4，特种气体工艺系统4。1 一般规定4 1.1 4、1,2，特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所.一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员、厂房 设备的严重损失.如特种气体中的硅烷为自燃性,一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应,开始燃烧，砷烷为剧毒性,微量泄漏就可能导致人员的生命危险,因此,对系统设计的安全性要求十分严格，特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量,压力，温度等的工艺参数要求.为此.在气源一端一般要配置高精度的流量计。压力变送器、电子秤,温控器等。对于大宗特种气体系统、不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响 还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳,汤普逊效应。部分特种气体减压后,温度会降低 甚至液化，这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏 因此需要考虑在减压前对气体进行预热,在管路吹扫 测试检验等每一个环节应采取措施、使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求，例如在更换钢瓶后、可能有一段管路被外界气体污染、所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹。使其符合供应质量的要求。为此,特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上。大宗特种气体应采用集装格、卧式气瓶 长管拖车作为供气装置.并应在生产工艺设备临近处设置特种气体的阀门箱,阀门盘 辅助氮气吹扫系统,尾气处理装置等、以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求,为满足电子产品工艺对特种气体工艺参数。污染控制,使用安全的要求.并按照行业标准，气瓶安全技术监察规程.TSG R0006 2014，6。7.1，4，瓶内气体不能用尽 压缩气体.溶解乙炔气气瓶的剩余压力不小于0.05MPa,液化气体。低温液体气瓶要有不小于0,5。1.0.规定充装量的剩余气体，同时。鉴于半导体工艺对气体品质要求非常高，5N以上，而且气瓶里的气体由于气体固有特性和包装物的特性 使用到后期时 剩余气体的杂质成分会慢慢析出,不纯物浓度越来越高、所以按照经验设定剩余量为10、且液相不宜用干 4 1.3 为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害、不相容的特种气体的排气体管道不得接入同一排气系统，为此。做了本条的规定、4。1 4.工程实践表明。特种气体系统的排风管道将不可避免地带入浓度不同的特种气体，为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害.本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统、