8。4、其他特种尾气处理系统8、4。1 尾气处理设备的处理效率和出口浓度应符合下列规定，1,设备的处理效率不应低于99.2.处理后的污染因子浓度宜在PC。TWA值以下、3,处理后的燃烧爆炸性气体浓度应在爆炸下限值的25、以下,8,4,2.外延设备的尾气处理设备的设置应符合下列规定。1、外延尾气处理系统应单独设置 2,应按防爆系统设置，3.不应就近设置在外延炉旁边和下技术夹层内.4，尾气处理设备应设置防护罩.8。4.3.三氟化硼。BF3,和三氯化硼.BCl3，宜采用等离子和淋洗两级处理方式、三氟化氯.ClF3、宜采用热氧化和淋洗两级处理方式，三氯硅烷 SiHCl3、二氯硅烷，SiH2Cl2,宜采用等离子式和淋洗两级处理方式,8,4,4。从真空泵至尾气处理设备入口之间的管道。应符合下列规定。1。管道的材质宜采用不锈钢304或316，2，当尾气中含有遇低温易析出粉尘的物质时.管道应采取加热措施，8,4,5.尾气处理设备出口之后的管道应采用防腐 导静电的材质。