1 总则1。0。1 为了在电子工业工厂特种气体系统及配套装置的工程设计 施工及验收中贯彻国家现行法律、法规 满足产品生产要求。确保人身和财产安全 做到安全适用.技术先进、保护环境，节约能源.经济合理、制定本标准、1、0、2。本标准适用于新建、改建 扩建的电子工业的特种气体系统工程中的设计、施工和验收，1.0。3、本标准不适用于特种气体的制取。提纯.灌装等生产及配套装置的工程设计、施工和验收，1。0，4。特种气体系统工程的设计，施工及验收除应符合本标准的规定外。尚应符合国家现行有关标准的规定,