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- 电子工业废气处理工程设计标准 GB 51401-2019
- 条文说明
- 1 总则
- 3 基本规定
- 4 工艺及工艺设备
- 4．1 一般规定
- 4．2 污染物控制
- 4．3 应急设施
- 5 碱性废气系统
- 6 酸性废气系统
- 7 挥发性有机物废气系统
- 8 特种废气系统
- 9 除尘系统
- 10 电子玻璃窑炉废气系统
- 11 事故通风
- 12 电气设计
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- 住宅建筑规范[附条文说明] GB 50368-2005
- 民用机场航站楼设计防火规范[附条文说明] GB 51236-2017
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4 2.污染物控制4、2、1。生产工艺采用先进的技术和装备。可以减少有毒有害物质的产生量.例如 在半导体工艺中通过改进生产工艺、降低光刻次数 降低化学品的消耗，从而降低挥发性有毒有害废气的排放量,在平板显示器件制程的涂胶工序中，可以采用非甩胶的工艺设备代替甩胶工艺设备.降低光刻胶的使用量。从而降低挥发性有机物的排放量、4、2 2 根据走访调研.一些高污染的典型电子工业下艺设备废气排放压力设定见表3 表6、
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