4、工 艺4.1、一般规定4,1、4、4，1 5、根据对国内一些发光二极管生产工厂的生产环境要求.工艺动力品质.气体.水。要求的调研数据 通过汇总和比较。在附录A给出了主要工序生产环境要求举例，在附录B给出了工艺动力品质要求举例,在工艺设计时，业主或发包方未提出要求或暂时未提出要求时、可参照本规范附录A.附录B的要求确定,附录A对于空气洁净度等级只给出一定的范围供参考，比如对于烤盘。吹盘间.属于设备维护用房间，可以放到非净化区内，但由于本规范所调研厂家出于设备维护方便方面的考虑 将其放置在与MOCVD间相邻的房间内 因此对烤盘，吹盘间也采取了净化措施，与此类似的还有MOCVD辅助间。该房间用于放置尾气处理设备 气体纯化等辅助设备 这些设备本身不需要净化环境,只是从易于调试及使用方面考虑,多数发光二极管生产工厂将其放置在与MOCVD间相邻的房间内.也对该房间采取了净化措施、附录B给出了工艺动力品质,气，水,要求举例,根据选取的工艺设备不同,其对于动力品质的要求会有差别。对于研磨 切割用纯水、所调研发光二极管生产工厂采用的纯水的电阻率为4MΩ.cm 此水质可以满足工艺生产要求 4、1、6 本条主要考虑发光二极管生产工厂的生产多为大批量生产、从节约能源方面考虑.主要生产车间的生产设备宜采用连续运转的方式。其他辅助生产车间.如原辅材料库等，可以根据生产的要求配套。