8。3。全氟化合物。PFC,尾气处理系统8.3,1.对化学气相沉积。CVD，干法刻蚀工艺生产工程中散发的全氟化合物、PFC 排入大气前应进行处理，8，3，2、尾气处理设备的效率应符合下列规定 1,三氟化氮，NF3。不应低于98.2，其他不应低于95，8.3，3、全氟化合物，PFC,尾气处理设备宜采用热裂解和淋洗两级处理方式、裂解方式应根据处理效率。处理生成物.系统可靠性.处理能力、运行成本.使用寿命 消防要求因素等综合比较确定、8.3,4、尾气处理设备的内腔和风管应采用耐腐蚀的材料，8、3,5，尾气处理设备的排水应进入含氟废水处理系统.