4.特种气体工艺系统4。1，一般规定4.1、1。4。1、2。特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所、一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员、厂房，设备的严重损失 如特种气体中的硅烷为自燃性。一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应，开始燃烧.砷烷为剧毒性.微量泄漏就可能导致人员的生命危险、因此 对系统设计的安全性要求十分严格.特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量,压力，温度等的工艺参数要求，为此。在气源一端一般要配置高精度的流量计，压力变送器。电子秤.温控器等.对于大宗特种气体系统 不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响。还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳。汤普逊效应。部分特种气体减压后、温度会降低 甚至液化.这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏，因此需要考虑在减压前对气体进行预热,在管路吹扫 测试检验等每一个环节应采取措施，使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求,例如在更换钢瓶后,可能有一段管路被外界气体污染,所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹.使其符合供应质量的要求。为此。特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上,大宗特种气体应采用集装格、卧式气瓶 长管拖车作为供气装置，并应在生产工艺设备临近处设置特种气体的阀门箱。阀门盘,辅助氮气吹扫系统。尾气处理装置等,以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求。为满足电子产品工艺对特种气体工艺参数,污染控制,使用安全的要求 并按照行业标准。气瓶安全技术监察规程,TSG.R0006.2014、6 7 1.4.瓶内气体不能用尽、压缩气体,溶解乙炔气气瓶的剩余压力不小于0、05MPa,液化气体，低温液体气瓶要有不小于0、5，1 0，规定充装量的剩余气体 同时 鉴于半导体工艺对气体品质要求非常高,5N以上 而且气瓶里的气体由于气体固有特性和包装物的特性，使用到后期时，剩余气体的杂质成分会慢慢析出、不纯物浓度越来越高。所以按照经验设定剩余量为10、且液相不宜用干。4,1。3，为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害、不相容的特种气体的排气体管道不得接入同一排气系统.为此，做了本条的规定 4、1、4，工程实践表明，特种气体系统的排风管道将不可避免地带入浓度不同的特种气体。为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害.本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统、