8,特种废气系统8,1，一般规定8 1、1.本条规定了特种废气处理系统的设置要求 1。特种废气的尾气处理设备包括干法吸附式、热氧化式，淋洗式。等离子式等 3.尾气处理设备的入口.设备腔体内，管路以及等离子头等需要定期清理.短则2个月,3个月,长则3个月,6个月、为了确保稳定生产 特种尾气设备一般考虑备用,8。1，2，本条规定了管道连接的要求、1，不同工艺设备及同一工艺设备的不同腔体使用相容气体时 一般采用图4。图7接法 工艺设备不同腔体使用不相容气体时。要采用图5接法，不要采用图4.图7接法 2、工艺设备的排出口与尾气处理设备的进入口 要一一对应图4。图5接法 图6合并使用的接法,在接头处易造成堵塞，故一般不采用.8、1，3.为了减少系统的阻力以及避免冷凝液和颗粒物的积聚 要减少管路中的弯头和变径。当处理气体有含有自燃气体。如硅烷.可燃气体时，为了避免其余渗入的氧气混合引起燃烧或爆炸,要减少管路上的接头，8，1。5。在尾气处理设备的出口设置取样口以便于检测。8,1、7 从安全角度考虑.制定了本条规定 8。1,8 采用淋洗式尾气处理设备时、由于其排出的气体中含有水蒸气。故制定了本条规定