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- 电子工业废气处理工程设计标准 GB 51401-2019
- 1 总则
- 2 术语
- 3 基本规定
- 4 工艺及工艺设备
- 5 碱性废气系统
- 6 酸性废气系统
- 7 挥发性有机物废气系统
- 8 特种废气系统
- 8．1 一般规定
- 8．2 烷类尾气处理系统
- 8．3 全氟化合物（PFC）尾气处理系统
- 8．4 其他特种尾气处理系统
- 8．5 中央废气处理系统
- 9 除尘系统
- 10 电子玻璃窑炉废气系统
- 11 事故通风
- 12 电气设计
- 附录A 电子工业常用高毒物品的立即危害生命和健康浓度(IDLH)
- 本标准用词说明
- 引用标准名录
- 条文说明
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8.5 中央废气处理系统8，5、1。特种气体经尾气处理设备就地处理后 应接入中央废气处理系统进行再处理.8 5 2.中央废气处理系统应根据污染因子特性进行设计,8.5,3.从尾气处理设备出口至中央废气处理设备的管路应保持负压状态.8、5、4。当尾气处理设备产生粉尘时。系统的设置应符合下列规定 1、废气排入大气前应进行除尘处理 2、除尘器宜靠近尾气处理设备,3。当尾气处理设备采用淋洗方式时,不宜采用干式除尘法、4、尾气处理设备与除尘器之间的管路、应按除尘系统的要求进行设置。8,5.5.当废气经过尾气处理设备处理后.其燃烧爆炸性气体的浓度超过爆炸下限的10。时。系统应按防爆系统设置,