6 2 防火及安全疏散6。2。1，发光二极管工厂洁净厂房不同于一般工业厂房，具有下列特点,1.空间密闭 火灾发生后、烟量特大、对于疏散和扑救极为不利。2、平面布置曲折，增加了疏散路线上的障碍。延长了安全疏散的距离和时间.3，生产过程使用易燃易爆物质、火灾危险性高、同时.洁净厂房内往往有不少极为精密。贵重的设备,建设投资十分昂贵、一旦失火、损失极大。为了保障生命、财产的安全 尽量减少火灾中的损失。本条规定将洁净厂房耐火等级定为二级及二级以上.使建筑构配件耐火性能与生产相适应 从而减少成灾的可能性，6、2 2,本条将金属有机化合物化学气相沉积间的火灾危险性分类定为丙类的依据为 电子工业洁净厂房设计规范.GB、50472、2008、在该规范的附录B中提出 化学气相沉积间在满足设备密闭性良好 并设有气体或可燃蒸汽报警装置和灭火装置时、应按丙类,否则应按甲类设防，金属有机化学气相沉积属于化学气相沉积工艺的一种 根据调研资料.目前进行金属有机化学气相沉积生产的设备为密闭性良好设备，在设备上设有紧急安全按钮,待机状态管路腔体氮气吹扫保护 气体泄露报警，腔体超压报警，腔体与外围真空泵双密封保护,设备连锁尾气处理设备.冷却水流量压力保护.冷却风温报警 突发停电后设备UPS电源保护 紧急冷却水自动冷却系统一系列安全设计,另外，氢气 氨气、硅烷.砷烷、磷烷等易爆,易燃 有毒气体供应管路设有紧急切断阀，一旦发生事故,火情时，自动切断气源供应.工程设计中，应采取一系列的安全防护措施.金属有机化学气相沉积设备的尾气设置就地处理装置 该设备的排风系统采取防火、防爆措施 金属有机化学气相沉积间设置气体报警装置和灭火装置 喷淋、设置不低于12次，h的事故排风措施 该房间吊顶上部设置通风换气措施。避免出现氢气的集聚 氢气.氨气的供应管道设置有气体阀门箱，阀门箱中设置有局部通风措施 硅烷，砷烷,磷烷等气瓶放置在气瓶柜中.气瓶柜中设置氮气保护气体，并设置有通风措施,根据上述情况，在满足生产设备密闭性良好。并设有气体或可燃蒸汽报警装置和灭火装置时 金属有机化合物化学气相沉积间应按丙类.否则应按甲类设防。6、2 6。本条说明如下,1、发光二极管工厂生产使用所需要的低压。低沸点特种气体,由于输送过程中极易液化 无法采用长距离管道输送。不可避免地会设在厂房内、如高纯气体纯化间.有可燃气体的气体入口室。特种气体储存分配间.可燃化学品储存.分配间等,2.对于有爆炸危险的易燃易爆化学品及气体的配送间在设置足够的泄压面积后、可大大减轻爆炸时的破坏强度，避免因主体结构遭受破坏而造成重大人员伤亡和经济损失,在现行国家标准、建筑设计防火规范.GB，50016，2016中明确规定、对有爆炸危险的甲乙类生产部位，宜设置在单层厂房外墙的泄压设施或多层厂房顶层靠外墙的泄压设施附近,