8、特种废气系统8、1 一般规定8,1.1，本条规定了特种废气处理系统的设置要求,1.特种废气的尾气处理设备包括干法吸附式、热氧化式,淋洗式、等离子式等.3,尾气处理设备的入口、设备腔体内、管路以及等离子头等需要定期清理,短则2个月。3个月。长则3个月，6个月.为了确保稳定生产,特种尾气设备一般考虑备用,8 1 2。本条规定了管道连接的要求，1，不同工艺设备及同一工艺设备的不同腔体使用相容气体时 一般采用图4。图7接法、工艺设备不同腔体使用不相容气体时。要采用图5接法.不要采用图4.图7接法、2，工艺设备的排出口与尾气处理设备的进入口 要一一对应图4 图5接法、图6合并使用的接法、在接头处易造成堵塞，故一般不采用 8 1 3，为了减少系统的阻力以及避免冷凝液和颗粒物的积聚 要减少管路中的弯头和变径 当处理气体有含有自燃气体 如硅烷，可燃气体时 为了避免其余渗入的氧气混合引起燃烧或爆炸,要减少管路上的接头、8。1 5 在尾气处理设备的出口设置取样口以便于检测,8.1 7 从安全角度考虑、制定了本条规定,8 1,8，采用淋洗式尾气处理设备时 由于其排出的气体中含有水蒸气 故制定了本条规定,