8 特种废气系统8、1,一般规定8、1 1.本条规定了特种废气处理系统的设置要求。1,特种废气的尾气处理设备包括干法吸附式、热氧化式。淋洗式,等离子式等。3，尾气处理设备的入口.设备腔体内 管路以及等离子头等需要定期清理 短则2个月,3个月,长则3个月,6个月、为了确保稳定生产，特种尾气设备一般考虑备用.8。1.2 本条规定了管道连接的要求,1 不同工艺设备及同一工艺设备的不同腔体使用相容气体时.一般采用图4、图7接法 工艺设备不同腔体使用不相容气体时、要采用图5接法.不要采用图4,图7接法 2。工艺设备的排出口与尾气处理设备的进入口。要一一对应图4.图5接法.图6合并使用的接法，在接头处易造成堵塞 故一般不采用,8,1。3 为了减少系统的阻力以及避免冷凝液和颗粒物的积聚,要减少管路中的弯头和变径,当处理气体有含有自燃气体，如硅烷，可燃气体时、为了避免其余渗入的氧气混合引起燃烧或爆炸 要减少管路上的接头，8.1.5.在尾气处理设备的出口设置取样口以便于检测 8。1，7.从安全角度考虑 制定了本条规定、8.1.8，采用淋洗式尾气处理设备时 由于其排出的气体中含有水蒸气，故制定了本条规定.