8.2、烷类尾气处理系统8。2、1、尾气处理设备的处理效率和出口浓度应符合下列规定。1,设备的处理效率不应低于99，2、处理后的污染因子浓度宜在PC TWA值以下，3,处理后的燃烧爆炸性气体浓度应在爆炸下限值的25、以下.8 2。2.采用电热式和等离子式的尾气处理设备.其内部应采用耐腐蚀 耐高温的材料.8、2，3 尾气处理系统宜采用下列方式，1.硅烷,SiH4 锗烷，GeH4,宜采用热氧化和洗涤两级处理方式.2，磷烷,PH3,宜采用热氧化和洗涤两级处理方式或干式吸附方式 3 乙硼烷,B2H6，宜采用洗涤方式，4，砷烷、AsH3。宜采用干式吸附方式 8,2，4,从真空泵至尾气处理设备入口之间的管道 应符合下列规定、1,管道的材质宜采用不锈钢304或316 2.当尾气遇低温易产生沉淀物质时,管道应采取加热措施,8、2,5,尾气处理设备出口之后的管道宜采用耐腐蚀,导静电的材质、8 2。6.当尾气处理设备采用直接燃烧方式时。应符合消防要求.