5、2、特种气体探测系统5、2、1。储存 输送.使用特种气体的下列区域或场所应设置特种气体探测装置,1、自燃性，易燃性、剧毒性 毒性.腐蚀性气体气瓶柜和阀门箱的排风管口处、2 生产工艺设备的自燃性.易燃性。剧毒性,毒性,腐蚀性气体阀门箱的排风管口处，工艺设备的排风管口处、3。生产工艺设备的特种气体的废气处理装置排风出管口处,4，惰性气体间可能产生窒息的区域.5,自燃性,易燃性.剧毒性.毒性。腐蚀性气体设备间。6。其他可能发生泄漏的自燃性 易燃性.剧毒性，毒性，腐蚀性气体的环境、5，2、2、易燃性，自燃性特种气体探测系统。有毒气体检测装置应设置一级报警或二级报警.5、2、3，自燃性,易燃性、剧毒性、毒性气体 氧气检测装置报警设定值应符合下列规定，1.自燃性.易燃性气体的一级报警设定值不应大于25，易燃性气体爆炸浓度下限值。二级报警设定值不应大于50.易燃性气体爆炸浓度下限值.2。剧毒性,毒性气体的一级报警设定值不应大于50。空气中有害物质的最高允许浓度值 时间加权平均容许浓度,TLV.TWA.二级报警设定值不应大于100,空气中有害物质的最高允许浓度值，时间加权平均容许浓度,TLV TWA。3.设在惰性气体间的氧气探测器、其一级报警设定值不应小于19、5。氧气体积浓度。V V，二级报警设定值不应小于18.氧气体积浓度，V、V。4 二氧化碳气体系统宜设二氧化碳气体探测器，其报警设定值应为5000ppm、5.2、4、自燃性、易燃性，剧毒性，毒性气体、氧气检测装置的检测报警响应时间应符合下列规定、1，自燃性。易燃性气体检测报警采用扩散式应小于20s.吸入式应小于15s 2，剧毒性、毒性气体检测报警采用扩散式应小于40s,吸入式应小于20s.3。氧气检测报警采用扩散式应小于20s。吸入式应小于15s,5，2。5。当特种气体相对密度小于或等于0.75时。特种气体探测器应同时设置在释放源上方和厂房最高点易积气处。当特种气体相对密度大于0，75时、特种气体探测器应设置在释放源下方离地面0,3m。0.5m处 5。2，6。硅烷排风管道的气体探测器的报警设定值 应小于或等于50ppm、并应与硅烷气源的自动切断阀联锁，硅烷站环境气体探测器的报警设定值应小于或等于5ppm、环境气体探测器报警时、硅烷控制系统不应自动切断硅烷输送管路.5，2、7。有机金属前躯体材料应设置相应的侦测及火灾报警装置.当无对应侦测器时、应根据其分解物选择侦测器。