8 2.烷类尾气处理系统8、2.1 尾气处理设备的处理效率和出口浓度应符合下列规定、1。设备的处理效率不应低于99 2，处理后的污染因子浓度宜在PC TWA值以下，3，处理后的燃烧爆炸性气体浓度应在爆炸下限值的25，以下、8。2，2 采用电热式和等离子式的尾气处理设备，其内部应采用耐腐蚀 耐高温的材料.8.2，3.尾气处理系统宜采用下列方式,1,硅烷,SiH4。锗烷。GeH4，宜采用热氧化和洗涤两级处理方式，2 磷烷 PH3、宜采用热氧化和洗涤两级处理方式或干式吸附方式，3,乙硼烷，B2H6，宜采用洗涤方式。4.砷烷，AsH3、宜采用干式吸附方式、8，2。4,从真空泵至尾气处理设备入口之间的管道,应符合下列规定.1,管道的材质宜采用不锈钢304或316、2、当尾气遇低温易产生沉淀物质时 管道应采取加热措施 8,2,5、尾气处理设备出口之后的管道宜采用耐腐蚀.导静电的材质 8、2，6 当尾气处理设备采用直接燃烧方式时，应符合消防要求