8、3 全氟化合物，PFC,尾气处理系统8，3，1 对化学气相沉积.CVD、干法刻蚀工艺生产工程中散发的全氟化合物,PFC,排入大气前应进行处理.8,3.2、尾气处理设备的效率应符合下列规定.1 三氟化氮 NF3 不应低于98。2,其他不应低于95、8,3、3,全氟化合物 PFC、尾气处理设备宜采用热裂解和淋洗两级处理方式、裂解方式应根据处理效率,处理生成物，系统可靠性，处理能力。运行成本。使用寿命.消防要求因素等综合比较确定.8，3.4，尾气处理设备的内腔和风管应采用耐腐蚀的材料 8。3。5,尾气处理设备的排水应进入含氟废水处理系统。