8。2 烷类尾气处理系统8，2 1，PC,TWA值见，工作场所有害因素职业接触限值，第1部分 化学有害因素。GBZ，2，1.8，2。3，本条规定了几种尾气的处理方式.1。因为硅烷易与空气发生反应,产生二氧化硅、极易堵塞管道、故需要进行就地洗涤。而采用离子式的方式易堵塞火炬头，故不推荐、2，对于废气量大的设备宜采用.热氧化,洗涤,的方式，如,CVD，量小的一般采用吸附式的方式 如离子注入机,特气站均采用吸附式、3,由于乙硼烷直接用吸收液处理效率较高，故推荐此方式,