4，特种气体工艺系统4，1。一般规定4，1 1 4 1.2,特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所，一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员。厂房。设备的严重损失 如特种气体中的硅烷为自燃性,一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应，开始燃烧。砷烷为剧毒性、微量泄漏就可能导致人员的生命危险、因此。对系统设计的安全性要求十分严格、特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量.压力。温度等的工艺参数要求。为此,在气源一端一般要配置高精度的流量计 压力变送器,电子秤、温控器等 对于大宗特种气体系统.不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响,还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳，汤普逊效应，部分特种气体减压后.温度会降低,甚至液化,这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏,因此需要考虑在减压前对气体进行预热.在管路吹扫.测试检验等每一个环节应采取措施 使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求 例如在更换钢瓶后、可能有一段管路被外界气体污染，所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹.使其符合供应质量的要求、为此.特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上.大宗特种气体应采用集装格.卧式气瓶。长管拖车作为供气装置,并应在生产工艺设备临近处设置特种气体的阀门箱 阀门盘,辅助氮气吹扫系统，尾气处理装置等。以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求，为满足电子产品工艺对特种气体工艺参数,污染控制,使用安全的要求。并按照行业标准。气瓶安全技术监察规程，TSG R0006。2014 6 7,1 4 瓶内气体不能用尽、压缩气体 溶解乙炔气气瓶的剩余压力不小于0,05MPa，液化气体.低温液体气瓶要有不小于0。5 1。0,规定充装量的剩余气体,同时、鉴于半导体工艺对气体品质要求非常高.5N以上.而且气瓶里的气体由于气体固有特性和包装物的特性，使用到后期时，剩余气体的杂质成分会慢慢析出，不纯物浓度越来越高 所以按照经验设定剩余量为10、且液相不宜用干,4,1。3。为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害 不相容的特种气体的排气体管道不得接入同一排气系统 为此 做了本条的规定，4,1 4.工程实践表明、特种气体系统的排风管道将不可避免地带入浓度不同的特种气体.为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害，本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统、