8、5，中央废气处理系统8。5，1.尾气处理设备处理后还含有污染物，故需要进入中央废气处理系统进一步处理，对于外延工序、由于含有氢气,其尾气处理设备处理后的气体不要接入中央废气处理系统，8。5，3,为了避免有害物质外泄制定了本条规定 8、5,4、本条规定了产生粉尘的尾气处理设备的系统设置要求 2、为了避免粉尘堵塞管路系统制定了本款规定,3 采用淋洗方式。粉尘含有水分,会堵塞干式的过滤器。