1 总则1,0、1。为了在电子工业工厂特种气体系统及配套装置的工程设计,施工及验收中贯彻国家现行法律.法规,满足产品生产要求,确保人身和财产安全、做到安全适用 技术先进、保护环境 节约能源、经济合理,制定本标准。1。0,2,本标准适用于新建.改建 扩建的电子工业的特种气体系统工程中的设计 施工和验收 1,0、3。本标准不适用于特种气体的制取,提纯 灌装等生产及配套装置的工程设计,施工和验收。1 0,4、特种气体系统工程的设计,施工及验收除应符合本标准的规定外。尚应符合国家现行有关标准的规定
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