7，2.结构设计7。2 1。发光二极管生产厂房根据生产工艺的规模和场地布局确定采用单层还是多层的方案。并根据生产要求确定层高和柱距.1,单层排架结构一般采用钢筋混凝土排架结构和钢屋架或钢梁与钢筋混凝土柱组成的排架结构,2、单层门式刚架钢结构体系抗侧刚度较柔、由于洁净的生产环境要求建筑具有较好的密闭性。因此 在风荷载作用下,层间位移角不宜高于1。400。3。多层框架结构体系一般采用钢筋混凝土结构，4,多层框排架结构体系一般采用钢筋混凝土结构仅在屋面采用钢屋架或钢梁铰支在柱顶上,在顶层形成排架结构,柱顶上的钢屋架或钢梁不是抗侧力构件,7。2 3，建筑物厂房外振源的振动大部分在浅层地基中以表而波的形式在水平方向传播 传到建筑物的基础大底板下 这种建筑物效应会使振动衰减、是微振中存在的显著现象,根据有关文献报告的对工程实例的调查分析和过去实际工程的实测。如果从一块大板上割去一块孤板用于支承敏感的设备、通过与邻近大板的对比测量,被隔离的孤板水平振动增大较多。这种现象说明、基础大板的存在可以抑制面波的水平成分、在垂直方向上,这种振动衰减与底板厚 柱距的大小有关系.由于光刻机为该工艺的核心生产设备.该精密设备除采取这些措施外 还应考虑其受到的外部振源如地基振动，支持设备。现场作业的伴随振源的影响，建议微振动控制宜咨询有相关设备微振动控制经验的结构工程设计人员,