10 2。主要设备.材料进场验收10 2，1。气瓶柜,气瓶架，阀门箱、阀门盘进场验收应符合下列规定。1，外包装上应具有防止倾倒。轻放,防雨标识、防震标识.并应完整无损、2，表面应平整光洁.色泽一致,无毛刺.无划痕。无锈蚀。不起鼓，柜体顶部应设抽风口。柜门下方应设可调节空气过滤网进风口、3、面板上应有气体的名称，化学式，浓度 化学性质和危险标志的标识.并应有管线、阀体及附件相互连接的系统图,同时.应配有与其对应的操作手册,4。内部引出的管路和阀件接口应用专用管帽和堵头封堵,5 在运输过程中盘面内应保有不低于0.1MPa。表压，压力的氮气、6。阀门.仪表与面板之间应有专用阀门支撑件,支撑件材质应采用不锈钢，不得将阀门、仪表等直接用螺栓固定在面板上 10 2,2，尾气处理装置进场验收应符合下列规定。1。尾气处理装置进场应对外观，外形尺寸.构成、接口.铭牌 气密试验。阀门动作。信号传输等性能进行检查和核对、2、尾气处理装置的主要组成件、附件应符合设计与合同的要求.随机资料和专用工具应齐全。3，酸碱中和装置的洗涤塔。风机、泵 控制盘，酸.碱、储罐以及连接管路等应进行外观检查 随机资料应齐全。4、尾气处理装置 风机,泵的出厂合格证.性能测试报告。铭牌 标识应齐全,5、系统流程图.控制原理图。设备使用说明书应齐全，10，2.3、管道 管件和阀门进场验收应符合下列规定，1.在非洁净室全数目测检查管道外包装,不得有破损.变形。2.检查合格的管道.管件及阀门搬入洁净室前 应在缓冲间、前室，去除外包装薄膜.搬入洁净室后,应按种类 规格分别存放在洁净室的货架上 不得直接放在地面上，洁净室的洁净度宜优于或等于7级.0.5μm。3,进场的管道、管件和阀门应有产品规格、型号、合格证,材质证明.使用说明书。检验报告,10 2,4，管道。管件和阀门应在洁净室内进行内包装开封检查 并应符合下列规定 1.管道、管件.阀门应有独立的内包装、端口均应装有防尘帽，2。管道.管件、阀门检查后应恢复内包装及防尘帽,3 管道外观检查应按全数的5。以上抽查。规格尺寸、壁厚 圆度,端面子整度等应符合产品的技术要求、4。材质检查宜采用便携式金属光谱分析仪检查、每批每种规格应随机抽查5、以上,且不得少于l件.其化学成分应符合材质质量保证书及相关要求 5。管道、管件内表面粗糙度应采用样品比较法在管道两端检查.每批每种规格应随机抽查5，以上。且不得少于1件。有不合格时应加倍抽查.6，管道内壁平均表面粗糙度Ra及最大表面糙度Rmax应满足设计文件的要求.