5、2。特种气体探测系统5,2，1、储存，输送,使用特种气体的下列区域或场所应设置特种气体探测装置。1，自燃性 易燃性.剧毒性，毒性。腐蚀性气体气瓶柜和阀门箱的排风管口处。2、生产工艺设备的自燃性。易燃性，剧毒性.毒性、腐蚀性气体阀门箱的排风管口处,工艺设备的排风管口处。3.生产工艺设备的特种气体的废气处理装置排风出管口处。4。惰性气体间可能产生窒息的区域、5，自燃性，易燃性 剧毒性.毒性 腐蚀性气体设备间，6 其他可能发生泄漏的自燃性 易燃性.剧毒性、毒性、腐蚀性气体的环境。5、2、2。易燃性。自燃性特种气体探测系统,有毒气体检测装置应设置一级报警或二级报警。5、2。3，自燃性 易燃性.剧毒性.毒性气体,氧气检测装置报警设定值应符合下列规定,1.自燃性.易燃性气体的一级报警设定值不应大于25、易燃性气体爆炸浓度下限值、二级报警设定值不应大于50。易燃性气体爆炸浓度下限值 2 剧毒性.毒性气体的一级报警设定值不应大于50，空气中有害物质的最高允许浓度值,时间加权平均容许浓度,TLV、TWA.二级报警设定值不应大于100.空气中有害物质的最高允许浓度值、时间加权平均容许浓度.TLV、TWA，3,设在惰性气体间的氧气探测器,其一级报警设定值不应小于19.5、氧气体积浓度.V V,二级报警设定值不应小于18。氧气体积浓度，V V，4，二氧化碳气体系统宜设二氧化碳气体探测器 其报警设定值应为5000ppm。5，2 4、自燃性，易燃性。剧毒性、毒性气体.氧气检测装置的检测报警响应时间应符合下列规定 1。自燃性。易燃性气体检测报警采用扩散式应小于20s，吸入式应小于15s。2,剧毒性，毒性气体检测报警采用扩散式应小于40s、吸入式应小于20s。3.氧气检测报警采用扩散式应小于20s 吸入式应小于15s,5,2.5,当特种气体相对密度小于或等于0，75时 特种气体探测器应同时设置在释放源上方和厂房最高点易积气处,当特种气体相对密度大于0、75时、特种气体探测器应设置在释放源下方离地面0 3m，0 5m处。5 2,6、硅烷排风管道的气体探测器的报警设定值。应小于或等于50ppm.并应与硅烷气源的自动切断阀联锁、硅烷站环境气体探测器的报警设定值应小于或等于5ppm。环境气体探测器报警时。硅烷控制系统不应自动切断硅烷输送管路 5 2,7、有机金属前躯体材料应设置相应的侦测及火灾报警装置，当无对应侦测器时，应根据其分解物选择侦测器。