8 2 烷类尾气处理系统8,2。1 尾气处理设备的处理效率和出口浓度应符合下列规定。1、设备的处理效率不应低于99、2，处理后的污染因子浓度宜在PC.TWA值以下，3 处理后的燃烧爆炸性气体浓度应在爆炸下限值的25.以下.8 2,2、采用电热式和等离子式的尾气处理设备。其内部应采用耐腐蚀，耐高温的材料、8,2,3，尾气处理系统宜采用下列方式。1,硅烷，SiH4 锗烷，GeH4.宜采用热氧化和洗涤两级处理方式，2，磷烷、PH3.宜采用热氧化和洗涤两级处理方式或干式吸附方式，3.乙硼烷,B2H6，宜采用洗涤方式.4，砷烷，AsH3.宜采用干式吸附方式.8,2、4。从真空泵至尾气处理设备入口之间的管道,应符合下列规定、1,管道的材质宜采用不锈钢304或316。2、当尾气遇低温易产生沉淀物质时 管道应采取加热措施、8 2。5。尾气处理设备出口之后的管道宜采用耐腐蚀、导静电的材质.8 2,6.当尾气处理设备采用直接燃烧方式时。应符合消防要求，