8 特种废气系统8.1.一般规定8,1、1，本条规定了特种废气处理系统的设置要求,1。特种废气的尾气处理设备包括干法吸附式.热氧化式.淋洗式、等离子式等.3，尾气处理设备的入口 设备腔体内。管路以及等离子头等需要定期清理,短则2个月，3个月。长则3个月.6个月，为了确保稳定生产。特种尾气设备一般考虑备用 8，1.2 本条规定了管道连接的要求 1，不同工艺设备及同一工艺设备的不同腔体使用相容气体时，一般采用图4,图7接法 工艺设备不同腔体使用不相容气体时、要采用图5接法。不要采用图4。图7接法。2,工艺设备的排出口与尾气处理设备的进入口，要一一对应图4，图5接法,图6合并使用的接法，在接头处易造成堵塞 故一般不采用、8，1。3，为了减少系统的阻力以及避免冷凝液和颗粒物的积聚 要减少管路中的弯头和变径,当处理气体有含有自燃气体，如硅烷。可燃气体时、为了避免其余渗入的氧气混合引起燃烧或爆炸.要减少管路上的接头 8,1,5 在尾气处理设备的出口设置取样口以便于检测、8 1,7,从安全角度考虑,制定了本条规定、8 1、8。采用淋洗式尾气处理设备时、由于其排出的气体中含有水蒸气、故制定了本条规定.