10，2 主要设备，材料进场验收10 2。1。气瓶柜，气瓶架、阀门箱.阀门盘进场验收应符合下列规定、1、外包装上应具有防止倾倒 轻放,防雨标识，防震标识,并应完整无损，2。表面应平整光洁、色泽一致。无毛刺.无划痕,无锈蚀.不起鼓，柜体顶部应设抽风口,柜门下方应设可调节空气过滤网进风口,3,面板上应有气体的名称、化学式，浓度.化学性质和危险标志的标识。并应有管线 阀体及附件相互连接的系统图.同时。应配有与其对应的操作手册。4，内部引出的管路和阀件接口应用专用管帽和堵头封堵，5。在运输过程中盘面内应保有不低于0。1MPa 表压 压力的氮气,6,阀门。仪表与面板之间应有专用阀门支撑件、支撑件材质应采用不锈钢,不得将阀门。仪表等直接用螺栓固定在面板上,10 2，2，尾气处理装置进场验收应符合下列规定 1，尾气处理装置进场应对外观.外形尺寸 构成,接口 铭牌.气密试验。阀门动作、信号传输等性能进行检查和核对。2，尾气处理装置的主要组成件 附件应符合设计与合同的要求,随机资料和专用工具应齐全，3、酸碱中和装置的洗涤塔,风机.泵 控制盘 酸、碱。储罐以及连接管路等应进行外观检查 随机资料应齐全、4。尾气处理装置.风机,泵的出厂合格证。性能测试报告.铭牌,标识应齐全 5 系统流程图 控制原理图,设备使用说明书应齐全,10。2.3 管道，管件和阀门进场验收应符合下列规定。1.在非洁净室全数目测检查管道外包装 不得有破损 变形，2、检查合格的管道.管件及阀门搬入洁净室前,应在缓冲间 前室 去除外包装薄膜,搬入洁净室后,应按种类.规格分别存放在洁净室的货架上。不得直接放在地面上 洁净室的洁净度宜优于或等于7级、0。5μm 3.进场的管道，管件和阀门应有产品规格。型号 合格证.材质证明 使用说明书。检验报告 10，2.4、管道,管件和阀门应在洁净室内进行内包装开封检查,并应符合下列规定,1。管道。管件、阀门应有独立的内包装，端口均应装有防尘帽、2。管道.管件 阀门检查后应恢复内包装及防尘帽、3，管道外观检查应按全数的5。以上抽查，规格尺寸.壁厚 圆度。端面子整度等应符合产品的技术要求、4 材质检查宜采用便携式金属光谱分析仪检查，每批每种规格应随机抽查5 以上，且不得少于l件,其化学成分应符合材质质量保证书及相关要求.5,管道。管件内表面粗糙度应采用样品比较法在管道两端检查 每批每种规格应随机抽查5 以上.且不得少于1件，有不合格时应加倍抽查，6 管道内壁平均表面粗糙度Ra及最大表面糙度Rmax应满足设计文件的要求，