10。2 主要设备、材料进场验收10、2,1,气瓶柜.气瓶架.阀门箱。阀门盘进场验收应符合下列规定。1,外包装上应具有防止倾倒。轻放,防雨标识、防震标识。并应完整无损.2 表面应平整光洁 色泽一致,无毛刺、无划痕,无锈蚀,不起鼓,柜体顶部应设抽风口,柜门下方应设可调节空气过滤网进风口.3。面板上应有气体的名称 化学式。浓度,化学性质和危险标志的标识,并应有管线、阀体及附件相互连接的系统图 同时,应配有与其对应的操作手册、4.内部引出的管路和阀件接口应用专用管帽和堵头封堵 5 在运输过程中盘面内应保有不低于0、1MPa,表压。压力的氮气,6。阀门,仪表与面板之间应有专用阀门支撑件,支撑件材质应采用不锈钢.不得将阀门、仪表等直接用螺栓固定在面板上.10,2.2 尾气处理装置进场验收应符合下列规定、1、尾气处理装置进场应对外观。外形尺寸。构成 接口,铭牌.气密试验、阀门动作。信号传输等性能进行检查和核对 2,尾气处理装置的主要组成件。附件应符合设计与合同的要求,随机资料和专用工具应齐全。3.酸碱中和装置的洗涤塔,风机。泵。控制盘。酸。碱、储罐以及连接管路等应进行外观检查。随机资料应齐全,4,尾气处理装置,风机 泵的出厂合格证,性能测试报告,铭牌.标识应齐全、5.系统流程图,控制原理图.设备使用说明书应齐全。10。2 3.管道、管件和阀门进场验收应符合下列规定、1,在非洁净室全数目测检查管道外包装,不得有破损。变形.2.检查合格的管道,管件及阀门搬入洁净室前。应在缓冲间、前室 去除外包装薄膜 搬入洁净室后。应按种类.规格分别存放在洁净室的货架上。不得直接放在地面上。洁净室的洁净度宜优于或等于7级,0,5μm.3。进场的管道,管件和阀门应有产品规格 型号,合格证,材质证明,使用说明书。检验报告,10。2.4.管道。管件和阀门应在洁净室内进行内包装开封检查 并应符合下列规定.1 管道,管件,阀门应有独立的内包装 端口均应装有防尘帽 2.管道.管件 阀门检查后应恢复内包装及防尘帽 3。管道外观检查应按全数的5。以上抽查。规格尺寸。壁厚。圆度,端面子整度等应符合产品的技术要求,4。材质检查宜采用便携式金属光谱分析仪检查。每批每种规格应随机抽查5。以上、且不得少于l件、其化学成分应符合材质质量保证书及相关要求,5 管道、管件内表面粗糙度应采用样品比较法在管道两端检查,每批每种规格应随机抽查5 以上,且不得少于1件,有不合格时应加倍抽查,6.管道内壁平均表面粗糙度Ra及最大表面糙度Rmax应满足设计文件的要求.
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