10、2.主要设备.材料进场验收10,2。1,气瓶柜，气瓶架,阀门箱 阀门盘进场验收应符合下列规定、1 外包装上应具有防止倾倒，轻放。防雨标识，防震标识,并应完整无损。2，表面应平整光洁,色泽一致、无毛刺、无划痕,无锈蚀，不起鼓 柜体顶部应设抽风口,柜门下方应设可调节空气过滤网进风口 3。面板上应有气体的名称，化学式.浓度、化学性质和危险标志的标识，并应有管线。阀体及附件相互连接的系统图、同时,应配有与其对应的操作手册,4,内部引出的管路和阀件接口应用专用管帽和堵头封堵，5.在运输过程中盘面内应保有不低于0,1MPa,表压。压力的氮气 6、阀门，仪表与面板之间应有专用阀门支撑件.支撑件材质应采用不锈钢,不得将阀门。仪表等直接用螺栓固定在面板上，10。2，2.尾气处理装置进场验收应符合下列规定，1、尾气处理装置进场应对外观、外形尺寸,构成 接口。铭牌、气密试验.阀门动作,信号传输等性能进行检查和核对,2.尾气处理装置的主要组成件、附件应符合设计与合同的要求，随机资料和专用工具应齐全.3，酸碱中和装置的洗涤塔。风机。泵,控制盘，酸.碱.储罐以及连接管路等应进行外观检查，随机资料应齐全 4.尾气处理装置 风机。泵的出厂合格证,性能测试报告。铭牌 标识应齐全、5 系统流程图。控制原理图,设备使用说明书应齐全,10,2.3,管道,管件和阀门进场验收应符合下列规定。1、在非洁净室全数目测检查管道外包装、不得有破损,变形,2,检查合格的管道.管件及阀门搬入洁净室前,应在缓冲间，前室 去除外包装薄膜,搬入洁净室后 应按种类,规格分别存放在洁净室的货架上。不得直接放在地面上、洁净室的洁净度宜优于或等于7级 0 5μm 3、进场的管道,管件和阀门应有产品规格,型号.合格证。材质证明，使用说明书.检验报告，10,2，4、管道。管件和阀门应在洁净室内进行内包装开封检查，并应符合下列规定 1,管道,管件 阀门应有独立的内包装、端口均应装有防尘帽、2.管道，管件、阀门检查后应恢复内包装及防尘帽,3、管道外观检查应按全数的5 以上抽查,规格尺寸。壁厚,圆度.端面子整度等应符合产品的技术要求.4，材质检查宜采用便携式金属光谱分析仪检查,每批每种规格应随机抽查5。以上,且不得少于l件 其化学成分应符合材质质量保证书及相关要求 5 管道、管件内表面粗糙度应采用样品比较法在管道两端检查，每批每种规格应随机抽查5，以上.且不得少于1件、有不合格时应加倍抽查 6,管道内壁平均表面粗糙度Ra及最大表面糙度Rmax应满足设计文件的要求。