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- 电子工业废气处理工程设计标准 GB 51401-2019
- 1 总则
- 2 术语
- 3 基本规定
- 4 工艺及工艺设备
- 5 碱性废气系统
- 6 酸性废气系统
- 7 挥发性有机物废气系统
- 8 特种废气系统
- 8．1 一般规定
- 8．2 烷类尾气处理系统
- 8．3 全氟化合物（PFC）尾气处理系统
- 8．4 其他特种尾气处理系统
- 8．5 中央废气处理系统
- 9 除尘系统
- 10 电子玻璃窑炉废气系统
- 11 事故通风
- 12 电气设计
- 附录A 电子工业常用高毒物品的立即危害生命和健康浓度(IDLH)
- 本标准用词说明
- 引用标准名录
- 条文说明
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8,3。全氟化合物,PFC，尾气处理系统8 3、1，对化学气相沉积.CVD。干法刻蚀工艺生产工程中散发的全氟化合物 PFC，排入大气前应进行处理 8，3、2，尾气处理设备的效率应符合下列规定，1。三氟化氮,NF3。不应低于98,2,其他不应低于95、8 3、3,全氟化合物、PFC,尾气处理设备宜采用热裂解和淋洗两级处理方式。裂解方式应根据处理效率.处理生成物。系统可靠性,处理能力.运行成本。使用寿命。消防要求因素等综合比较确定，8、3 4、尾气处理设备的内腔和风管应采用耐腐蚀的材料,8 3，5、尾气处理设备的排水应进入含氟废水处理系统,