8 2 烷类尾气处理系统8。2,1 尾气处理设备的处理效率和出口浓度应符合下列规定，1、设备的处理效率不应低于99、2、处理后的污染因子浓度宜在PC.TWA值以下 3,处理后的燃烧爆炸性气体浓度应在爆炸下限值的25,以下、8.2 2，采用电热式和等离子式的尾气处理设备。其内部应采用耐腐蚀，耐高温的材料。8、2、3,尾气处理系统宜采用下列方式.1 硅烷。SiH4、锗烷。GeH4，宜采用热氧化和洗涤两级处理方式。2，磷烷,PH3。宜采用热氧化和洗涤两级处理方式或干式吸附方式.3.乙硼烷,B2H6,宜采用洗涤方式 4.砷烷 AsH3、宜采用干式吸附方式 8，2，4、从真空泵至尾气处理设备入口之间的管道,应符合下列规定 1,管道的材质宜采用不锈钢304或316，2,当尾气遇低温易产生沉淀物质时，管道应采取加热措施 8。2。5,尾气处理设备出口之后的管道宜采用耐腐蚀,导静电的材质 8.2,6.当尾气处理设备采用直接燃烧方式时、应符合消防要求，