8,2.烷类尾气处理系统8。2,1，尾气处理设备的处理效率和出口浓度应符合下列规定，1.设备的处理效率不应低于99,2，处理后的污染因子浓度宜在PC。TWA值以下，3。处理后的燃烧爆炸性气体浓度应在爆炸下限值的25，以下。8。2.2.采用电热式和等离子式的尾气处理设备.其内部应采用耐腐蚀 耐高温的材料 8。2、3,尾气处理系统宜采用下列方式,1、硅烷 SiH4，锗烷,GeH4.宜采用热氧化和洗涤两级处理方式.2.磷烷，PH3，宜采用热氧化和洗涤两级处理方式或干式吸附方式.3，乙硼烷 B2H6、宜采用洗涤方式 4、砷烷，AsH3.宜采用干式吸附方式,8。2.4 从真空泵至尾气处理设备入口之间的管道。应符合下列规定、1、管道的材质宜采用不锈钢304或316.2.当尾气遇低温易产生沉淀物质时，管道应采取加热措施,8 2.5。尾气处理设备出口之后的管道宜采用耐腐蚀。导静电的材质.8。2，6，当尾气处理设备采用直接燃烧方式时 应符合消防要求，