1,总则1，0，1，为了在电子工业工厂特种气体系统及配套装置的工程设计.施工及验收中贯彻国家现行法律,法规。满足产品生产要求,确保人身和财产安全 做到安全适用，技术先进。保护环境 节约能源.经济合理.制定本标准 1、0。2，本标准适用于新建.改建 扩建的电子工业的特种气体系统工程中的设计，施工和验收,1，0.3，本标准不适用于特种气体的制取 提纯。灌装等生产及配套装置的工程设计，施工和验收、1,0.4 特种气体系统工程的设计，施工及验收除应符合本标准的规定外.尚应符合国家现行有关标准的规定