8,特种废气系统8、1,一般规定8,1.1，本条规定了特种废气处理系统的设置要求.1,特种废气的尾气处理设备包括干法吸附式 热氧化式.淋洗式，等离子式等、3、尾气处理设备的入口,设备腔体内，管路以及等离子头等需要定期清理，短则2个月，3个月、长则3个月、6个月，为了确保稳定生产。特种尾气设备一般考虑备用.8,1.2.本条规定了管道连接的要求、1，不同工艺设备及同一工艺设备的不同腔体使用相容气体时，一般采用图4,图7接法。工艺设备不同腔体使用不相容气体时。要采用图5接法，不要采用图4。图7接法,2。工艺设备的排出口与尾气处理设备的进入口、要一一对应图4、图5接法，图6合并使用的接法、在接头处易造成堵塞,故一般不采用、8,1，3 为了减少系统的阻力以及避免冷凝液和颗粒物的积聚,要减少管路中的弯头和变径 当处理气体有含有自燃气体，如硅烷 可燃气体时、为了避免其余渗入的氧气混合引起燃烧或爆炸。要减少管路上的接头、8，1、5 在尾气处理设备的出口设置取样口以便于检测.8，1、7，从安全角度考虑，制定了本条规定、8,1,8,采用淋洗式尾气处理设备时.由于其排出的气体中含有水蒸气，故制定了本条规定,