8 4.其他特种尾气处理系统8。4,1.尾气处理设备的处理效率和出口浓度应符合下列规定.1、设备的处理效率不应低于99 2.处理后的污染因子浓度宜在PC TWA值以下,3、处理后的燃烧爆炸性气体浓度应在爆炸下限值的25，以下,8。4、2，外延设备的尾气处理设备的设置应符合下列规定。1 外延尾气处理系统应单独设置。2,应按防爆系统设置、3。不应就近设置在外延炉旁边和下技术夹层内,4 尾气处理设备应设置防护罩。8.4 3，三氟化硼、BF3。和三氯化硼。BCl3、宜采用等离子和淋洗两级处理方式,三氟化氯，ClF3。宜采用热氧化和淋洗两级处理方式 三氯硅烷。SiHCl3,二氯硅烷,SiH2Cl2，宜采用等离子式和淋洗两级处理方式,8 4.4.从真空泵至尾气处理设备入口之间的管道,应符合下列规定。1,管道的材质宜采用不锈钢304或316、2,当尾气中含有遇低温易析出粉尘的物质时 管道应采取加热措施 8.4 5,尾气处理设备出口之后的管道应采用防腐。导静电的材质，