8，3、全氟化合物 PFC,尾气处理系统8 3.1.对化学气相沉积.CVD。干法刻蚀工艺生产工程中散发的全氟化合物.PFC。排入大气前应进行处理、8，3.2.尾气处理设备的效率应符合下列规定,1 三氟化氮。NF3。不应低于98.2，其他不应低于95，8、3,3 全氟化合物,PFC。尾气处理设备宜采用热裂解和淋洗两级处理方式,裂解方式应根据处理效率、处理生成物.系统可靠性。处理能力 运行成本,使用寿命.消防要求因素等综合比较确定,8 3,4.尾气处理设备的内腔和风管应采用耐腐蚀的材料，8，3,5。尾气处理设备的排水应进入含氟废水处理系统、