4。特种气体工艺系统4，1 一般规定4.1.1 4、1、2。特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所 一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员 厂房.设备的严重损失。如特种气体中的硅烷为自燃性,一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应.开始燃烧 砷烷为剧毒性。微量泄漏就可能导致人员的生命危险 因此.对系统设计的安全性要求十分严格、特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量。压力,温度等的工艺参数要求、为此 在气源一端一般要配置高精度的流量计。压力变送器，电子秤 温控器等.对于大宗特种气体系统、不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响.还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳。汤普逊效应。部分特种气体减压后，温度会降低、甚至液化.这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏。因此需要考虑在减压前对气体进行预热 在管路吹扫。测试检验等每一个环节应采取措施.使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求，例如在更换钢瓶后。可能有一段管路被外界气体污染，所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹,使其符合供应质量的要求 为此、特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上。大宗特种气体应采用集装格。卧式气瓶 长管拖车作为供气装置，并应在生产工艺设备临近处设置特种气体的阀门箱.阀门盘，辅助氮气吹扫系统.尾气处理装置等.以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求、为满足电子产品工艺对特种气体工艺参数.污染控制。使用安全的要求、并按照行业标准,气瓶安全技术监察规程，TSG。R0006,2014,6,7、1.4、瓶内气体不能用尽。压缩气体.溶解乙炔气气瓶的剩余压力不小于0.05MPa。液化气体 低温液体气瓶要有不小于0 5，1,0，规定充装量的剩余气体 同时 鉴于半导体工艺对气体品质要求非常高、5N以上,而且气瓶里的气体由于气体固有特性和包装物的特性,使用到后期时,剩余气体的杂质成分会慢慢析出,不纯物浓度越来越高,所以按照经验设定剩余量为10。且液相不宜用干,4、1.3、为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害,不相容的特种气体的排气体管道不得接入同一排气系统，为此.做了本条的规定、4 1。4。工程实践表明。特种气体系统的排风管道将不可避免地带入浓度不同的特种气体。为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害。本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统，