8 特种废气系统8。1、一般规定8、1.1 本条规定了特种废气处理系统的设置要求、1，特种废气的尾气处理设备包括干法吸附式.热氧化式。淋洗式.等离子式等.3。尾气处理设备的入口,设备腔体内,管路以及等离子头等需要定期清理 短则2个月,3个月。长则3个月.6个月、为了确保稳定生产。特种尾气设备一般考虑备用。8。1、2、本条规定了管道连接的要求,1。不同工艺设备及同一工艺设备的不同腔体使用相容气体时 一般采用图4。图7接法，工艺设备不同腔体使用不相容气体时,要采用图5接法、不要采用图4。图7接法,2。工艺设备的排出口与尾气处理设备的进入口，要一一对应图4.图5接法、图6合并使用的接法 在接头处易造成堵塞、故一般不采用。8。1.3,为了减少系统的阻力以及避免冷凝液和颗粒物的积聚,要减少管路中的弯头和变径 当处理气体有含有自燃气体 如硅烷 可燃气体时、为了避免其余渗入的氧气混合引起燃烧或爆炸，要减少管路上的接头.8，1,5.在尾气处理设备的出口设置取样口以便于检测。8、1,7,从安全角度考虑 制定了本条规定.8、1 8。采用淋洗式尾气处理设备时。由于其排出的气体中含有水蒸气。故制定了本条规定