4、工，艺4,1、一般规定4,1。4，4。1，5、根据对国内一些发光二极管生产工厂的生产环境要求。工艺动力品质 气体。水。要求的调研数据,通过汇总和比较。在附录A给出了主要工序生产环境要求举例.在附录B给出了工艺动力品质要求举例 在工艺设计时。业主或发包方未提出要求或暂时未提出要求时，可参照本规范附录A，附录B的要求确定、附录A对于空气洁净度等级只给出一定的范围供参考。比如对于烤盘、吹盘间、属于设备维护用房间，可以放到非净化区内.但由于本规范所调研厂家出于设备维护方便方面的考虑。将其放置在与MOCVD间相邻的房间内 因此对烤盘。吹盘间也采取了净化措施.与此类似的还有MOCVD辅助间 该房间用于放置尾气处理设备、气体纯化等辅助设备.这些设备本身不需要净化环境、只是从易于调试及使用方面考虑,多数发光二极管生产工厂将其放置在与MOCVD间相邻的房间内，也对该房间采取了净化措施,附录B给出了工艺动力品质。气，水、要求举例，根据选取的工艺设备不同,其对于动力品质的要求会有差别。对于研磨，切割用纯水。所调研发光二极管生产工厂采用的纯水的电阻率为4MΩ cm，此水质可以满足工艺生产要求 4.1.6，本条主要考虑发光二极管生产工厂的生产多为大批量生产.从节约能源方面考虑.主要生产车间的生产设备宜采用连续运转的方式 其他辅助生产车间 如原辅材料库等,可以根据生产的要求配套，