5、2、特种气体探测系统5.2。1，储存.输送，使用特种气体的下列区域或场所应设置特种气体探测装置.1、自燃性、易燃性.剧毒性，毒性、腐蚀性气体气瓶柜和阀门箱的排风管口处,2,生产工艺设备的自燃性，易燃性,剧毒性,毒性，腐蚀性气体阀门箱的排风管口处。工艺设备的排风管口处 3,生产工艺设备的特种气体的废气处理装置排风出管口处。4,惰性气体间可能产生窒息的区域,5、自燃性。易燃性。剧毒性.毒性、腐蚀性气体设备间。6.其他可能发生泄漏的自燃性.易燃性。剧毒性。毒性，腐蚀性气体的环境,5,2,2，易燃性.自燃性特种气体探测系统，有毒气体检测装置应设置一级报警或二级报警,5 2.3,自燃性,易燃性、剧毒性,毒性气体、氧气检测装置报警设定值应符合下列规定，1，自燃性、易燃性气体的一级报警设定值不应大于25、易燃性气体爆炸浓度下限值.二级报警设定值不应大于50、易燃性气体爆炸浓度下限值，2.剧毒性。毒性气体的一级报警设定值不应大于50、空气中有害物质的最高允许浓度值。时间加权平均容许浓度。TLV,TWA 二级报警设定值不应大于100.空气中有害物质的最高允许浓度值 时间加权平均容许浓度 TLV.TWA、3、设在惰性气体间的氧气探测器。其一级报警设定值不应小于19,5 氧气体积浓度 V、V，二级报警设定值不应小于18 氧气体积浓度，V，V 4.二氧化碳气体系统宜设二氧化碳气体探测器.其报警设定值应为5000ppm。5 2。4、自燃性、易燃性 剧毒性.毒性气体.氧气检测装置的检测报警响应时间应符合下列规定,1，自燃性、易燃性气体检测报警采用扩散式应小于20s，吸入式应小于15s,2，剧毒性。毒性气体检测报警采用扩散式应小于40s,吸入式应小于20s，3.氧气检测报警采用扩散式应小于20s。吸入式应小于15s.5,2。5，当特种气体相对密度小于或等于0，75时，特种气体探测器应同时设置在释放源上方和厂房最高点易积气处 当特种气体相对密度大于0 75时,特种气体探测器应设置在释放源下方离地面0、3m,0,5m处。5,2、6 硅烷排风管道的气体探测器的报警设定值。应小于或等于50ppm、并应与硅烷气源的自动切断阀联锁、硅烷站环境气体探测器的报警设定值应小于或等于5ppm,环境气体探测器报警时,硅烷控制系统不应自动切断硅烷输送管路 5,2.7、有机金属前躯体材料应设置相应的侦测及火灾报警装置。当无对应侦测器时.应根据其分解物选择侦测器