4、工，艺4.1、一般规定4，1，4,4。1.5、根据对国内一些发光二极管生产工厂的生产环境要求 工艺动力品质。气体.水,要求的调研数据.通过汇总和比较、在附录A给出了主要工序生产环境要求举例 在附录B给出了工艺动力品质要求举例 在工艺设计时 业主或发包方未提出要求或暂时未提出要求时。可参照本规范附录A，附录B的要求确定，附录A对于空气洁净度等级只给出一定的范围供参考，比如对于烤盘。吹盘间，属于设备维护用房间 可以放到非净化区内。但由于本规范所调研厂家出于设备维护方便方面的考虑 将其放置在与MOCVD间相邻的房间内、因此对烤盘、吹盘间也采取了净化措施。与此类似的还有MOCVD辅助间、该房间用于放置尾气处理设备 气体纯化等辅助设备.这些设备本身不需要净化环境,只是从易于调试及使用方面考虑、多数发光二极管生产工厂将其放置在与MOCVD间相邻的房间内。也对该房间采取了净化措施。附录B给出了工艺动力品质、气.水,要求举例,根据选取的工艺设备不同，其对于动力品质的要求会有差别.对于研磨.切割用纯水 所调研发光二极管生产工厂采用的纯水的电阻率为4MΩ。cm,此水质可以满足工艺生产要求。4、1,6、本条主要考虑发光二极管生产工厂的生产多为大批量生产 从节约能源方面考虑,主要生产车间的生产设备宜采用连续运转的方式，其他辅助生产车间。如原辅材料库等 可以根据生产的要求配套。