8、4。其他特种尾气处理系统8 4,1.尾气处理设备的处理效率和出口浓度应符合下列规定.1、设备的处理效率不应低于99,2、处理后的污染因子浓度宜在PC，TWA值以下 3.处理后的燃烧爆炸性气体浓度应在爆炸下限值的25。以下.8 4、2。外延设备的尾气处理设备的设置应符合下列规定，1、外延尾气处理系统应单独设置.2，应按防爆系统设置,3.不应就近设置在外延炉旁边和下技术夹层内,4、尾气处理设备应设置防护罩,8,4，3。三氟化硼,BF3 和三氯化硼。BCl3.宜采用等离子和淋洗两级处理方式 三氟化氯 ClF3 宜采用热氧化和淋洗两级处理方式.三氯硅烷 SiHCl3、二氯硅烷,SiH2Cl2 宜采用等离子式和淋洗两级处理方式，8,4,4.从真空泵至尾气处理设备入口之间的管道、应符合下列规定 1。管道的材质宜采用不锈钢304或316 2 当尾气中含有遇低温易析出粉尘的物质时、管道应采取加热措施.8。4.5 尾气处理设备出口之后的管道应采用防腐.导静电的材质.