4。特种气体工艺系统4 1 一般规定4,1,1 4，1.2，特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所、一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员,厂房、设备的严重损失，如特种气体中的硅烷为自燃性，一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应、开始燃烧 砷烷为剧毒性。微量泄漏就可能导致人员的生命危险、因此,对系统设计的安全性要求十分严格 特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量、压力、温度等的工艺参数要求。为此。在气源一端一般要配置高精度的流量计.压力变送器、电子秤,温控器等 对于大宗特种气体系统,不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响，还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳，汤普逊效应、部分特种气体减压后.温度会降低、甚至液化，这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏.因此需要考虑在减压前对气体进行预热，在管路吹扫。测试检验等每一个环节应采取措施，使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求。例如在更换钢瓶后 可能有一段管路被外界气体污染，所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹。使其符合供应质量的要求。为此.特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上，大宗特种气体应采用集装格、卧式气瓶、长管拖车作为供气装置，并应在生产工艺设备临近处设置特种气体的阀门箱。阀门盘。辅助氮气吹扫系统、尾气处理装置等,以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求 为满足电子产品工艺对特种气体工艺参数.污染控制，使用安全的要求、并按照行业标准、气瓶安全技术监察规程，TSG。R0006、2014，6，7 1。4，瓶内气体不能用尽。压缩气体、溶解乙炔气气瓶的剩余压力不小于0,05MPa,液化气体.低温液体气瓶要有不小于0,5，1、0,规定充装量的剩余气体。同时.鉴于半导体工艺对气体品质要求非常高 5N以上.而且气瓶里的气体由于气体固有特性和包装物的特性。使用到后期时 剩余气体的杂质成分会慢慢析出，不纯物浓度越来越高.所以按照经验设定剩余量为10 且液相不宜用干。4.1.3.为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害,不相容的特种气体的排气体管道不得接入同一排气系统 为此、做了本条的规定、4、1,4.工程实践表明.特种气体系统的排风管道将不可避免地带入浓度不同的特种气体,为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害。本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统,