1，总则1、0、1，为了在电子工业工厂特种气体系统及配套装置的工程设计,施工及验收中贯彻国家现行法律，法规 满足产品生产要求.确保人身和财产安全,做到安全适用、技术先进。保护环境.节约能源,经济合理、制定本标准，1 0,2，本标准适用于新建，改建、扩建的电子工业的特种气体系统工程中的设计，施工和验收、1，0，3、本标准不适用于特种气体的制取、提纯，灌装等生产及配套装置的工程设计，施工和验收,1 0、4 特种气体系统工程的设计 施工及验收除应符合本标准的规定外、尚应符合国家现行有关标准的规定、