5、2.特种气体探测系统5、2。1 储存。输送，使用特种气体的下列区域或场所应设置特种气体探测装置,1，自燃性.易燃性.剧毒性。毒性.腐蚀性气体气瓶柜和阀门箱的排风管口处、2 生产工艺设备的自燃性，易燃性、剧毒性 毒性,腐蚀性气体阀门箱的排风管口处.工艺设备的排风管口处.3。生产工艺设备的特种气体的废气处理装置排风出管口处，4.惰性气体间可能产生窒息的区域，5、自燃性，易燃性,剧毒性，毒性.腐蚀性气体设备间.6 其他可能发生泄漏的自燃性，易燃性 剧毒性、毒性.腐蚀性气体的环境,5,2，2 易燃性。自燃性特种气体探测系统。有毒气体检测装置应设置一级报警或二级报警，5、2 3，自燃性，易燃性,剧毒性,毒性气体。氧气检测装置报警设定值应符合下列规定。1，自燃性，易燃性气体的一级报警设定值不应大于25，易燃性气体爆炸浓度下限值 二级报警设定值不应大于50，易燃性气体爆炸浓度下限值。2,剧毒性、毒性气体的一级报警设定值不应大于50,空气中有害物质的最高允许浓度值 时间加权平均容许浓度。TLV.TWA、二级报警设定值不应大于100,空气中有害物质的最高允许浓度值、时间加权平均容许浓度 TLV、TWA,3，设在惰性气体间的氧气探测器，其一级报警设定值不应小于19.5，氧气体积浓度。V。V。二级报警设定值不应小于18 氧气体积浓度.V.V 4，二氧化碳气体系统宜设二氧化碳气体探测器，其报警设定值应为5000ppm,5。2，4。自燃性，易燃性 剧毒性 毒性气体。氧气检测装置的检测报警响应时间应符合下列规定。1 自燃性。易燃性气体检测报警采用扩散式应小于20s。吸入式应小于15s 2 剧毒性、毒性气体检测报警采用扩散式应小于40s、吸入式应小于20s.3。氧气检测报警采用扩散式应小于20s.吸入式应小于15s、5 2.5 当特种气体相对密度小于或等于0.75时 特种气体探测器应同时设置在释放源上方和厂房最高点易积气处。当特种气体相对密度大于0,75时、特种气体探测器应设置在释放源下方离地面0.3m.0.5m处、5、2.6。硅烷排风管道的气体探测器的报警设定值，应小于或等于50ppm。并应与硅烷气源的自动切断阀联锁 硅烷站环境气体探测器的报警设定值应小于或等于5ppm。环境气体探测器报警时 硅烷控制系统不应自动切断硅烷输送管路、5、2,7，有机金属前躯体材料应设置相应的侦测及火灾报警装置，当无对应侦测器时,应根据其分解物选择侦测器。