4，特种气体工艺系统4，1，一般规定4、1,1，4，1.2，特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所 一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员.厂房,设备的严重损失，如特种气体中的硅烷为自燃性.一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应.开始燃烧、砷烷为剧毒性。微量泄漏就可能导致人员的生命危险，因此.对系统设计的安全性要求十分严格。特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量,压力 温度等的工艺参数要求,为此，在气源一端一般要配置高精度的流量计，压力变送器。电子秤 温控器等，对于大宗特种气体系统。不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响、还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳 汤普逊效应 部分特种气体减压后、温度会降低 甚至液化.这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏、因此需要考虑在减压前对气体进行预热、在管路吹扫 测试检验等每一个环节应采取措施，使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求,例如在更换钢瓶后 可能有一段管路被外界气体污染。所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹，使其符合供应质量的要求 为此。特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上、大宗特种气体应采用集装格 卧式气瓶 长管拖车作为供气装置,并应在生产工艺设备临近处设置特种气体的阀门箱 阀门盘。辅助氮气吹扫系统,尾气处理装置等 以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求,为满足电子产品工艺对特种气体工艺参数.污染控制.使用安全的要求，并按照行业标准 气瓶安全技术监察规程。TSG、R0006，2014 6，7.1,4.瓶内气体不能用尽，压缩气体.溶解乙炔气气瓶的剩余压力不小于0,05MPa、液化气体 低温液体气瓶要有不小于0。5,1，0。规定充装量的剩余气体、同时，鉴于半导体工艺对气体品质要求非常高。5N以上。而且气瓶里的气体由于气体固有特性和包装物的特性、使用到后期时，剩余气体的杂质成分会慢慢析出,不纯物浓度越来越高，所以按照经验设定剩余量为10，且液相不宜用干.4、1,3、为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害。不相容的特种气体的排气体管道不得接入同一排气系统 为此，做了本条的规定、4、1.4、工程实践表明,特种气体系统的排风管道将不可避免地带入浓度不同的特种气体 为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害 本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统、