6、2、氮氧化物。高浓度酸及电镀废气6 2。1，集成电路和平板显示类工厂的酸性废气中含有NO和NO2混合的NOx。除进行酸碱中和反应外。还需进行氧化.还原反应去除NOx,采用多级处理方法，在去除NOx过程中易产生有异味或污染性的副产物气体，需要采取措施去除新污染源、6.2。2,酸液喷淋清洗型设备。加热的酸清洗槽的排气为高浓度酸废气.普通酸处理设备处理效率低,无法满足处理要求 需进行特殊处理，1.在产生高浓度酸废气的工艺设备附近设置POU、采用喷淋碱液的方法.就地去除高浓度酸废气、2，高浓度酸废气排入末端集中酸废气处理系统,洗涤塔要根据有害物浓度计算确定填料和喷淋级数 采用多级处理方式.