4、特种气体工艺系统4 1、一般规定4,1，1.4、1.2。特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所。一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员、厂房,设备的严重损失 如特种气体中的硅烷为自燃性,一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应,开始燃烧，砷烷为剧毒性.微量泄漏就可能导致人员的生命危险。因此，对系统设计的安全性要求十分严格.特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量.压力。温度等的工艺参数要求.为此.在气源一端一般要配置高精度的流量计,压力变送器.电子秤。温控器等.对于大宗特种气体系统 不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响,还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳。汤普逊效应，部分特种气体减压后、温度会降低.甚至液化.这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏 因此需要考虑在减压前对气体进行预热，在管路吹扫 测试检验等每一个环节应采取措施，使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求，例如在更换钢瓶后 可能有一段管路被外界气体污染。所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹、使其符合供应质量的要求 为此 特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上。大宗特种气体应采用集装格,卧式气瓶，长管拖车作为供气装置，并应在生产工艺设备临近处设置特种气体的阀门箱 阀门盘、辅助氮气吹扫系统.尾气处理装置等,以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求 为满足电子产品工艺对特种气体工艺参数 污染控制，使用安全的要求，并按照行业标准。气瓶安全技术监察规程 TSG R0006，2014。6、7。1 4。瓶内气体不能用尽，压缩气体。溶解乙炔气气瓶的剩余压力不小于0.05MPa,液化气体 低温液体气瓶要有不小于0、5、1,0.规定充装量的剩余气体，同时.鉴于半导体工艺对气体品质要求非常高、5N以上.而且气瓶里的气体由于气体固有特性和包装物的特性、使用到后期时，剩余气体的杂质成分会慢慢析出、不纯物浓度越来越高,所以按照经验设定剩余量为10 且液相不宜用干。4.1，3 为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害.不相容的特种气体的排气体管道不得接入同一排气系统。为此.做了本条的规定,4 1.4,工程实践表明、特种气体系统的排风管道将不可避免地带入浓度不同的特种气体，为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害，本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统