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- 电子工业废气处理工程设计标准 GB 51401-2019
- 1 总则
- 2 术语
- 3 基本规定
- 4 工艺及工艺设备
- 4．1 一般规定
- 4．2 污染物控制
- 4．3 应急设施
- 5 碱性废气系统
- 6 酸性废气系统
- 7 挥发性有机物废气系统
- 8 特种废气系统
- 9 除尘系统
- 10 电子玻璃窑炉废气系统
- 11 事故通风
- 12 电气设计
- 附录A 电子工业常用高毒物品的立即危害生命和健康浓度(IDLH)
- 本标准用词说明
- 引用标准名录
- 条文说明
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4。工艺及工艺设备4 1,一般规定4、1 1 工艺设备应根据废气污染物的性质分类独立设置排出口.4 1。2，生产所用的原辅材料应符合清洁生产要求以及相关限制性规定，4.1,3。生产过程中不宜使用极毒.剧毒物质。当不可避免使用上述有害物质时,应采用自动化设备，并应采取密闭。隔离和负压操作措施,同时应进行物料平衡计算.4、1、4，工艺设备当使用可产生全球性温室效应的全氟化合物时,应采取密闭系统。并应独立设置排出口，4、1 5，产生同种废气的工艺设备宜集中布置,4.1、6,有毒有害气体储罐应装设限流阀.