8.2、烷类尾气处理系统8、2,1，尾气处理设备的处理效率和出口浓度应符合下列规定,1。设备的处理效率不应低于99、2 处理后的污染因子浓度宜在PC TWA值以下 3。处理后的燃烧爆炸性气体浓度应在爆炸下限值的25、以下.8、2 2、采用电热式和等离子式的尾气处理设备。其内部应采用耐腐蚀.耐高温的材料.8.2，3、尾气处理系统宜采用下列方式,1，硅烷,SiH4,锗烷，GeH4。宜采用热氧化和洗涤两级处理方式 2,磷烷、PH3.宜采用热氧化和洗涤两级处理方式或干式吸附方式 3.乙硼烷.B2H6，宜采用洗涤方式，4 砷烷,AsH3 宜采用干式吸附方式,8 2，4、从真空泵至尾气处理设备入口之间的管道，应符合下列规定,1,管道的材质宜采用不锈钢304或316,2，当尾气遇低温易产生沉淀物质时，管道应采取加热措施 8,2 5。尾气处理设备出口之后的管道宜采用耐腐蚀,导静电的材质,8.2.6。当尾气处理设备采用直接燃烧方式时 应符合消防要求、