5、2。特种气体探测系统5 2 1。储存。输送，使用特种气体的下列区域或场所应设置特种气体探测装置,1，自燃性 易燃性 剧毒性，毒性。腐蚀性气体气瓶柜和阀门箱的排风管口处 2,生产工艺设备的自燃性,易燃性、剧毒性.毒性 腐蚀性气体阀门箱的排风管口处、工艺设备的排风管口处,3。生产工艺设备的特种气体的废气处理装置排风出管口处,4 惰性气体间可能产生窒息的区域,5，自燃性 易燃性、剧毒性，毒性。腐蚀性气体设备间 6，其他可能发生泄漏的自燃性 易燃性。剧毒性,毒性、腐蚀性气体的环境，5 2.2，易燃性,自燃性特种气体探测系统 有毒气体检测装置应设置一级报警或二级报警。5、2.3.自燃性、易燃性,剧毒性 毒性气体.氧气检测装置报警设定值应符合下列规定 1 自燃性,易燃性气体的一级报警设定值不应大于25、易燃性气体爆炸浓度下限值.二级报警设定值不应大于50，易燃性气体爆炸浓度下限值,2 剧毒性 毒性气体的一级报警设定值不应大于50、空气中有害物质的最高允许浓度值，时间加权平均容许浓度.TLV.TWA。二级报警设定值不应大于100 空气中有害物质的最高允许浓度值.时间加权平均容许浓度.TLV TWA、3，设在惰性气体间的氧气探测器.其一级报警设定值不应小于19、5,氧气体积浓度.V.V。二级报警设定值不应小于18,氧气体积浓度，V，V，4、二氧化碳气体系统宜设二氧化碳气体探测器、其报警设定值应为5000ppm、5 2，4,自燃性。易燃性,剧毒性、毒性气体、氧气检测装置的检测报警响应时间应符合下列规定.1，自燃性,易燃性气体检测报警采用扩散式应小于20s 吸入式应小于15s,2.剧毒性。毒性气体检测报警采用扩散式应小于40s 吸入式应小于20s、3,氧气检测报警采用扩散式应小于20s,吸入式应小于15s、5，2.5 当特种气体相对密度小于或等于0,75时 特种气体探测器应同时设置在释放源上方和厂房最高点易积气处.当特种气体相对密度大于0。75时。特种气体探测器应设置在释放源下方离地面0。3m、0.5m处，5,2.6 硅烷排风管道的气体探测器的报警设定值、应小于或等于50ppm、并应与硅烷气源的自动切断阀联锁 硅烷站环境气体探测器的报警设定值应小于或等于5ppm。环境气体探测器报警时，硅烷控制系统不应自动切断硅烷输送管路。5,2、7。有机金属前躯体材料应设置相应的侦测及火灾报警装置、当无对应侦测器时,应根据其分解物选择侦测器.