8.2.烷类尾气处理系统8。2 1.尾气处理设备的处理效率和出口浓度应符合下列规定.1，设备的处理效率不应低于99、2 处理后的污染因子浓度宜在PC TWA值以下，3,处理后的燃烧爆炸性气体浓度应在爆炸下限值的25。以下、8.2、2。采用电热式和等离子式的尾气处理设备、其内部应采用耐腐蚀。耐高温的材料。8.2 3,尾气处理系统宜采用下列方式、1 硅烷，SiH4。锗烷.GeH4 宜采用热氧化和洗涤两级处理方式.2 磷烷.PH3 宜采用热氧化和洗涤两级处理方式或干式吸附方式。3,乙硼烷 B2H6 宜采用洗涤方式.4、砷烷 AsH3.宜采用干式吸附方式,8 2.4.从真空泵至尾气处理设备入口之间的管道.应符合下列规定、1、管道的材质宜采用不锈钢304或316.2,当尾气遇低温易产生沉淀物质时.管道应采取加热措施、8、2。5.尾气处理设备出口之后的管道宜采用耐腐蚀、导静电的材质.8.2 6。当尾气处理设备采用直接燃烧方式时。应符合消防要求、