4。特种气体工艺系统4。1、一般规定4.1 1。4，1。2 特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所,一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员 厂房、设备的严重损失 如特种气体中的硅烷为自燃性 一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应。开始燃烧。砷烷为剧毒性。微量泄漏就可能导致人员的生命危险、因此,对系统设计的安全性要求十分严格。特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量.压力,温度等的工艺参数要求，为此。在气源一端一般要配置高精度的流量计.压力变送器,电子秤.温控器等，对于大宗特种气体系统、不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响.还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳.汤普逊效应,部分特种气体减压后。温度会降低 甚至液化，这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏.因此需要考虑在减压前对气体进行预热 在管路吹扫。测试检验等每一个环节应采取措施、使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求，例如在更换钢瓶后.可能有一段管路被外界气体污染.所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹、使其符合供应质量的要求、为此、特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上,大宗特种气体应采用集装格。卧式气瓶.长管拖车作为供气装置 并应在生产工艺设备临近处设置特种气体的阀门箱、阀门盘.辅助氮气吹扫系统。尾气处理装置等,以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求。为满足电子产品工艺对特种气体工艺参数.污染控制,使用安全的要求 并按照行业标准.气瓶安全技术监察规程 TSG、R0006、2014 6，7，1，4 瓶内气体不能用尽.压缩气体 溶解乙炔气气瓶的剩余压力不小于0，05MPa.液化气体。低温液体气瓶要有不小于0 5 1.0、规定充装量的剩余气体 同时。鉴于半导体工艺对气体品质要求非常高.5N以上，而且气瓶里的气体由于气体固有特性和包装物的特性，使用到后期时、剩余气体的杂质成分会慢慢析出 不纯物浓度越来越高.所以按照经验设定剩余量为10 且液相不宜用干,4，1 3 为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害。不相容的特种气体的排气体管道不得接入同一排气系统，为此、做了本条的规定，4，1 4、工程实践表明.特种气体系统的排风管道将不可避免地带入浓度不同的特种气体。为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害，本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统，