5，2,特种气体探测系统5.2。1 储存 输送.使用特种气体的下列区域或场所应设置特种气体探测装置 1、自燃性 易燃性,剧毒性 毒性 腐蚀性气体气瓶柜和阀门箱的排风管口处.2 生产工艺设备的自燃性.易燃性，剧毒性，毒性.腐蚀性气体阀门箱的排风管口处 工艺设备的排风管口处,3、生产工艺设备的特种气体的废气处理装置排风出管口处、4。惰性气体间可能产生窒息的区域,5.自燃性、易燃性、剧毒性.毒性、腐蚀性气体设备间 6,其他可能发生泄漏的自燃性，易燃性,剧毒性 毒性 腐蚀性气体的环境 5 2,2，易燃性 自燃性特种气体探测系统、有毒气体检测装置应设置一级报警或二级报警 5。2、3,自燃性，易燃性、剧毒性 毒性气体 氧气检测装置报警设定值应符合下列规定,1，自燃性.易燃性气体的一级报警设定值不应大于25，易燃性气体爆炸浓度下限值。二级报警设定值不应大于50、易燃性气体爆炸浓度下限值，2，剧毒性,毒性气体的一级报警设定值不应大于50，空气中有害物质的最高允许浓度值。时间加权平均容许浓度、TLV，TWA 二级报警设定值不应大于100,空气中有害物质的最高允许浓度值,时间加权平均容许浓度.TLV TWA、3 设在惰性气体间的氧气探测器.其一级报警设定值不应小于19，5。氧气体积浓度,V,V。二级报警设定值不应小于18、氧气体积浓度，V.V,4。二氧化碳气体系统宜设二氧化碳气体探测器 其报警设定值应为5000ppm 5、2.4，自燃性，易燃性 剧毒性、毒性气体,氧气检测装置的检测报警响应时间应符合下列规定.1.自燃性、易燃性气体检测报警采用扩散式应小于20s、吸入式应小于15s。2,剧毒性，毒性气体检测报警采用扩散式应小于40s 吸入式应小于20s,3、氧气检测报警采用扩散式应小于20s，吸入式应小于15s.5 2 5。当特种气体相对密度小于或等于0.75时,特种气体探测器应同时设置在释放源上方和厂房最高点易积气处.当特种气体相对密度大于0，75时,特种气体探测器应设置在释放源下方离地面0 3m 0、5m处,5,2，6、硅烷排风管道的气体探测器的报警设定值.应小于或等于50ppm，并应与硅烷气源的自动切断阀联锁、硅烷站环境气体探测器的报警设定值应小于或等于5ppm.环境气体探测器报警时、硅烷控制系统不应自动切断硅烷输送管路,5、2，7 有机金属前躯体材料应设置相应的侦测及火灾报警装置、当无对应侦测器时.应根据其分解物选择侦测器