10 2.主要设备 材料进场验收10,2,1,气瓶柜,气瓶架,阀门箱.阀门盘进场验收应符合下列规定，1,外包装上应具有防止倾倒。轻放,防雨标识,防震标识.并应完整无损.2.表面应平整光洁。色泽一致.无毛刺.无划痕.无锈蚀.不起鼓，柜体顶部应设抽风口。柜门下方应设可调节空气过滤网进风口.3，面板上应有气体的名称,化学式。浓度、化学性质和危险标志的标识.并应有管线 阀体及附件相互连接的系统图,同时.应配有与其对应的操作手册.4,内部引出的管路和阀件接口应用专用管帽和堵头封堵.5 在运输过程中盘面内应保有不低于0。1MPa,表压，压力的氮气,6、阀门、仪表与面板之间应有专用阀门支撑件 支撑件材质应采用不锈钢 不得将阀门.仪表等直接用螺栓固定在面板上。10，2 2。尾气处理装置进场验收应符合下列规定,1 尾气处理装置进场应对外观。外形尺寸,构成，接口。铭牌,气密试验.阀门动作，信号传输等性能进行检查和核对.2,尾气处理装置的主要组成件 附件应符合设计与合同的要求，随机资料和专用工具应齐全,3，酸碱中和装置的洗涤塔,风机、泵，控制盘,酸 碱.储罐以及连接管路等应进行外观检查。随机资料应齐全。4。尾气处理装置.风机、泵的出厂合格证 性能测试报告.铭牌，标识应齐全 5,系统流程图.控制原理图，设备使用说明书应齐全，10.2,3、管道，管件和阀门进场验收应符合下列规定。1、在非洁净室全数目测检查管道外包装.不得有破损，变形、2，检查合格的管道。管件及阀门搬入洁净室前,应在缓冲间。前室、去除外包装薄膜，搬入洁净室后、应按种类 规格分别存放在洁净室的货架上、不得直接放在地面上，洁净室的洁净度宜优于或等于7级 0、5μm、3、进场的管道,管件和阀门应有产品规格，型号.合格证，材质证明，使用说明书,检验报告，10，2.4.管道,管件和阀门应在洁净室内进行内包装开封检查.并应符合下列规定，1。管道。管件。阀门应有独立的内包装。端口均应装有防尘帽，2,管道.管件、阀门检查后应恢复内包装及防尘帽 3，管道外观检查应按全数的5，以上抽查,规格尺寸,壁厚、圆度,端面子整度等应符合产品的技术要求，4。材质检查宜采用便携式金属光谱分析仪检查，每批每种规格应随机抽查5、以上、且不得少于l件。其化学成分应符合材质质量保证书及相关要求、5,管道.管件内表面粗糙度应采用样品比较法在管道两端检查。每批每种规格应随机抽查5,以上，且不得少于1件，有不合格时应加倍抽查,6、管道内壁平均表面粗糙度Ra及最大表面糙度Rmax应满足设计文件的要求.