4，特种气体工艺系统4 1.一般规定4、1 1.4。1,2。特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所.一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员、厂房,设备的严重损失，如特种气体中的硅烷为自燃性。一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应。开始燃烧.砷烷为剧毒性、微量泄漏就可能导致人员的生命危险,因此、对系统设计的安全性要求十分严格，特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量,压力 温度等的工艺参数要求、为此.在气源一端一般要配置高精度的流量计 压力变送器 电子秤,温控器等,对于大宗特种气体系统、不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响、还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳，汤普逊效应。部分特种气体减压后 温度会降低.甚至液化、这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏,因此需要考虑在减压前对气体进行预热，在管路吹扫，测试检验等每一个环节应采取措施、使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求，例如在更换钢瓶后.可能有一段管路被外界气体污染 所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹。使其符合供应质量的要求。为此。特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上 大宗特种气体应采用集装格，卧式气瓶.长管拖车作为供气装置、并应在生产工艺设备临近处设置特种气体的阀门箱、阀门盘 辅助氮气吹扫系统，尾气处理装置等、以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求.为满足电子产品工艺对特种气体工艺参数 污染控制.使用安全的要求。并按照行业标准 气瓶安全技术监察规程 TSG,R0006，2014。6，7，1。4.瓶内气体不能用尽,压缩气体、溶解乙炔气气瓶的剩余压力不小于0.05MPa。液化气体,低温液体气瓶要有不小于0。5，1，0、规定充装量的剩余气体,同时、鉴于半导体工艺对气体品质要求非常高，5N以上，而且气瓶里的气体由于气体固有特性和包装物的特性 使用到后期时，剩余气体的杂质成分会慢慢析出，不纯物浓度越来越高。所以按照经验设定剩余量为10 且液相不宜用干、4,1，3。为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害.不相容的特种气体的排气体管道不得接入同一排气系统。为此、做了本条的规定，4，1、4 工程实践表明，特种气体系统的排风管道将不可避免地带入浓度不同的特种气体.为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害、本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统,