8，3、特种气体供应8。3 1.特种气体应采用外购钢瓶气体 液态气体.在工厂内设置储存。分配系统。8。3,2，特种气体储存分配系统设备，应根据特种气体的性质和储存数量布置在独立的建构筑物内.或布置在生产厂房内.8，3,3 特种气体系统的气瓶柜.气瓶架的设置应符合下列规定。1 不相容气体瓶严禁放置于同一气瓶柜或气瓶架中，2,不相容的特种气体的气瓶架应布置在不同房间里.当布置在同一房间时，不相容特种气体的气瓶柜,气瓶架之间的距离应大于6m。3，气瓶柜闭门时的排风换气次数不得低于300次 h。且气瓶柜应保持负压.4 自燃。可燃、毒性.腐蚀性气瓶柜应在排风出口设置气体泄漏探测器。5。气瓶柜门应具备自动关闭功能 并应配备防爆玻璃观察窗,气瓶柜应采取抗震措施.设计应满足当地抗震设防烈度的要求,8。3 4。可燃,自燃特种气体的气瓶柜应符合下列规定 1、硅烷气瓶柜闭门时的排风换气次数不得低于1200次 h，且应连续监控气瓶柜的负压.2.自燃特种气体的气瓶柜应设置紫外 红外火焰探测器及水喷淋系统,3,可燃特种气体的气瓶柜应设置水喷淋系统。4 自燃.可燃特种气体的气瓶柜应在气瓶之间设置隔离钢板.8.3.5.特种气体系统吹扫氮气的设置,应符合下列规定。1 特种气体系统的吹扫氮气应与独立的氮气源连接、不得与公用氮气或工艺氮气系统相连,2。不相容性特种气体系统的吹扫氮气不得共用同一氮气源、3 吹扫氮气管线应设置止回阀，8,3,6 特种气体排气与废气处理的设置应符合下列规定,1,特种气体系统的排气管应设置氮气稀释与连续吹扫.2，不相容性特种气体的排气不得接入同一排气主管、3，自燃，可燃。毒性，腐蚀性特种气体的排气应经过尾气处理装置进行处理,排放应符合现行国家标准，大气污染物综合排放标准、GB.16297的有关规定、8。3.7.生产厂房内的可燃和毒性特种气体管道应明敷.穿过生产区墙壁与楼板处的管段应设置套管.套管内的管道不得有焊缝，套管与管道之间应采用密封措施，可燃 毒性,腐蚀性气体管道的机械连接处 应置于排风罩内,8.3 8、特种气体和吹扫气体的管道和管件应采用奥氏体超低碳不锈钢无缝钢管,内表面应进行洁净和钝化处理 8 3，9.自燃 可燃,氧化性特种气体管道 应设置静电泄放的接地设施、8，3、10。室外布置的特种气体管道应架空布置,8。3,11 当特种气体为硅烷、磷烷。砷烷时,应采用双层管道设计，8 3。12。特种气体采用双层管输送时、双层管的外层管道宜采用SS304奥氏体不锈钢管道.内层管道应与所输送特种气体的性质匹配.