8。4、其他特种尾气处理系统8,4、1、尾气处理设备的处理效率和出口浓度应符合下列规定 1,设备的处理效率不应低于99 2，处理后的污染因子浓度宜在PC.TWA值以下、3。处理后的燃烧爆炸性气体浓度应在爆炸下限值的25.以下、8，4,2 外延设备的尾气处理设备的设置应符合下列规定,1。外延尾气处理系统应单独设置、2,应按防爆系统设置.3,不应就近设置在外延炉旁边和下技术夹层内，4，尾气处理设备应设置防护罩 8。4,3.三氟化硼.BF3，和三氯化硼,BCl3。宜采用等离子和淋洗两级处理方式。三氟化氯.ClF3.宜采用热氧化和淋洗两级处理方式 三氯硅烷.SiHCl3,二氯硅烷、SiH2Cl2 宜采用等离子式和淋洗两级处理方式、8 4。4、从真空泵至尾气处理设备入口之间的管道。应符合下列规定，1,管道的材质宜采用不锈钢304或316 2,当尾气中含有遇低温易析出粉尘的物质时、管道应采取加热措施，8.4,5，尾气处理设备出口之后的管道应采用防腐、导静电的材质、