8,4、其他特种尾气处理系统8,4 1。尾气处理设备的处理效率和出口浓度应符合下列规定、1.设备的处理效率不应低于99 2.处理后的污染因子浓度宜在PC，TWA值以下，3。处理后的燃烧爆炸性气体浓度应在爆炸下限值的25,以下 8、4.2,外延设备的尾气处理设备的设置应符合下列规定 1、外延尾气处理系统应单独设置.2,应按防爆系统设置，3,不应就近设置在外延炉旁边和下技术夹层内、4。尾气处理设备应设置防护罩，8 4.3，三氟化硼,BF3,和三氯化硼,BCl3，宜采用等离子和淋洗两级处理方式、三氟化氯，ClF3,宜采用热氧化和淋洗两级处理方式,三氯硅烷、SiHCl3，二氯硅烷。SiH2Cl2 宜采用等离子式和淋洗两级处理方式.8,4。4。从真空泵至尾气处理设备入口之间的管道，应符合下列规定 1、管道的材质宜采用不锈钢304或316。2、当尾气中含有遇低温易析出粉尘的物质时、管道应采取加热措施 8,4.5，尾气处理设备出口之后的管道应采用防腐.导静电的材质.