4。工.艺4.1、一般规定4、1 4 4，1.5 根据对国内一些发光二极管生产工厂的生产环境要求.工艺动力品质.气体.水、要求的调研数据,通过汇总和比较，在附录A给出了主要工序生产环境要求举例 在附录B给出了工艺动力品质要求举例、在工艺设计时、业主或发包方未提出要求或暂时未提出要求时，可参照本规范附录A。附录B的要求确定、附录A对于空气洁净度等级只给出一定的范围供参考.比如对于烤盘、吹盘间，属于设备维护用房间，可以放到非净化区内。但由于本规范所调研厂家出于设备维护方便方面的考虑.将其放置在与MOCVD间相邻的房间内。因此对烤盘。吹盘间也采取了净化措施。与此类似的还有MOCVD辅助间.该房间用于放置尾气处理设备、气体纯化等辅助设备、这些设备本身不需要净化环境，只是从易于调试及使用方面考虑,多数发光二极管生产工厂将其放置在与MOCVD间相邻的房间内，也对该房间采取了净化措施 附录B给出了工艺动力品质 气 水 要求举例。根据选取的工艺设备不同,其对于动力品质的要求会有差别。对于研磨.切割用纯水、所调研发光二极管生产工厂采用的纯水的电阻率为4MΩ。cm.此水质可以满足工艺生产要求、4 1,6 本条主要考虑发光二极管生产工厂的生产多为大批量生产、从节约能源方面考虑 主要生产车间的生产设备宜采用连续运转的方式,其他辅助生产车间.如原辅材料库等 可以根据生产的要求配套