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- 电子工业废气处理工程设计标准 GB 51401-2019
- 1 总则
- 2 术语
- 3 基本规定
- 4 工艺及工艺设备
- 5 碱性废气系统
- 5．1 一般规定
- 5．2 处理流程和方法
- 5．3 处理设备
- 5．4 风管及附件
- 6 酸性废气系统
- 7 挥发性有机物废气系统
- 8 特种废气系统
- 9 除尘系统
- 10 电子玻璃窑炉废气系统
- 11 事故通风
- 12 电气设计
- 附录A 电子工业常用高毒物品的立即危害生命和健康浓度(IDLH)
- 本标准用词说明
- 引用标准名录
- 条文说明
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5 碱性废气系统5 1,一般规定5，1.1.碱性废气系统应设置专用系统 其他排气不应排入碱性废气系统，5。1、2 填料洗涤式碱性废气处理系统应由排风管道 处理设备,排风机 排气筒，吸收液储存及输送系统。加药装置和控制系统组成。5。1 3、碱性废气系统处理设备宜设置备用。排风机应设置备用.5 1 4。电子工业洁净厂房的碱性废气系统处理设备和排风机应按一级负荷供电.使用一级负荷供电的碱性系统处理设备和排风机风量应大于系统排风量的50，5,1。5，设有回风下夹层的洁净室。排风管道宜布置在下夹层内
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