8、2,烷类尾气处理系统8。2、1.尾气处理设备的处理效率和出口浓度应符合下列规定，1 设备的处理效率不应低于99，2，处理后的污染因子浓度宜在PC。TWA值以下，3，处理后的燃烧爆炸性气体浓度应在爆炸下限值的25.以下.8。2、2，采用电热式和等离子式的尾气处理设备.其内部应采用耐腐蚀,耐高温的材料、8、2、3,尾气处理系统宜采用下列方式.1，硅烷，SiH4,锗烷,GeH4,宜采用热氧化和洗涤两级处理方式,2.磷烷。PH3、宜采用热氧化和洗涤两级处理方式或干式吸附方式。3.乙硼烷。B2H6。宜采用洗涤方式。4、砷烷,AsH3,宜采用干式吸附方式 8、2、4.从真空泵至尾气处理设备入口之间的管道 应符合下列规定、1 管道的材质宜采用不锈钢304或316 2 当尾气遇低温易产生沉淀物质时,管道应采取加热措施，8,2 5。尾气处理设备出口之后的管道宜采用耐腐蚀,导静电的材质,8.2，6,当尾气处理设备采用直接燃烧方式时。应符合消防要求