10。2，主要设备,材料进场验收10 2。1 气瓶柜 气瓶架。阀门箱、阀门盘进场验收应符合下列规定，1.外包装上应具有防止倾倒 轻放 防雨标识、防震标识 并应完整无损 2,表面应平整光洁 色泽一致。无毛刺、无划痕.无锈蚀。不起鼓、柜体顶部应设抽风口，柜门下方应设可调节空气过滤网进风口。3、面板上应有气体的名称 化学式。浓度、化学性质和危险标志的标识 并应有管线 阀体及附件相互连接的系统图、同时 应配有与其对应的操作手册 4,内部引出的管路和阀件接口应用专用管帽和堵头封堵，5。在运输过程中盘面内应保有不低于0 1MPa、表压,压力的氮气 6.阀门.仪表与面板之间应有专用阀门支撑件。支撑件材质应采用不锈钢、不得将阀门,仪表等直接用螺栓固定在面板上.10。2,2，尾气处理装置进场验收应符合下列规定。1.尾气处理装置进场应对外观 外形尺寸.构成.接口,铭牌.气密试验、阀门动作.信号传输等性能进行检查和核对，2,尾气处理装置的主要组成件、附件应符合设计与合同的要求，随机资料和专用工具应齐全、3.酸碱中和装置的洗涤塔 风机 泵 控制盘、酸，碱.储罐以及连接管路等应进行外观检查。随机资料应齐全,4,尾气处理装置、风机,泵的出厂合格证.性能测试报告，铭牌.标识应齐全。5,系统流程图、控制原理图,设备使用说明书应齐全，10、2，3、管道。管件和阀门进场验收应符合下列规定。1,在非洁净室全数目测检查管道外包装、不得有破损.变形。2。检查合格的管道 管件及阀门搬入洁净室前。应在缓冲间。前室、去除外包装薄膜、搬入洁净室后 应按种类,规格分别存放在洁净室的货架上.不得直接放在地面上.洁净室的洁净度宜优于或等于7级.0、5μm,3，进场的管道、管件和阀门应有产品规格 型号.合格证，材质证明。使用说明书。检验报告。10。2，4、管道 管件和阀门应在洁净室内进行内包装开封检查,并应符合下列规定,1,管道.管件.阀门应有独立的内包装.端口均应装有防尘帽、2,管道 管件、阀门检查后应恢复内包装及防尘帽。3.管道外观检查应按全数的5、以上抽查、规格尺寸.壁厚.圆度。端面子整度等应符合产品的技术要求.4,材质检查宜采用便携式金属光谱分析仪检查，每批每种规格应随机抽查5、以上、且不得少于l件 其化学成分应符合材质质量保证书及相关要求,5，管道、管件内表面粗糙度应采用样品比较法在管道两端检查.每批每种规格应随机抽查5.以上，且不得少于1件,有不合格时应加倍抽查,6.管道内壁平均表面粗糙度Ra及最大表面糙度Rmax应满足设计文件的要求，