4 特种气体工艺系统4,1、一般规定4,1.1.4 1。2 特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所。一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员。厂房 设备的严重损失 如特种气体中的硅烷为自燃性 一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应.开始燃烧、砷烷为剧毒性、微量泄漏就可能导致人员的生命危险，因此,对系统设计的安全性要求十分严格 特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量 压力，温度等的工艺参数要求。为此 在气源一端一般要配置高精度的流量计，压力变送器，电子秤.温控器等.对于大宗特种气体系统，不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响 还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳。汤普逊效应 部分特种气体减压后 温度会降低,甚至液化 这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏、因此需要考虑在减压前对气体进行预热,在管路吹扫,测试检验等每一个环节应采取措施,使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求。例如在更换钢瓶后、可能有一段管路被外界气体污染，所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹。使其符合供应质量的要求，为此 特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上,大宗特种气体应采用集装格 卧式气瓶，长管拖车作为供气装置，并应在生产工艺设备临近处设置特种气体的阀门箱.阀门盘、辅助氮气吹扫系统、尾气处理装置等.以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求,为满足电子产品工艺对特种气体工艺参数。污染控制.使用安全的要求、并按照行业标准 气瓶安全技术监察规程.TSG,R0006,2014。6、7 1 4。瓶内气体不能用尽,压缩气体、溶解乙炔气气瓶的剩余压力不小于0,05MPa、液化气体.低温液体气瓶要有不小于0.5，1 0。规定充装量的剩余气体，同时。鉴于半导体工艺对气体品质要求非常高 5N以上 而且气瓶里的气体由于气体固有特性和包装物的特性，使用到后期时，剩余气体的杂质成分会慢慢析出,不纯物浓度越来越高。所以按照经验设定剩余量为10 且液相不宜用干,4.1。3、为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害、不相容的特种气体的排气体管道不得接入同一排气系统。为此,做了本条的规定。4.1 4,工程实践表明.特种气体系统的排风管道将不可避免地带入浓度不同的特种气体.为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害。本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统，