4 4 设备布置4。4，1、振动敏感设备宜远离振动源布置.4、4,2，生产设备宜根据工艺流程集中布置.并考虑设备搬运、维修空间。4，4。3 金属有机化合物化学气相沉积设备及其辅助设备宜集中布置.4，4 4。气瓶柜,尾气处理设备,气体纯化柜等金属有机化学气相沉积设备的辅助设备的布置方式、应符合现行国家标准.建筑设计防火规范.GB。50016和.特种气体系统工程技术规范、GB、50646的有关规定。