8。4 其他特种尾气处理系统8 4，1。尾气处理设备的处理效率和出口浓度应符合下列规定,1。设备的处理效率不应低于99、2，处理后的污染因子浓度宜在PC.TWA值以下。3 处理后的燃烧爆炸性气体浓度应在爆炸下限值的25。以下、8 4 2，外延设备的尾气处理设备的设置应符合下列规定，1,外延尾气处理系统应单独设置,2,应按防爆系统设置 3.不应就近设置在外延炉旁边和下技术夹层内.4，尾气处理设备应设置防护罩、8，4 3，三氟化硼,BF3、和三氯化硼,BCl3、宜采用等离子和淋洗两级处理方式。三氟化氯 ClF3、宜采用热氧化和淋洗两级处理方式,三氯硅烷,SiHCl3，二氯硅烷。SiH2Cl2、宜采用等离子式和淋洗两级处理方式、8 4，4。从真空泵至尾气处理设备入口之间的管道、应符合下列规定、1。管道的材质宜采用不锈钢304或316 2、当尾气中含有遇低温易析出粉尘的物质时 管道应采取加热措施,8 4,5，尾气处理设备出口之后的管道应采用防腐。导静电的材质。