1，总则1.0、1。为了在电子工业工厂特种气体系统及配套装置的工程设计。施工及验收中贯彻国家现行法律.法规,满足产品生产要求，确保人身和财产安全.做到安全适用，技术先进。保护环境，节约能源。经济合理 制定本标准,1，0.2,本标准适用于新建,改建.扩建的电子工业的特种气体系统工程中的设计 施工和验收 1 0,3，本标准不适用于特种气体的制取。提纯，灌装等生产及配套装置的工程设计。施工和验收 1,0、4。特种气体系统工程的设计.施工及验收除应符合本标准的规定外,尚应符合国家现行有关标准的规定,