"大量文字复制"等功能仅限VIP会员使用，您可以选择以下方式解决：
1、选择少量文本，重新进行复制操作
2、开通VIP，享受下载海量资源、文字任意复制等特权
- 电子工业废气处理工程设计标准 GB 51401-2019
- 1 总则
- 2 术语
- 3 基本规定
- 4 工艺及工艺设备
- 5 碱性废气系统
- 6 酸性废气系统
- 7 挥发性有机物废气系统
- 8 特种废气系统
- 8．1 一般规定
- 8．2 烷类尾气处理系统
- 8．3 全氟化合物（PFC）尾气处理系统
- 8．4 其他特种尾气处理系统
- 8．5 中央废气处理系统
- 9 除尘系统
- 10 电子玻璃窑炉废气系统
- 11 事故通风
- 12 电气设计
- 附录A 电子工业常用高毒物品的立即危害生命和健康浓度(IDLH)
- 本标准用词说明
- 引用标准名录
- 条文说明
热门资源
更多>
- 地铁设计规范[附条文说明] GB 50157-2013
- 建筑与市政工程防水通用规范[附条文说明] GB 55030-2022
- 汽车库、修车库、停车场设计防火规范[附条文说明] GB 50067-2014
- 地下工程防水技术规范[附条文说明] GB 50108-2008
- 工程勘察通用规范[附条文说明] GB 55017-2021
- 民用建筑设计统一标准[附条文说明] GB 50352-2019
- 石油库设计规范[附条文说明] GB 50074-2014
- 冷库设计标准[附条文说明] GB 50072-2021
- 公共建筑节能设计标准[附条文说明] GB 50189-2015
- 建筑防火通用规范[附条文说明] GB 55037-2022
8 3,全氟化合物、PFC，尾气处理系统8、3、1、对化学气相沉积 CVD，干法刻蚀工艺生产工程中散发的全氟化合物.PFC。排入大气前应进行处理。8 3。2、尾气处理设备的效率应符合下列规定.1.三氟化氮 NF3,不应低于98.2,其他不应低于95。8、3。3。全氟化合物 PFC，尾气处理设备宜采用热裂解和淋洗两级处理方式.裂解方式应根据处理效率,处理生成物，系统可靠性.处理能力.运行成本。使用寿命、消防要求因素等综合比较确定，8。3。4 尾气处理设备的内腔和风管应采用耐腐蚀的材料 8。3,5 尾气处理设备的排水应进入含氟废水处理系统.