8.特种废气系统8 1.一般规定8 1.1，本条规定了特种废气处理系统的设置要求、1，特种废气的尾气处理设备包括干法吸附式 热氧化式，淋洗式、等离子式等 3,尾气处理设备的入口,设备腔体内,管路以及等离子头等需要定期清理、短则2个月，3个月,长则3个月、6个月、为了确保稳定生产,特种尾气设备一般考虑备用 8。1,2 本条规定了管道连接的要求.1、不同工艺设备及同一工艺设备的不同腔体使用相容气体时，一般采用图4 图7接法、工艺设备不同腔体使用不相容气体时，要采用图5接法,不要采用图4,图7接法、2、工艺设备的排出口与尾气处理设备的进入口.要一一对应图4,图5接法。图6合并使用的接法,在接头处易造成堵塞，故一般不采用.8 1。3,为了减少系统的阻力以及避免冷凝液和颗粒物的积聚,要减少管路中的弯头和变径。当处理气体有含有自燃气体,如硅烷 可燃气体时、为了避免其余渗入的氧气混合引起燃烧或爆炸。要减少管路上的接头.8，1。5 在尾气处理设备的出口设置取样口以便于检测 8、1.7，从安全角度考虑 制定了本条规定 8.1，8，采用淋洗式尾气处理设备时,由于其排出的气体中含有水蒸气,故制定了本条规定、