4。特种气体工艺系统4.1，一般规定4,1。1，4.1、2。特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所。一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员 厂房、设备的严重损失,如特种气体中的硅烷为自燃性.一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应 开始燃烧,砷烷为剧毒性、微量泄漏就可能导致人员的生命危险。因此。对系统设计的安全性要求十分严格,特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量 压力,温度等的工艺参数要求.为此 在气源一端一般要配置高精度的流量计、压力变送器 电子秤,温控器等 对于大宗特种气体系统、不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响。还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳、汤普逊效应 部分特种气体减压后.温度会降低，甚至液化.这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏、因此需要考虑在减压前对气体进行预热.在管路吹扫。测试检验等每一个环节应采取措施,使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求.例如在更换钢瓶后.可能有一段管路被外界气体污染。所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹 使其符合供应质量的要求.为此,特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上、大宗特种气体应采用集装格、卧式气瓶，长管拖车作为供气装置.并应在生产工艺设备临近处设置特种气体的阀门箱,阀门盘.辅助氮气吹扫系统,尾气处理装置等。以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求，为满足电子产品工艺对特种气体工艺参数 污染控制,使用安全的要求,并按照行业标准.气瓶安全技术监察规程，TSG，R0006。2014.6,7 1，4,瓶内气体不能用尽。压缩气体.溶解乙炔气气瓶的剩余压力不小于0 05MPa。液化气体.低温液体气瓶要有不小于0，5,1、0.规定充装量的剩余气体、同时。鉴于半导体工艺对气体品质要求非常高 5N以上、而且气瓶里的气体由于气体固有特性和包装物的特性,使用到后期时,剩余气体的杂质成分会慢慢析出.不纯物浓度越来越高，所以按照经验设定剩余量为10.且液相不宜用干、4.1.3。为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害.不相容的特种气体的排气体管道不得接入同一排气系统，为此.做了本条的规定,4 1、4。工程实践表明,特种气体系统的排风管道将不可避免地带入浓度不同的特种气体,为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害 本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统,