2 术。语2.0,1。发光二极管.light,emitting、diode,LED 一种能够将电能转化为可见光的固态半导体器件.2,0、2,外延。epitaxy,在单晶衬底 基片.上生长一层或多层有一定要求的.与衬底晶向相同或相似的单品层的生长技术,2。0、3。金属有机化合物化学气相沉积。metal、organic、chemical,vapor,deposition。MOCVD.以、族。族元素的金属有机化合物和.族元素的氢化物等作为品体生长原材料。以热分解反应方式在衬底上进行气相外延.生长各种 族,族化合物半导体及其多元薄层单晶材料的工艺过程,2。0,4 空间管理,space,management.为有效利用空间.缩短工作流程、对大到整个厂区的建筑物布局、地下管线规划。小到一栋建筑物内部各个专业间的配置协调而进行的设计.
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