4.特种气体工艺系统4，1、一般规定4 1.1、4 1.2、特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所、一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员.厂房,设备的严重损失.如特种气体中的硅烷为自燃性,一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应，开始燃烧,砷烷为剧毒性、微量泄漏就可能导致人员的生命危险，因此、对系统设计的安全性要求十分严格。特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量、压力 温度等的工艺参数要求、为此，在气源一端一般要配置高精度的流量计，压力变送器.电子秤，温控器等,对于大宗特种气体系统，不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响 还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳 汤普逊效应.部分特种气体减压后，温度会降低 甚至液化 这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏。因此需要考虑在减压前对气体进行预热。在管路吹扫。测试检验等每一个环节应采取措施。使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求、例如在更换钢瓶后，可能有一段管路被外界气体污染、所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹.使其符合供应质量的要求 为此，特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上、大宗特种气体应采用集装格.卧式气瓶，长管拖车作为供气装置、并应在生产工艺设备临近处设置特种气体的阀门箱，阀门盘、辅助氮气吹扫系统.尾气处理装置等,以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求，为满足电子产品工艺对特种气体工艺参数.污染控制、使用安全的要求.并按照行业标准，气瓶安全技术监察规程，TSG R0006，2014、6,7、1、4,瓶内气体不能用尽、压缩气体.溶解乙炔气气瓶的剩余压力不小于0。05MPa,液化气体 低温液体气瓶要有不小于0.5,1,0、规定充装量的剩余气体,同时。鉴于半导体工艺对气体品质要求非常高、5N以上 而且气瓶里的气体由于气体固有特性和包装物的特性.使用到后期时,剩余气体的杂质成分会慢慢析出 不纯物浓度越来越高，所以按照经验设定剩余量为10 且液相不宜用干。4，1.3,为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害。不相容的特种气体的排气体管道不得接入同一排气系统,为此、做了本条的规定、4、1。4，工程实践表明、特种气体系统的排风管道将不可避免地带入浓度不同的特种气体.为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害 本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统。