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- 特种气体系统工程技术标准 GB 50646-2020
- 1 总则
- 2 术语
- 3 特种气体站房
- 4 特种气体工艺系统
- 5 生命安全系统
- 6 特种气体管道输送系统
- 7 建筑结构
- 8 电气与防雷
- 9 公用工程
- 10 特种气体系统工程施工
- 11 特种气体系统工程验收
- 附录A 特种气体管道氦检漏方法
- 附录B 电子工业用特种气体的主要物化性质(单一气体)
- 本标准用词说明
- 引用标准名录
- 条文说明
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1,总则1,0,1.为了在电子工业工厂特种气体系统及配套装置的工程设计，施工及验收中贯彻国家现行法律.法规、满足产品生产要求,确保人身和财产安全。做到安全适用 技术先进,保护环境,节约能源、经济合理 制定本标准.1。0，2，本标准适用于新建 改建 扩建的电子工业的特种气体系统工程中的设计。施工和验收。1。0，3.本标准不适用于特种气体的制取 提纯。灌装等生产及配套装置的工程设计,施工和验收.1 0 4、特种气体系统工程的设计、施工及验收除应符合本标准的规定外。尚应符合国家现行有关标准的规定.