4，特种气体工艺系统4。1，一般规定4,1、1 4，1。2、特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所、一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员.厂房、设备的严重损失。如特种气体中的硅烷为自燃性、一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应,开始燃烧。砷烷为剧毒性、微量泄漏就可能导致人员的生命危险,因此，对系统设计的安全性要求十分严格，特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量。压力，温度等的工艺参数要求，为此 在气源一端一般要配置高精度的流量计。压力变送器.电子秤、温控器等 对于大宗特种气体系统、不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响、还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳。汤普逊效应，部分特种气体减压后 温度会降低 甚至液化.这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏.因此需要考虑在减压前对气体进行预热、在管路吹扫，测试检验等每一个环节应采取措施,使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求.例如在更换钢瓶后，可能有一段管路被外界气体污染,所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹.使其符合供应质量的要求。为此。特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上、大宗特种气体应采用集装格,卧式气瓶，长管拖车作为供气装置、并应在生产工艺设备临近处设置特种气体的阀门箱、阀门盘、辅助氮气吹扫系统 尾气处理装置等.以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求.为满足电子产品工艺对特种气体工艺参数.污染控制 使用安全的要求 并按照行业标准，气瓶安全技术监察规程 TSG。R0006,2014.6，7 1.4。瓶内气体不能用尽、压缩气体。溶解乙炔气气瓶的剩余压力不小于0,05MPa，液化气体，低温液体气瓶要有不小于0。5,1、0,规定充装量的剩余气体。同时 鉴于半导体工艺对气体品质要求非常高,5N以上、而且气瓶里的气体由于气体固有特性和包装物的特性.使用到后期时，剩余气体的杂质成分会慢慢析出，不纯物浓度越来越高,所以按照经验设定剩余量为10 且液相不宜用干,4。1、3。为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害。不相容的特种气体的排气体管道不得接入同一排气系统.为此、做了本条的规定，4.1、4.工程实践表明 特种气体系统的排风管道将不可避免地带入浓度不同的特种气体.为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害.本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统、