4,工.艺4 1 一般规定4.1，4。4.1，5、根据对国内一些发光二极管生产工厂的生产环境要求,工艺动力品质,气体、水.要求的调研数据.通过汇总和比较,在附录A给出了主要工序生产环境要求举例。在附录B给出了工艺动力品质要求举例。在工艺设计时。业主或发包方未提出要求或暂时未提出要求时。可参照本规范附录A，附录B的要求确定，附录A对于空气洁净度等级只给出一定的范围供参考,比如对于烤盘，吹盘间.属于设备维护用房间 可以放到非净化区内 但由于本规范所调研厂家出于设备维护方便方面的考虑、将其放置在与MOCVD间相邻的房间内。因此对烤盘。吹盘间也采取了净化措施.与此类似的还有MOCVD辅助间 该房间用于放置尾气处理设备、气体纯化等辅助设备。这些设备本身不需要净化环境,只是从易于调试及使用方面考虑,多数发光二极管生产工厂将其放置在与MOCVD间相邻的房间内 也对该房间采取了净化措施,附录B给出了工艺动力品质 气,水.要求举例,根据选取的工艺设备不同、其对于动力品质的要求会有差别。对于研磨。切割用纯水,所调研发光二极管生产工厂采用的纯水的电阻率为4MΩ cm、此水质可以满足工艺生产要求。4,1 6 本条主要考虑发光二极管生产工厂的生产多为大批量生产，从节约能源方面考虑 主要生产车间的生产设备宜采用连续运转的方式，其他辅助生产车间、如原辅材料库等，可以根据生产的要求配套.