8。4,其他特种尾气处理系统8、4，1,尾气处理设备的处理效率和出口浓度应符合下列规定、1,设备的处理效率不应低于99 2。处理后的污染因子浓度宜在PC.TWA值以下.3.处理后的燃烧爆炸性气体浓度应在爆炸下限值的25.以下，8.4.2.外延设备的尾气处理设备的设置应符合下列规定.1.外延尾气处理系统应单独设置。2，应按防爆系统设置.3。不应就近设置在外延炉旁边和下技术夹层内 4。尾气处理设备应设置防护罩，8.4。3、三氟化硼、BF3.和三氯化硼 BCl3，宜采用等离子和淋洗两级处理方式。三氟化氯。ClF3,宜采用热氧化和淋洗两级处理方式.三氯硅烷，SiHCl3、二氯硅烷，SiH2Cl2，宜采用等离子式和淋洗两级处理方式 8,4，4,从真空泵至尾气处理设备入口之间的管道，应符合下列规定 1 管道的材质宜采用不锈钢304或316。2 当尾气中含有遇低温易析出粉尘的物质时.管道应采取加热措施,8 4，5.尾气处理设备出口之后的管道应采用防腐、导静电的材质、