4，特种气体工艺系统4。1,一般规定4.1.1,4 1，2 特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所，一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员、厂房、设备的严重损失.如特种气体中的硅烷为自燃性、一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应、开始燃烧 砷烷为剧毒性、微量泄漏就可能导致人员的生命危险。因此，对系统设计的安全性要求十分严格，特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量，压力.温度等的工艺参数要求.为此。在气源一端一般要配置高精度的流量计。压力变送器 电子秤。温控器等，对于大宗特种气体系统.不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响，还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳，汤普逊效应.部分特种气体减压后.温度会降低.甚至液化。这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏。因此需要考虑在减压前对气体进行预热，在管路吹扫，测试检验等每一个环节应采取措施。使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求。例如在更换钢瓶后，可能有一段管路被外界气体污染.所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹、使其符合供应质量的要求。为此、特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上,大宗特种气体应采用集装格。卧式气瓶，长管拖车作为供气装置 并应在生产工艺设备临近处设置特种气体的阀门箱。阀门盘 辅助氮气吹扫系统。尾气处理装置等.以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求。为满足电子产品工艺对特种气体工艺参数.污染控制 使用安全的要求.并按照行业标准 气瓶安全技术监察规程，TSG、R0006、2014，6 7，1,4,瓶内气体不能用尽。压缩气体 溶解乙炔气气瓶的剩余压力不小于0.05MPa.液化气体，低温液体气瓶要有不小于0，5,1。0,规定充装量的剩余气体、同时 鉴于半导体工艺对气体品质要求非常高。5N以上.而且气瓶里的气体由于气体固有特性和包装物的特性,使用到后期时.剩余气体的杂质成分会慢慢析出 不纯物浓度越来越高.所以按照经验设定剩余量为10，且液相不宜用干.4,1,3。为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害,不相容的特种气体的排气体管道不得接入同一排气系统。为此.做了本条的规定.4,1，4.工程实践表明 特种气体系统的排风管道将不可避免地带入浓度不同的特种气体、为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害。本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统。