5。2.特种气体探测系统5。2.1.储存、输送,使用特种气体的下列区域或场所应设置特种气体探测装置.1，自燃性。易燃性,剧毒性.毒性,腐蚀性气体气瓶柜和阀门箱的排风管口处 2.生产工艺设备的自燃性,易燃性.剧毒性.毒性.腐蚀性气体阀门箱的排风管口处、工艺设备的排风管口处,3，生产工艺设备的特种气体的废气处理装置排风出管口处，4，惰性气体间可能产生窒息的区域、5,自燃性,易燃性，剧毒性.毒性 腐蚀性气体设备间。6 其他可能发生泄漏的自燃性.易燃性 剧毒性，毒性,腐蚀性气体的环境、5.2，2、易燃性、自燃性特种气体探测系统。有毒气体检测装置应设置一级报警或二级报警、5，2、3 自燃性，易燃性 剧毒性.毒性气体 氧气检测装置报警设定值应符合下列规定、1，自燃性 易燃性气体的一级报警设定值不应大于25,易燃性气体爆炸浓度下限值，二级报警设定值不应大于50、易燃性气体爆炸浓度下限值。2 剧毒性、毒性气体的一级报警设定值不应大于50.空气中有害物质的最高允许浓度值.时间加权平均容许浓度.TLV,TWA，二级报警设定值不应大于100,空气中有害物质的最高允许浓度值。时间加权平均容许浓度,TLV。TWA，3.设在惰性气体间的氧气探测器，其一级报警设定值不应小于19 5。氧气体积浓度、V V 二级报警设定值不应小于18、氧气体积浓度 V、V、4.二氧化碳气体系统宜设二氧化碳气体探测器。其报警设定值应为5000ppm 5、2,4、自燃性 易燃性，剧毒性.毒性气体、氧气检测装置的检测报警响应时间应符合下列规定 1 自燃性 易燃性气体检测报警采用扩散式应小于20s 吸入式应小于15s,2。剧毒性。毒性气体检测报警采用扩散式应小于40s，吸入式应小于20s，3，氧气检测报警采用扩散式应小于20s 吸入式应小于15s。5，2,5，当特种气体相对密度小于或等于0 75时。特种气体探测器应同时设置在释放源上方和厂房最高点易积气处,当特种气体相对密度大于0。75时，特种气体探测器应设置在释放源下方离地面0 3m。0。5m处 5,2，6.硅烷排风管道的气体探测器的报警设定值。应小于或等于50ppm。并应与硅烷气源的自动切断阀联锁。硅烷站环境气体探测器的报警设定值应小于或等于5ppm。环境气体探测器报警时.硅烷控制系统不应自动切断硅烷输送管路、5、2、7.有机金属前躯体材料应设置相应的侦测及火灾报警装置 当无对应侦测器时，应根据其分解物选择侦测器、