9，3,空气调节与净化9.3。1.本条是对新风处理机组设置的规定，1，本款规定是为了很好地控制洁净室内的正压值 同时也为了节能.2,本款规定的目的是室外含尘空气在送入洁净室前彻底过滤 从而延长洁净室顶部FFU内过滤器或洁净室顶部末端高效过滤器的使用寿命 9,3、2。规定本条是建议光刻间采用 新风处理机组，风机过滤器机组，干冷却盘管、的净化空调系统 其他清净室采用 新风处理机组,循环空气处理机组。高效过滤器送风口。的净化空调系统.作此规定主要考虑了洁净室的形式 综合造价，综合能耗,系统可靠性 空间管理 运行维护管理等因素,9.3。3、规定本条主要是防止金属有机化合物化学气相沉积间的危险气体窜到别的房间、9.3、4.规定本条主要是考虑房间相对湿度是由新风机组保证的.干冷却盘管不应承担去湿功能,避免在冬季出现新风处理机组加湿而循环空气处理机组去湿的相互抵消现象发生,9，3,5 规定本条主要是考虑净化空调系统的末端高效过滤器随运行时间增加而积尘量上升。从而导致阻力加大,且末端高效过滤器的初.终阻力相差悬殊 若循环空调机组内风机不采取变频调速措施.风机始终以满足末端高效过滤器终阻力状态运行.明显不节能.9,3、6。发光二极管工厂冬季有大量的余热.如制冷机组的冷凝器余热。工艺冷却水系统余热 空压机组的压缩余热等，这部分余热量很大.但能提供的温度相对较低.所以设计加热和加湿系统时 应考虑最大限度的利用这部分余热。如采用温水加湿方式,两级加热.两级加湿 方式等，9、3。9,目前对于洁净度严于等于6级的洁净室大多采用.新风处理机组,风机过滤器机组 干冷却盘管、的净化空涮系统.且使用的风机过滤器机组 FFU，规格大部分为1200mm,1200mm。按照国家现行行业标准 风机过滤器机组.JG。T.388的有关规定.1200mm。1200mm的单机噪声。标准型 57dB A 根据国内几个工厂洁净室噪声的实测数据,当洁净室FFU采用满布时，清净室内FFU的叠加噪声一般为FFU的单机噪声加13dB、A。左右,所以本规范将该类洁净室的噪声适当放宽,