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- 电子工业废气处理工程设计标准 GB 51401-2019
- 1 总则
- 2 术语
- 3 基本规定
- 4 工艺及工艺设备
- 5 碱性废气系统
- 6 酸性废气系统
- 7 挥发性有机物废气系统
- 8 特种废气系统
- 8．1 一般规定
- 8．2 烷类尾气处理系统
- 8．3 全氟化合物（PFC）尾气处理系统
- 8．4 其他特种尾气处理系统
- 8．5 中央废气处理系统
- 9 除尘系统
- 10 电子玻璃窑炉废气系统
- 11 事故通风
- 12 电气设计
- 附录A 电子工业常用高毒物品的立即危害生命和健康浓度(IDLH)
- 本标准用词说明
- 引用标准名录
- 条文说明
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8 3 全氟化合物。PFC，尾气处理系统8,3 1，对化学气相沉积 CVD.干法刻蚀工艺生产工程中散发的全氟化合物。PFC.排入大气前应进行处理,8。3 2。尾气处理设备的效率应符合下列规定。1，三氟化氮、NF3，不应低于98.2、其他不应低于95,8、3,3，全氟化合物 PFC，尾气处理设备宜采用热裂解和淋洗两级处理方式、裂解方式应根据处理效率,处理生成物,系统可靠性.处理能力。运行成本、使用寿命、消防要求因素等综合比较确定。8,3，4。尾气处理设备的内腔和风管应采用耐腐蚀的材料 8 3,5 尾气处理设备的排水应进入含氟废水处理系统