学有害因素,GBZ、2,1。8。2 3.本条规定了几种尾气的处理方式，1，因为硅烷易与空气发生反应。产生二氧化硅。极易堵塞管道 故需要进行就地洗涤、而采用离子式的方式易堵塞火炬头.故不推荐。2,对于废气量大的设备宜采用.热氧化,洗涤、的方式.如。CVD 量小的一般采用吸附式的方式,如离子注入机 特气站均采用吸附式.3、由于乙硼烷直接用吸收液处理效率较高，故推荐此方式。