10,2。主要设备,材料进场验收10，2。1。气瓶柜,气瓶架 阀门箱、阀门盘进场验收应符合下列规定,1 外包装上应具有防止倾倒。轻放。防雨标识.防震标识，并应完整无损 2、表面应平整光洁。色泽一致，无毛刺。无划痕,无锈蚀，不起鼓,柜体顶部应设抽风口、柜门下方应设可调节空气过滤网进风口，3，面板上应有气体的名称 化学式.浓度，化学性质和危险标志的标识，并应有管线、阀体及附件相互连接的系统图，同时，应配有与其对应的操作手册，4，内部引出的管路和阀件接口应用专用管帽和堵头封堵，5。在运输过程中盘面内应保有不低于0，1MPa、表压.压力的氮气 6.阀门，仪表与面板之间应有专用阀门支撑件.支撑件材质应采用不锈钢,不得将阀门.仪表等直接用螺栓固定在面板上,10、2.2、尾气处理装置进场验收应符合下列规定.1。尾气处理装置进场应对外观.外形尺寸,构成，接口.铭牌。气密试验，阀门动作,信号传输等性能进行检查和核对 2。尾气处理装置的主要组成件.附件应符合设计与合同的要求，随机资料和专用工具应齐全，3。酸碱中和装置的洗涤塔.风机、泵、控制盘。酸,碱、储罐以及连接管路等应进行外观检查。随机资料应齐全.4 尾气处理装置，风机，泵的出厂合格证,性能测试报告，铭牌.标识应齐全、5。系统流程图。控制原理图,设备使用说明书应齐全、10、2.3 管道，管件和阀门进场验收应符合下列规定,1、在非洁净室全数目测检查管道外包装,不得有破损、变形，2 检查合格的管道。管件及阀门搬入洁净室前，应在缓冲间。前室,去除外包装薄膜，搬入洁净室后.应按种类 规格分别存放在洁净室的货架上，不得直接放在地面上，洁净室的洁净度宜优于或等于7级，0,5μm。3.进场的管道.管件和阀门应有产品规格.型号,合格证.材质证明、使用说明书、检验报告。10、2,4，管道、管件和阀门应在洁净室内进行内包装开封检查.并应符合下列规定、1、管道。管件、阀门应有独立的内包装，端口均应装有防尘帽 2 管道 管件.阀门检查后应恢复内包装及防尘帽、3 管道外观检查应按全数的5。以上抽查 规格尺寸,壁厚,圆度 端面子整度等应符合产品的技术要求 4、材质检查宜采用便携式金属光谱分析仪检查、每批每种规格应随机抽查5、以上.且不得少于l件 其化学成分应符合材质质量保证书及相关要求。5 管道,管件内表面粗糙度应采用样品比较法在管道两端检查,每批每种规格应随机抽查5，以上 且不得少于1件,有不合格时应加倍抽查,6,管道内壁平均表面粗糙度Ra及最大表面糙度Rmax应满足设计文件的要求