2、术 语2,0。1.发光二极管 light。emitting,diode、LED 一种能够将电能转化为可见光的固态半导体器件 2,0,2。外延.epitaxy,在单晶衬底、基片、上生长一层或多层有一定要求的、与衬底晶向相同或相似的单品层的生长技术、2。0,3,金属有机化合物化学气相沉积。metal,organic.chemical vapor,deposition MOCVD。以 族.族元素的金属有机化合物和,族元素的氢化物等作为品体生长原材料,以热分解反应方式在衬底上进行气相外延.生长各种.族。族化合物半导体及其多元薄层单晶材料的工艺过程、2、0 4、空间管理,space,management。为有效利用空间 缩短工作流程。对大到整个厂区的建筑物布局.地下管线规划、小到一栋建筑物内部各个专业间的配置协调而进行的设计。
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