4、特种气体工艺系统4。1.一般规定4,1 1，4、1 2,特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所。一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员，厂房 设备的严重损失，如特种气体中的硅烷为自燃性.一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应。开始燃烧.砷烷为剧毒性，微量泄漏就可能导致人员的生命危险 因此。对系统设计的安全性要求十分严格.特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量、压力,温度等的工艺参数要求.为此，在气源一端一般要配置高精度的流量计，压力变送器、电子秤，温控器等,对于大宗特种气体系统，不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响,还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳。汤普逊效应，部分特种气体减压后,温度会降低.甚至液化 这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏。因此需要考虑在减压前对气体进行预热，在管路吹扫,测试检验等每一个环节应采取措施,使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求、例如在更换钢瓶后 可能有一段管路被外界气体污染、所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹。使其符合供应质量的要求,为此，特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上,大宗特种气体应采用集装格。卧式气瓶 长管拖车作为供气装置.并应在生产工艺设备临近处设置特种气体的阀门箱.阀门盘,辅助氮气吹扫系统。尾气处理装置等.以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求 为满足电子产品工艺对特种气体工艺参数、污染控制.使用安全的要求.并按照行业标准,气瓶安全技术监察规程.TSG,R0006 2014、6，7,1,4,瓶内气体不能用尽 压缩气体 溶解乙炔气气瓶的剩余压力不小于0、05MPa 液化气体。低温液体气瓶要有不小于0。5 1，0、规定充装量的剩余气体 同时 鉴于半导体工艺对气体品质要求非常高.5N以上,而且气瓶里的气体由于气体固有特性和包装物的特性。使用到后期时.剩余气体的杂质成分会慢慢析出.不纯物浓度越来越高，所以按照经验设定剩余量为10、且液相不宜用干 4 1、3,为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害 不相容的特种气体的排气体管道不得接入同一排气系统。为此、做了本条的规定，4，1 4 工程实践表明,特种气体系统的排风管道将不可避免地带入浓度不同的特种气体，为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害,本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统