4。工，艺4，1.一般规定4.1.4。4,1，5.根据对国内一些发光二极管生产工厂的生产环境要求、工艺动力品质。气体.水、要求的调研数据 通过汇总和比较，在附录A给出了主要工序生产环境要求举例.在附录B给出了工艺动力品质要求举例,在工艺设计时。业主或发包方未提出要求或暂时未提出要求时。可参照本规范附录A,附录B的要求确定 附录A对于空气洁净度等级只给出一定的范围供参考，比如对于烤盘,吹盘间、属于设备维护用房间。可以放到非净化区内.但由于本规范所调研厂家出于设备维护方便方面的考虑,将其放置在与MOCVD间相邻的房间内,因此对烤盘.吹盘间也采取了净化措施,与此类似的还有MOCVD辅助间，该房间用于放置尾气处理设备。气体纯化等辅助设备,这些设备本身不需要净化环境。只是从易于调试及使用方面考虑,多数发光二极管生产工厂将其放置在与MOCVD间相邻的房间内，也对该房间采取了净化措施 附录B给出了工艺动力品质 气，水 要求举例，根据选取的工艺设备不同 其对于动力品质的要求会有差别。对于研磨，切割用纯水，所调研发光二极管生产工厂采用的纯水的电阻率为4MΩ.cm、此水质可以满足工艺生产要求,4，1 6、本条主要考虑发光二极管生产工厂的生产多为大批量生产、从节约能源方面考虑。主要生产车间的生产设备宜采用连续运转的方式,其他辅助生产车间。如原辅材料库等 可以根据生产的要求配套。