10,2,主要设备。材料进场验收10.2。1 气瓶柜,气瓶架,阀门箱,阀门盘进场验收应符合下列规定。1.外包装上应具有防止倾倒 轻放,防雨标识 防震标识.并应完整无损 2.表面应平整光洁.色泽一致。无毛刺,无划痕,无锈蚀,不起鼓。柜体顶部应设抽风口.柜门下方应设可调节空气过滤网进风口、3、面板上应有气体的名称、化学式、浓度。化学性质和危险标志的标识,并应有管线。阀体及附件相互连接的系统图 同时、应配有与其对应的操作手册,4,内部引出的管路和阀件接口应用专用管帽和堵头封堵。5,在运输过程中盘面内应保有不低于0、1MPa.表压,压力的氮气,6.阀门.仪表与面板之间应有专用阀门支撑件、支撑件材质应采用不锈钢。不得将阀门,仪表等直接用螺栓固定在面板上。10,2、2.尾气处理装置进场验收应符合下列规定.1 尾气处理装置进场应对外观。外形尺寸,构成,接口,铭牌、气密试验、阀门动作、信号传输等性能进行检查和核对,2。尾气处理装置的主要组成件。附件应符合设计与合同的要求、随机资料和专用工具应齐全,3 酸碱中和装置的洗涤塔、风机,泵。控制盘、酸。碱 储罐以及连接管路等应进行外观检查、随机资料应齐全 4。尾气处理装置,风机 泵的出厂合格证,性能测试报告.铭牌。标识应齐全。5.系统流程图、控制原理图 设备使用说明书应齐全、10.2,3.管道、管件和阀门进场验收应符合下列规定 1、在非洁净室全数目测检查管道外包装,不得有破损。变形 2,检查合格的管道 管件及阀门搬入洁净室前、应在缓冲间 前室。去除外包装薄膜、搬入洁净室后,应按种类。规格分别存放在洁净室的货架上 不得直接放在地面上。洁净室的洁净度宜优于或等于7级.0、5μm、3,进场的管道 管件和阀门应有产品规格.型号。合格证 材质证明。使用说明书,检验报告.10 2,4,管道 管件和阀门应在洁净室内进行内包装开封检查 并应符合下列规定.1。管道。管件。阀门应有独立的内包装,端口均应装有防尘帽 2.管道 管件、阀门检查后应恢复内包装及防尘帽,3、管道外观检查应按全数的5 以上抽查。规格尺寸、壁厚、圆度 端面子整度等应符合产品的技术要求.4,材质检查宜采用便携式金属光谱分析仪检查,每批每种规格应随机抽查5,以上、且不得少于l件,其化学成分应符合材质质量保证书及相关要求.5,管道、管件内表面粗糙度应采用样品比较法在管道两端检查 每批每种规格应随机抽查5,以上 且不得少于1件,有不合格时应加倍抽查。6,管道内壁平均表面粗糙度Ra及最大表面糙度Rmax应满足设计文件的要求,