4 特种气体工艺系统4,1,一般规定4，1.1、4，1,2，特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所，一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员，厂房,设备的严重损失 如特种气体中的硅烷为自燃性,一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应,开始燃烧、砷烷为剧毒性 微量泄漏就可能导致人员的生命危险,因此。对系统设计的安全性要求十分严格 特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量。压力、温度等的工艺参数要求，为此，在气源一端一般要配置高精度的流量计.压力变送器,电子秤,温控器等 对于大宗特种气体系统，不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响,还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳、汤普逊效应，部分特种气体减压后 温度会降低，甚至液化.这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏 因此需要考虑在减压前对气体进行预热、在管路吹扫,测试检验等每一个环节应采取措施.使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求，例如在更换钢瓶后，可能有一段管路被外界气体污染 所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹、使其符合供应质量的要求、为此，特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上、大宗特种气体应采用集装格，卧式气瓶。长管拖车作为供气装置，并应在生产工艺设备临近处设置特种气体的阀门箱，阀门盘。辅助氮气吹扫系统,尾气处理装置等。以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求 为满足电子产品工艺对特种气体工艺参数 污染控制,使用安全的要求.并按照行业标准、气瓶安全技术监察规程 TSG，R0006.2014，6.7。1、4 瓶内气体不能用尽。压缩气体，溶解乙炔气气瓶的剩余压力不小于0.05MPa。液化气体 低温液体气瓶要有不小于0 5.1 0.规定充装量的剩余气体，同时 鉴于半导体工艺对气体品质要求非常高.5N以上,而且气瓶里的气体由于气体固有特性和包装物的特性、使用到后期时、剩余气体的杂质成分会慢慢析出 不纯物浓度越来越高，所以按照经验设定剩余量为10,且液相不宜用干 4.1。3,为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害.不相容的特种气体的排气体管道不得接入同一排气系统，为此。做了本条的规定,4,1。4、工程实践表明 特种气体系统的排风管道将不可避免地带入浓度不同的特种气体。为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害，本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统,