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- 电子工业废气处理工程设计标准 GB 51401-2019
- 条文说明
- 1 总则
- 3 基本规定
- 4 工艺及工艺设备
- 5 碱性废气系统
- 6 酸性废气系统
- 7 挥发性有机物废气系统
- 8 特种废气系统
- 8．1 一般规定
- 8．2 烷类尾气处理系统
- 8．3 全氟化合物（PFC）尾气处理系统
- 8．4 其他特种尾气处理系统
- 8．5 中央废气处理系统
- 9 除尘系统
- 10 电子玻璃窑炉废气系统
- 11 事故通风
- 12 电气设计
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8,2,烷类尾气处理系统8、2.1,PC、TWA值见 工作场所有害因素职业接触限值，第1部分，化学有害因素.GBZ、2，1 8.2、3、本条规定了几种尾气的处理方式 1。因为硅烷易与空气发生反应.产生二氧化硅，极易堵塞管道、故需要进行就地洗涤、而采用离子式的方式易堵塞火炬头,故不推荐、2、对于废气量大的设备宜采用 热氧化.洗涤.的方式，如。CVD。量小的一般采用吸附式的方式、如离子注入机 特气站均采用吸附式 3 由于乙硼烷直接用吸收液处理效率较高。故推荐此方式、