10。2，主要设备，材料进场验收10,2,1，气瓶柜.气瓶架.阀门箱,阀门盘进场验收应符合下列规定，1，外包装上应具有防止倾倒、轻放 防雨标识.防震标识 并应完整无损,2、表面应平整光洁 色泽一致.无毛刺。无划痕.无锈蚀,不起鼓、柜体顶部应设抽风口。柜门下方应设可调节空气过滤网进风口、3,面板上应有气体的名称.化学式。浓度。化学性质和危险标志的标识,并应有管线,阀体及附件相互连接的系统图、同时.应配有与其对应的操作手册,4。内部引出的管路和阀件接口应用专用管帽和堵头封堵。5 在运输过程中盘面内应保有不低于0.1MPa 表压、压力的氮气。6 阀门、仪表与面板之间应有专用阀门支撑件。支撑件材质应采用不锈钢，不得将阀门 仪表等直接用螺栓固定在面板上 10。2，2 尾气处理装置进场验收应符合下列规定.1.尾气处理装置进场应对外观 外形尺寸。构成 接口,铭牌.气密试验。阀门动作，信号传输等性能进行检查和核对 2、尾气处理装置的主要组成件。附件应符合设计与合同的要求，随机资料和专用工具应齐全 3，酸碱中和装置的洗涤塔、风机。泵、控制盘，酸、碱。储罐以及连接管路等应进行外观检查。随机资料应齐全 4、尾气处理装置,风机.泵的出厂合格证。性能测试报告.铭牌、标识应齐全、5。系统流程图。控制原理图 设备使用说明书应齐全。10，2.3 管道，管件和阀门进场验收应符合下列规定。1,在非洁净室全数目测检查管道外包装、不得有破损、变形。2,检查合格的管道,管件及阀门搬入洁净室前 应在缓冲间，前室、去除外包装薄膜 搬入洁净室后、应按种类.规格分别存放在洁净室的货架上,不得直接放在地面上 洁净室的洁净度宜优于或等于7级.0、5μm，3、进场的管道,管件和阀门应有产品规格,型号。合格证、材质证明,使用说明书，检验报告.10、2.4，管道。管件和阀门应在洁净室内进行内包装开封检查，并应符合下列规定 1 管道、管件，阀门应有独立的内包装。端口均应装有防尘帽,2.管道,管件、阀门检查后应恢复内包装及防尘帽、3。管道外观检查应按全数的5,以上抽查.规格尺寸、壁厚 圆度,端面子整度等应符合产品的技术要求,4。材质检查宜采用便携式金属光谱分析仪检查。每批每种规格应随机抽查5.以上,且不得少于l件 其化学成分应符合材质质量保证书及相关要求、5。管道,管件内表面粗糙度应采用样品比较法在管道两端检查。每批每种规格应随机抽查5.以上。且不得少于1件.有不合格时应加倍抽查，6.管道内壁平均表面粗糙度Ra及最大表面糙度Rmax应满足设计文件的要求，