4、特种气体工艺系统4.1 一般规定4 1,1.4 1、2、特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所,一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员.厂房,设备的严重损失 如特种气体中的硅烷为自燃性.一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应，开始燃烧 砷烷为剧毒性.微量泄漏就可能导致人员的生命危险、因此。对系统设计的安全性要求十分严格 特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量。压力 温度等的工艺参数要求 为此。在气源一端一般要配置高精度的流量计 压力变送器 电子秤。温控器等.对于大宗特种气体系统 不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响、还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳、汤普逊效应、部分特种气体减压后。温度会降低,甚至液化。这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏 因此需要考虑在减压前对气体进行预热，在管路吹扫。测试检验等每一个环节应采取措施.使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求。例如在更换钢瓶后.可能有一段管路被外界气体污染、所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹。使其符合供应质量的要求，为此,特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上.大宗特种气体应采用集装格、卧式气瓶、长管拖车作为供气装置 并应在生产工艺设备临近处设置特种气体的阀门箱.阀门盘,辅助氮气吹扫系统.尾气处理装置等。以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求.为满足电子产品工艺对特种气体工艺参数 污染控制 使用安全的要求、并按照行业标准、气瓶安全技术监察规程,TSG,R0006，2014。6 7 1。4、瓶内气体不能用尽、压缩气体 溶解乙炔气气瓶的剩余压力不小于0，05MPa，液化气体.低温液体气瓶要有不小于0，5,1,0，规定充装量的剩余气体，同时.鉴于半导体工艺对气体品质要求非常高，5N以上,而且气瓶里的气体由于气体固有特性和包装物的特性。使用到后期时。剩余气体的杂质成分会慢慢析出，不纯物浓度越来越高、所以按照经验设定剩余量为10。且液相不宜用干、4,1.3、为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害,不相容的特种气体的排气体管道不得接入同一排气系统，为此。做了本条的规定.4。1.4、工程实践表明。特种气体系统的排风管道将不可避免地带入浓度不同的特种气体、为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害。本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统,