4.特种气体工艺系统4 1.一般规定4、1,1,4.1、2，特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所 一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员。厂房.设备的严重损失 如特种气体中的硅烷为自燃性.一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应.开始燃烧、砷烷为剧毒性 微量泄漏就可能导致人员的生命危险 因此,对系统设计的安全性要求十分严格 特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量、压力.温度等的工艺参数要求.为此。在气源一端一般要配置高精度的流量计、压力变送器 电子秤,温控器等,对于大宗特种气体系统、不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响.还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳 汤普逊效应,部分特种气体减压后，温度会降低 甚至液化.这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏.因此需要考虑在减压前对气体进行预热 在管路吹扫.测试检验等每一个环节应采取措施、使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求 例如在更换钢瓶后.可能有一段管路被外界气体污染 所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹。使其符合供应质量的要求，为此。特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上 大宗特种气体应采用集装格、卧式气瓶,长管拖车作为供气装置。并应在生产工艺设备临近处设置特种气体的阀门箱 阀门盘。辅助氮气吹扫系统,尾气处理装置等、以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求、为满足电子产品工艺对特种气体工艺参数.污染控制,使用安全的要求。并按照行业标准。气瓶安全技术监察规程 TSG,R0006 2014.6 7、1 4。瓶内气体不能用尽。压缩气体 溶解乙炔气气瓶的剩余压力不小于0 05MPa 液化气体 低温液体气瓶要有不小于0，5。1,0，规定充装量的剩余气体 同时。鉴于半导体工艺对气体品质要求非常高。5N以上,而且气瓶里的气体由于气体固有特性和包装物的特性 使用到后期时,剩余气体的杂质成分会慢慢析出,不纯物浓度越来越高、所以按照经验设定剩余量为10 且液相不宜用干，4 1。3.为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害，不相容的特种气体的排气体管道不得接入同一排气系统.为此。做了本条的规定、4.1.4 工程实践表明 特种气体系统的排风管道将不可避免地带入浓度不同的特种气体 为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害，本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统.