4，特种气体工艺系统4、1 一般规定4、1、1,4.1.2、特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所,一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员,厂房、设备的严重损失.如特种气体中的硅烷为自燃性,一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应、开始燃烧。砷烷为剧毒性，微量泄漏就可能导致人员的生命危险.因此。对系统设计的安全性要求十分严格 特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量，压力，温度等的工艺参数要求.为此、在气源一端一般要配置高精度的流量计。压力变送器,电子秤 温控器等,对于大宗特种气体系统,不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响。还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳,汤普逊效应,部分特种气体减压后。温度会降低 甚至液化。这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏，因此需要考虑在减压前对气体进行预热、在管路吹扫，测试检验等每一个环节应采取措施.使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求。例如在更换钢瓶后。可能有一段管路被外界气体污染 所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹.使其符合供应质量的要求。为此.特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上，大宗特种气体应采用集装格.卧式气瓶,长管拖车作为供气装置，并应在生产工艺设备临近处设置特种气体的阀门箱、阀门盘 辅助氮气吹扫系统,尾气处理装置等，以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求、为满足电子产品工艺对特种气体工艺参数、污染控制,使用安全的要求,并按照行业标准。气瓶安全技术监察规程.TSG、R0006,2014，6，7.1,4,瓶内气体不能用尽，压缩气体、溶解乙炔气气瓶的剩余压力不小于0、05MPa。液化气体.低温液体气瓶要有不小于0 5,1,0.规定充装量的剩余气体，同时、鉴于半导体工艺对气体品质要求非常高。5N以上。而且气瓶里的气体由于气体固有特性和包装物的特性、使用到后期时，剩余气体的杂质成分会慢慢析出 不纯物浓度越来越高.所以按照经验设定剩余量为10，且液相不宜用干，4 1.3，为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害。不相容的特种气体的排气体管道不得接入同一排气系统。为此，做了本条的规定，4 1、4,工程实践表明、特种气体系统的排风管道将不可避免地带入浓度不同的特种气体.为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害,本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统。