5,2。特种气体探测系统5、2,1。储存 输送.使用特种气体的下列区域或场所应设置特种气体探测装置 1.自燃性。易燃性,剧毒性.毒性.腐蚀性气体气瓶柜和阀门箱的排风管口处、2,生产工艺设备的自燃性，易燃性、剧毒性，毒性。腐蚀性气体阀门箱的排风管口处。工艺设备的排风管口处。3、生产工艺设备的特种气体的废气处理装置排风出管口处.4 惰性气体间可能产生窒息的区域。5。自燃性、易燃性 剧毒性.毒性。腐蚀性气体设备间,6，其他可能发生泄漏的自燃性.易燃性、剧毒性，毒性、腐蚀性气体的环境,5。2。2,易燃性.自燃性特种气体探测系统,有毒气体检测装置应设置一级报警或二级报警,5.2,3，自燃性,易燃性 剧毒性.毒性气体。氧气检测装置报警设定值应符合下列规定，1,自燃性 易燃性气体的一级报警设定值不应大于25。易燃性气体爆炸浓度下限值,二级报警设定值不应大于50，易燃性气体爆炸浓度下限值.2 剧毒性 毒性气体的一级报警设定值不应大于50 空气中有害物质的最高允许浓度值,时间加权平均容许浓度、TLV，TWA。二级报警设定值不应大于100,空气中有害物质的最高允许浓度值.时间加权平均容许浓度,TLV TWA。3。设在惰性气体间的氧气探测器，其一级报警设定值不应小于19.5。氧气体积浓度,V.V,二级报警设定值不应小于18.氧气体积浓度,V V、4。二氧化碳气体系统宜设二氧化碳气体探测器、其报警设定值应为5000ppm。5。2 4,自燃性，易燃性，剧毒性、毒性气体 氧气检测装置的检测报警响应时间应符合下列规定,1。自燃性，易燃性气体检测报警采用扩散式应小于20s。吸入式应小于15s,2 剧毒性、毒性气体检测报警采用扩散式应小于40s 吸入式应小于20s，3，氧气检测报警采用扩散式应小于20s，吸入式应小于15s。5.2。5 当特种气体相对密度小于或等于0 75时 特种气体探测器应同时设置在释放源上方和厂房最高点易积气处、当特种气体相对密度大于0.75时 特种气体探测器应设置在释放源下方离地面0 3m.0 5m处,5、2。6，硅烷排风管道的气体探测器的报警设定值。应小于或等于50ppm，并应与硅烷气源的自动切断阀联锁 硅烷站环境气体探测器的报警设定值应小于或等于5ppm。环境气体探测器报警时、硅烷控制系统不应自动切断硅烷输送管路,5，2,7,有机金属前躯体材料应设置相应的侦测及火灾报警装置,当无对应侦测器时,应根据其分解物选择侦测器,