C,2 分步流程C.2 1,外延片生产可采用图C.2,1所示基本工艺流程 图C。2。1,外延片生产基本工艺流程C.2。2.管芯 芯片.生产工艺流程应包括蓝光,绿光芯片生产工艺流程和红光,黄光芯片生产工艺流程、并应符合下列规定,1、蓝光 绿光芯片生产可采用图C,2。2。1所示基本工艺流程,图C、2.2.1、蓝光。绿光芯片生产基本工艺流程 2.红光.黄光芯片生产可采用图C。2。2,2所示基本工艺流程。图C.2.2、2、红光 黄光芯片生产基本工艺流程C、2.3.管芯.芯片,封装生产可采用图C 2 3所示基本工艺流程、图C。2。3.管芯,芯片,封装生产基本工艺流程
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