4 工。艺4、1。一般规定4 1。4，4，1 5、根据对国内一些发光二极管生产工厂的生产环境要求、工艺动力品质、气体。水，要求的调研数据 通过汇总和比较 在附录A给出了主要工序生产环境要求举例，在附录B给出了工艺动力品质要求举例 在工艺设计时。业主或发包方未提出要求或暂时未提出要求时,可参照本规范附录A 附录B的要求确定 附录A对于空气洁净度等级只给出一定的范围供参考,比如对于烤盘。吹盘间,属于设备维护用房间,可以放到非净化区内 但由于本规范所调研厂家出于设备维护方便方面的考虑,将其放置在与MOCVD间相邻的房间内 因此对烤盘.吹盘间也采取了净化措施 与此类似的还有MOCVD辅助间,该房间用于放置尾气处理设备.气体纯化等辅助设备 这些设备本身不需要净化环境，只是从易于调试及使用方面考虑.多数发光二极管生产工厂将其放置在与MOCVD间相邻的房间内 也对该房间采取了净化措施,附录B给出了工艺动力品质、气.水 要求举例,根据选取的工艺设备不同,其对于动力品质的要求会有差别，对于研磨 切割用纯水.所调研发光二极管生产工厂采用的纯水的电阻率为4MΩ,cm，此水质可以满足工艺生产要求、4、1。6。本条主要考虑发光二极管生产工厂的生产多为大批量生产.从节约能源方面考虑，主要生产车间的生产设备宜采用连续运转的方式。其他辅助生产车间 如原辅材料库等。可以根据生产的要求配套.