4。特种气体工艺系统4 1 一般规定4,1.1 4,1,2 特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所。一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员。厂房，设备的严重损失，如特种气体中的硅烷为自燃性,一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应、开始燃烧。砷烷为剧毒性，微量泄漏就可能导致人员的生命危险、因此.对系统设计的安全性要求十分严格、特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量.压力,温度等的工艺参数要求.为此,在气源一端一般要配置高精度的流量计，压力变送器。电子秤、温控器等.对于大宗特种气体系统.不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响、还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳.汤普逊效应 部分特种气体减压后.温度会降低.甚至液化、这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏、因此需要考虑在减压前对气体进行预热,在管路吹扫.测试检验等每一个环节应采取措施,使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求，例如在更换钢瓶后、可能有一段管路被外界气体污染、所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹 使其符合供应质量的要求。为此,特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上.大宗特种气体应采用集装格,卧式气瓶、长管拖车作为供气装置，并应在生产工艺设备临近处设置特种气体的阀门箱.阀门盘，辅助氮气吹扫系统、尾气处理装置等.以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求 为满足电子产品工艺对特种气体工艺参数 污染控制。使用安全的要求。并按照行业标准 气瓶安全技术监察规程.TSG，R0006,2014.6.7,1.4，瓶内气体不能用尽 压缩气体、溶解乙炔气气瓶的剩余压力不小于0。05MPa 液化气体。低温液体气瓶要有不小于0、5.1。0,规定充装量的剩余气体、同时,鉴于半导体工艺对气体品质要求非常高，5N以上,而且气瓶里的气体由于气体固有特性和包装物的特性、使用到后期时。剩余气体的杂质成分会慢慢析出,不纯物浓度越来越高,所以按照经验设定剩余量为10 且液相不宜用干，4、1。3、为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害.不相容的特种气体的排气体管道不得接入同一排气系统.为此.做了本条的规定,4 1.4。工程实践表明。特种气体系统的排风管道将不可避免地带入浓度不同的特种气体。为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害、本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统.