4，特种气体工艺系统4、1,一般规定4、1、1 4 1。2,特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所.一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员,厂房，设备的严重损失、如特种气体中的硅烷为自燃性,一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应.开始燃烧、砷烷为剧毒性，微量泄漏就可能导致人员的生命危险,因此。对系统设计的安全性要求十分严格.特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量,压力.温度等的工艺参数要求、为此、在气源一端一般要配置高精度的流量计。压力变送器，电子秤 温控器等,对于大宗特种气体系统。不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响.还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳,汤普逊效应.部分特种气体减压后 温度会降低，甚至液化,这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏，因此需要考虑在减压前对气体进行预热,在管路吹扫,测试检验等每一个环节应采取措施、使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求、例如在更换钢瓶后 可能有一段管路被外界气体污染.所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹，使其符合供应质量的要求 为此,特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上。大宗特种气体应采用集装格.卧式气瓶.长管拖车作为供气装置,并应在生产工艺设备临近处设置特种气体的阀门箱 阀门盘、辅助氮气吹扫系统 尾气处理装置等.以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求，为满足电子产品工艺对特种气体工艺参数.污染控制 使用安全的要求 并按照行业标准。气瓶安全技术监察规程，TSG，R0006,2014、6,7.1，4，瓶内气体不能用尽，压缩气体。溶解乙炔气气瓶的剩余压力不小于0 05MPa。液化气体、低温液体气瓶要有不小于0。5，1，0.规定充装量的剩余气体，同时,鉴于半导体工艺对气体品质要求非常高 5N以上、而且气瓶里的气体由于气体固有特性和包装物的特性,使用到后期时、剩余气体的杂质成分会慢慢析出。不纯物浓度越来越高 所以按照经验设定剩余量为10。且液相不宜用干 4,1,3，为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害、不相容的特种气体的排气体管道不得接入同一排气系统。为此.做了本条的规定 4.1。4、工程实践表明。特种气体系统的排风管道将不可避免地带入浓度不同的特种气体.为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害 本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统，