5.2 特种气体探测系统5，2 1。储存.输送,使用特种气体的下列区域或场所应设置特种气体探测装置,1。自燃性 易燃性，剧毒性、毒性。腐蚀性气体气瓶柜和阀门箱的排风管口处，2，生产工艺设备的自燃性。易燃性 剧毒性、毒性、腐蚀性气体阀门箱的排风管口处 工艺设备的排风管口处，3 生产工艺设备的特种气体的废气处理装置排风出管口处,4 惰性气体间可能产生窒息的区域。5，自燃性 易燃性,剧毒性 毒性、腐蚀性气体设备间,6，其他可能发生泄漏的自燃性、易燃性、剧毒性。毒性,腐蚀性气体的环境，5、2，2、易燃性,自燃性特种气体探测系统。有毒气体检测装置应设置一级报警或二级报警。5 2 3，自燃性.易燃性,剧毒性，毒性气体 氧气检测装置报警设定值应符合下列规定、1 自燃性.易燃性气体的一级报警设定值不应大于25、易燃性气体爆炸浓度下限值，二级报警设定值不应大于50、易燃性气体爆炸浓度下限值 2，剧毒性.毒性气体的一级报警设定值不应大于50 空气中有害物质的最高允许浓度值.时间加权平均容许浓度 TLV,TWA，二级报警设定值不应大于100 空气中有害物质的最高允许浓度值,时间加权平均容许浓度,TLV，TWA,3，设在惰性气体间的氧气探测器、其一级报警设定值不应小于19,5，氧气体积浓度 V V,二级报警设定值不应小于18、氧气体积浓度。V V、4 二氧化碳气体系统宜设二氧化碳气体探测器 其报警设定值应为5000ppm、5,2,4,自燃性、易燃性 剧毒性，毒性气体.氧气检测装置的检测报警响应时间应符合下列规定。1 自燃性,易燃性气体检测报警采用扩散式应小于20s，吸入式应小于15s。2,剧毒性,毒性气体检测报警采用扩散式应小于40s、吸入式应小于20s,3、氧气检测报警采用扩散式应小于20s，吸入式应小于15s,5,2 5,当特种气体相对密度小于或等于0.75时.特种气体探测器应同时设置在释放源上方和厂房最高点易积气处、当特种气体相对密度大于0 75时。特种气体探测器应设置在释放源下方离地面0 3m.0.5m处 5,2、6。硅烷排风管道的气体探测器的报警设定值,应小于或等于50ppm，并应与硅烷气源的自动切断阀联锁、硅烷站环境气体探测器的报警设定值应小于或等于5ppm。环境气体探测器报警时,硅烷控制系统不应自动切断硅烷输送管路 5，2,7、有机金属前躯体材料应设置相应的侦测及火灾报警装置 当无对应侦测器时 应根据其分解物选择侦测器、