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- 电子工业废气处理工程设计标准 GB 51401-2019
- 条文说明
- 1 总则
- 3 基本规定
- 4 工艺及工艺设备
- 5 碱性废气系统
- 6 酸性废气系统
- 7 挥发性有机物废气系统
- 8 特种废气系统
- 8．1 一般规定
- 8．2 烷类尾气处理系统
- 8．3 全氟化合物（PFC）尾气处理系统
- 8．4 其他特种尾气处理系统
- 8．5 中央废气处理系统
- 9 除尘系统
- 10 电子玻璃窑炉废气系统
- 11 事故通风
- 12 电气设计
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8,2。烷类尾气处理系统8 2、1，PC。TWA值见、工作场所有害因素职业接触限值,第1部分,化学有害因素,GBZ 2。1 8。2，3，本条规定了几种尾气的处理方式.1 因为硅烷易与空气发生反应、产生二氧化硅，极易堵塞管道.故需要进行就地洗涤 而采用离子式的方式易堵塞火炬头。故不推荐，2、对于废气量大的设备宜采用,热氧化。洗涤。的方式。如.CVD.量小的一般采用吸附式的方式、如离子注入机、特气站均采用吸附式、3，由于乙硼烷直接用吸收液处理效率较高、故推荐此方式