8.2.烷类尾气处理系统8,2,1。尾气处理设备的处理效率和出口浓度应符合下列规定.1，设备的处理效率不应低于99，2 处理后的污染因子浓度宜在PC,TWA值以下,3.处理后的燃烧爆炸性气体浓度应在爆炸下限值的25.以下、8，2 2。采用电热式和等离子式的尾气处理设备.其内部应采用耐腐蚀.耐高温的材料.8、2、3,尾气处理系统宜采用下列方式，1.硅烷，SiH4,锗烷.GeH4、宜采用热氧化和洗涤两级处理方式.2、磷烷.PH3、宜采用热氧化和洗涤两级处理方式或干式吸附方式、3,乙硼烷。B2H6、宜采用洗涤方式,4。砷烷.AsH3,宜采用干式吸附方式 8，2,4，从真空泵至尾气处理设备入口之间的管道、应符合下列规定、1，管道的材质宜采用不锈钢304或316.2，当尾气遇低温易产生沉淀物质时。管道应采取加热措施 8 2、5、尾气处理设备出口之后的管道宜采用耐腐蚀 导静电的材质，8.2.6 当尾气处理设备采用直接燃烧方式时，应符合消防要求