10,2，主要设备。材料进场验收10.2、1，气瓶柜、气瓶架，阀门箱、阀门盘进场验收应符合下列规定.1,外包装上应具有防止倾倒 轻放,防雨标识、防震标识、并应完整无损。2、表面应平整光洁。色泽一致、无毛刺，无划痕。无锈蚀 不起鼓,柜体顶部应设抽风口，柜门下方应设可调节空气过滤网进风口、3、面板上应有气体的名称,化学式、浓度,化学性质和危险标志的标识。并应有管线、阀体及附件相互连接的系统图.同时。应配有与其对应的操作手册 4、内部引出的管路和阀件接口应用专用管帽和堵头封堵 5,在运输过程中盘面内应保有不低于0.1MPa、表压 压力的氮气。6.阀门。仪表与面板之间应有专用阀门支撑件,支撑件材质应采用不锈钢，不得将阀门 仪表等直接用螺栓固定在面板上、10、2 2，尾气处理装置进场验收应符合下列规定、1。尾气处理装置进场应对外观,外形尺寸 构成，接口,铭牌，气密试验 阀门动作、信号传输等性能进行检查和核对 2。尾气处理装置的主要组成件 附件应符合设计与合同的要求，随机资料和专用工具应齐全，3 酸碱中和装置的洗涤塔，风机、泵。控制盘,酸 碱。储罐以及连接管路等应进行外观检查,随机资料应齐全，4 尾气处理装置。风机、泵的出厂合格证、性能测试报告 铭牌 标识应齐全 5,系统流程图。控制原理图 设备使用说明书应齐全.10.2，3.管道。管件和阀门进场验收应符合下列规定.1.在非洁净室全数目测检查管道外包装.不得有破损,变形、2、检查合格的管道.管件及阀门搬入洁净室前。应在缓冲间。前室 去除外包装薄膜。搬入洁净室后,应按种类,规格分别存放在洁净室的货架上.不得直接放在地面上.洁净室的洁净度宜优于或等于7级 0,5μm.3 进场的管道,管件和阀门应有产品规格、型号、合格证，材质证明.使用说明书 检验报告、10 2,4 管道、管件和阀门应在洁净室内进行内包装开封检查、并应符合下列规定，1、管道.管件、阀门应有独立的内包装.端口均应装有防尘帽，2,管道。管件、阀门检查后应恢复内包装及防尘帽，3 管道外观检查应按全数的5.以上抽查、规格尺寸.壁厚、圆度 端面子整度等应符合产品的技术要求，4.材质检查宜采用便携式金属光谱分析仪检查 每批每种规格应随机抽查5.以上 且不得少于l件.其化学成分应符合材质质量保证书及相关要求.5，管道 管件内表面粗糙度应采用样品比较法在管道两端检查,每批每种规格应随机抽查5,以上。且不得少于1件,有不合格时应加倍抽查、6，管道内壁平均表面粗糙度Ra及最大表面糙度Rmax应满足设计文件的要求。