6,2.氮氧化物、高浓度酸及电镀废气6。2。1，集成电路和平板显示类工厂的酸性废气中含有NO和NO2混合的NOx 除进行酸碱中和反应外 还需进行氧化.还原反应去除NOx、采用多级处理方法 在去除NOx过程中易产生有异味或污染性的副产物气体.需要采取措施去除新污染源 6 2，2。酸液喷淋清洗型设备 加热的酸清洗槽的排气为高浓度酸废气，普通酸处理设备处理效率低 无法满足处理要求.需进行特殊处理、1，在产生高浓度酸废气的工艺设备附近设置POU.采用喷淋碱液的方法,就地去除高浓度酸废气 2。高浓度酸废气排入末端集中酸废气处理系统。洗涤塔要根据有害物浓度计算确定填料和喷淋级数 采用多级处理方式