8、2、烷类尾气处理系统8.2,1.尾气处理设备的处理效率和出口浓度应符合下列规定.1、设备的处理效率不应低于99，2 处理后的污染因子浓度宜在PC。TWA值以下.3,处理后的燃烧爆炸性气体浓度应在爆炸下限值的25,以下 8、2、2、采用电热式和等离子式的尾气处理设备，其内部应采用耐腐蚀、耐高温的材料。8、2。3.尾气处理系统宜采用下列方式，1。硅烷 SiH4、锗烷、GeH4。宜采用热氧化和洗涤两级处理方式,2，磷烷。PH3，宜采用热氧化和洗涤两级处理方式或干式吸附方式。3 乙硼烷。B2H6 宜采用洗涤方式 4,砷烷.AsH3、宜采用干式吸附方式 8,2.4,从真空泵至尾气处理设备入口之间的管道.应符合下列规定 1.管道的材质宜采用不锈钢304或316 2,当尾气遇低温易产生沉淀物质时。管道应采取加热措施、8、2,5，尾气处理设备出口之后的管道宜采用耐腐蚀.导静电的材质,8,2 6、当尾气处理设备采用直接燃烧方式时、应符合消防要求