C。2、分步流程C,2、1,外延片生产可采用图C。2、1所示基本工艺流程.图C、2 1、外延片生产基本工艺流程C,2、2 管芯、芯片.生产工艺流程应包括蓝光,绿光芯片生产工艺流程和红光,黄光芯片生产工艺流程.并应符合下列规定,1,蓝光.绿光芯片生产可采用图C.2。2,1所示基本工艺流程。图C,2,2,1、蓝光、绿光芯片生产基本工艺流程。2,红光、黄光芯片生产可采用图C,2,2 2所示基本工艺流程,图C、2.2,2。红光,黄光芯片生产基本工艺流程C,2。3,管芯,芯片。封装生产可采用图C.2.3所示基本工艺流程。图C。2.3,管芯,芯片.封装生产基本工艺流程
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