10。2,主要设备、材料进场验收10 2,1.气瓶柜。气瓶架,阀门箱。阀门盘进场验收应符合下列规定，1，外包装上应具有防止倾倒.轻放。防雨标识 防震标识，并应完整无损。2。表面应平整光洁 色泽一致.无毛刺、无划痕,无锈蚀,不起鼓,柜体顶部应设抽风口 柜门下方应设可调节空气过滤网进风口,3，面板上应有气体的名称 化学式 浓度 化学性质和危险标志的标识,并应有管线.阀体及附件相互连接的系统图,同时 应配有与其对应的操作手册,4 内部引出的管路和阀件接口应用专用管帽和堵头封堵,5.在运输过程中盘面内应保有不低于0、1MPa.表压、压力的氮气,6.阀门 仪表与面板之间应有专用阀门支撑件。支撑件材质应采用不锈钢 不得将阀门.仪表等直接用螺栓固定在面板上,10，2，2。尾气处理装置进场验收应符合下列规定、1 尾气处理装置进场应对外观，外形尺寸。构成 接口。铭牌,气密试验 阀门动作 信号传输等性能进行检查和核对.2.尾气处理装置的主要组成件，附件应符合设计与合同的要求,随机资料和专用工具应齐全。3 酸碱中和装置的洗涤塔，风机.泵。控制盘 酸。碱、储罐以及连接管路等应进行外观检查，随机资料应齐全，4 尾气处理装置、风机.泵的出厂合格证,性能测试报告、铭牌,标识应齐全.5。系统流程图.控制原理图，设备使用说明书应齐全.10。2、3.管道、管件和阀门进场验收应符合下列规定,1、在非洁净室全数目测检查管道外包装,不得有破损、变形 2 检查合格的管道,管件及阀门搬入洁净室前.应在缓冲间，前室、去除外包装薄膜，搬入洁净室后.应按种类 规格分别存放在洁净室的货架上 不得直接放在地面上，洁净室的洁净度宜优于或等于7级,0.5μm。3，进场的管道.管件和阀门应有产品规格，型号，合格证。材质证明，使用说明书、检验报告。10，2 4 管道.管件和阀门应在洁净室内进行内包装开封检查 并应符合下列规定,1、管道 管件,阀门应有独立的内包装。端口均应装有防尘帽。2,管道，管件，阀门检查后应恢复内包装及防尘帽、3,管道外观检查应按全数的5,以上抽查。规格尺寸。壁厚，圆度.端面子整度等应符合产品的技术要求，4。材质检查宜采用便携式金属光谱分析仪检查，每批每种规格应随机抽查5,以上 且不得少于l件。其化学成分应符合材质质量保证书及相关要求,5。管道.管件内表面粗糙度应采用样品比较法在管道两端检查，每批每种规格应随机抽查5.以上 且不得少于1件.有不合格时应加倍抽查.6,管道内壁平均表面粗糙度Ra及最大表面糙度Rmax应满足设计文件的要求、