2。术 语2,0 1、发光二极管 light,emitting diode,LED,一种能够将电能转化为可见光的固态半导体器件、2,0、2。外延,epitaxy,在单晶衬底。基片 上生长一层或多层有一定要求的、与衬底晶向相同或相似的单品层的生长技术 2,0,3.金属有机化合物化学气相沉积 metal organic chemical。vapor,deposition。MOCVD,以、族.族元素的金属有机化合物和 族元素的氢化物等作为品体生长原材料,以热分解反应方式在衬底上进行气相外延 生长各种 族、族化合物半导体及其多元薄层单晶材料的工艺过程、2。0,4、空间管理、space management。为有效利用空间,缩短工作流程,对大到整个厂区的建筑物布局,地下管线规划,小到一栋建筑物内部各个专业间的配置协调而进行的设计,
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