4 特种气体工艺系统4，1。一般规定4.1,1 4,1,2，特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所.一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员、厂房 设备的严重损失、如特种气体中的硅烷为自燃性。一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应。开始燃烧。砷烷为剧毒性 微量泄漏就可能导致人员的生命危险.因此。对系统设计的安全性要求十分严格,特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量,压力，温度等的工艺参数要求.为此.在气源一端一般要配置高精度的流量计.压力变送器,电子秤。温控器等，对于大宗特种气体系统.不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响.还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳、汤普逊效应.部分特种气体减压后 温度会降低,甚至液化、这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏,因此需要考虑在减压前对气体进行预热，在管路吹扫.测试检验等每一个环节应采取措施、使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求。例如在更换钢瓶后。可能有一段管路被外界气体污染 所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹。使其符合供应质量的要求 为此.特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上。大宗特种气体应采用集装格.卧式气瓶、长管拖车作为供气装置，并应在生产工艺设备临近处设置特种气体的阀门箱,阀门盘 辅助氮气吹扫系统 尾气处理装置等.以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求、为满足电子产品工艺对特种气体工艺参数、污染控制，使用安全的要求 并按照行业标准、气瓶安全技术监察规程 TSG R0006、2014、6.7 1 4,瓶内气体不能用尽 压缩气体.溶解乙炔气气瓶的剩余压力不小于0.05MPa。液化气体、低温液体气瓶要有不小于0。5、1,0 规定充装量的剩余气体。同时。鉴于半导体工艺对气体品质要求非常高.5N以上,而且气瓶里的气体由于气体固有特性和包装物的特性，使用到后期时.剩余气体的杂质成分会慢慢析出，不纯物浓度越来越高,所以按照经验设定剩余量为10，且液相不宜用干.4 1 3,为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害，不相容的特种气体的排气体管道不得接入同一排气系统。为此,做了本条的规定、4、1、4.工程实践表明，特种气体系统的排风管道将不可避免地带入浓度不同的特种气体，为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害。本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统,