9。2.供暖，通风与废气处理9,2。2 发光二极管工厂洁净室有比较严格的洁净度和温湿度要求,通常散热器表面不平整 且构造复杂.这样其表面易积灰且不易清除.另外当采用散热器时、室内的温湿度也不易控制,9,2,3 规定本条是为了确保动力站内的水系统。消防系统等不被冻结。另外也是为了检修的需要,9。2，4。规定本条是为了确保操作人员的身体健康和生产安全。因为发光二极管工厂工艺设备生产过程中会散发有毒，有害和易燃易爆的物质，9，2.5,本条是对排风系统设计的规定.1。本款规定是为了提高金属氧化物化学气相沉积设备生产过程中排出的尾气中有害物质的处理效率.因为有害物质在高浓度的状态下容易实现高效捕捉或清除。另外对于单一有害物质。容易找到针对性的、高效率的处理方法,2，本款规定是为了避免因酸，碱废气不分开设置而发生反应并生成结晶物、该结晶物不易处理,且容易沉积 堵塞管路，酸.碱排风按一级负荷供电及工艺设备排风系统设置备用风机为提高工艺排风系统的可靠性，从而确保工艺生产不会因排风机的意外故障而中断。也保证了操作人员的身体健康和生产安全.4.酸.碱排风管道中会有凝结液产生 该凝结液如不及时排除，将影响排风系统的正常运行或造成安全事故 该凝结液应收集,且应排放到相应的废水管道中进入废水处理站进行再处理、5,金属氧化物化学气相沉积设备排风中含有易燃易爆气体，所以该排风系统应采取防火，防爆措施，具体措施包括排风管路系统的法兰跨接 系统接地以及风机防爆等,6 本款规定是为了防止防火阀的误动作而造成排风系统的失效.从而引发安全和生产的事故.另外即使发生火灾时也不应将使此类排风系统停止运行、因为一方面排风系统可兼作排烟功能，另一方面一旦停止运行.工艺生产设备将向车间内散发比烟气毒性更大的有害物质 7。酸，碱排风在经废气处理设备处理前处于负压状态，这样一旦排风系统发生泄漏,不会出现未经处理的有害气体直接排入大气的现象.另外也可以使风机处于经废气处理设备处理后的低浓度腐蚀气体运行环境.延长风机的使用寿命.9。2,6 本条是对废气处理系统设计的规定 1 考虑到发光二极管工厂酸 碱排风中有害物质的含量较大、如采用固定床吸附剂方式处理 吸附剂很快就会饱和、需频繁更换吸附剂、调查发现采用固定床吸附剂方式处理废气的企业、大部分不及时更换吸附剂.从而影响废气处理效果,造成环境污染 2,本款规定主要是为了使废气处理设备处于最佳的工作状态 提高废气处理设备的处理效率。方便日常的操作维护.9，2。7、排气筒高度应满足国家规范，环境评估报告以及环保部门等要求，经处理过的有害废气虽然已满足排放要求.但不等于没有有害物,故规定排气筒出口处的最小风速使废气直接排入高空、避免新风机组的吸风口吸入。9，2,8,金属氧化物化学气相沉积设备由于使用较大量的氢气 为防止氢气供应系统及使用氢气的设备发生意外泄漏时出现氢气积聚、从而引发爆炸隐患，所以该设备区域应设置不低于12次.h事故排风系统，9,2，9.按照本规范规定氢气管道应明敷在洁净室内.且用气设备也布置在洁净室内,一般使用氢气房间的吊顶上部不应存在氢气，但考虑到该类厂房的洁净室吊顶通常是由金属壁板拼装而成的,如果发生氢气泄漏 氢气会通过板缝渗入吊顶上部空间 这种渗透量虽然是极小的,但日积月累会有事故隐患、所以该房间的吊顶上部应设置通风换气措施.