5 2，特种气体探测系统5、2 1，储存，输送。使用特种气体的下列区域或场所应设置特种气体探测装置，1.自燃性。易燃性.剧毒性、毒性,腐蚀性气体气瓶柜和阀门箱的排风管口处,2，生产工艺设备的自燃性、易燃性,剧毒性。毒性。腐蚀性气体阀门箱的排风管口处 工艺设备的排风管口处 3,生产工艺设备的特种气体的废气处理装置排风出管口处、4 惰性气体间可能产生窒息的区域,5 自燃性 易燃性 剧毒性。毒性 腐蚀性气体设备间，6.其他可能发生泄漏的自燃性、易燃性，剧毒性。毒性，腐蚀性气体的环境,5，2。2.易燃性 自燃性特种气体探测系统 有毒气体检测装置应设置一级报警或二级报警、5,2,3。自燃性,易燃性 剧毒性.毒性气体、氧气检测装置报警设定值应符合下列规定 1，自燃性。易燃性气体的一级报警设定值不应大于25,易燃性气体爆炸浓度下限值,二级报警设定值不应大于50、易燃性气体爆炸浓度下限值.2、剧毒性、毒性气体的一级报警设定值不应大于50，空气中有害物质的最高允许浓度值，时间加权平均容许浓度。TLV,TWA.二级报警设定值不应大于100 空气中有害物质的最高允许浓度值 时间加权平均容许浓度 TLV.TWA、3,设在惰性气体间的氧气探测器.其一级报警设定值不应小于19.5 氧气体积浓度.V V 二级报警设定值不应小于18，氧气体积浓度、V V 4、二氧化碳气体系统宜设二氧化碳气体探测器,其报警设定值应为5000ppm，5，2 4 自燃性，易燃性、剧毒性，毒性气体.氧气检测装置的检测报警响应时间应符合下列规定、1，自燃性.易燃性气体检测报警采用扩散式应小于20s、吸入式应小于15s。2、剧毒性 毒性气体检测报警采用扩散式应小于40s,吸入式应小于20s,3,氧气检测报警采用扩散式应小于20s。吸入式应小于15s.5,2.5,当特种气体相对密度小于或等于0。75时，特种气体探测器应同时设置在释放源上方和厂房最高点易积气处.当特种气体相对密度大于0,75时,特种气体探测器应设置在释放源下方离地面0，3m 0 5m处 5、2。6、硅烷排风管道的气体探测器的报警设定值.应小于或等于50ppm、并应与硅烷气源的自动切断阀联锁 硅烷站环境气体探测器的报警设定值应小于或等于5ppm.环境气体探测器报警时,硅烷控制系统不应自动切断硅烷输送管路。5。2。7。有机金属前躯体材料应设置相应的侦测及火灾报警装置,当无对应侦测器时。应根据其分解物选择侦测器，