10、2 主要设备 材料进场验收10，2 1 气瓶柜 气瓶架、阀门箱 阀门盘进场验收应符合下列规定。1.外包装上应具有防止倾倒、轻放,防雨标识 防震标识.并应完整无损，2，表面应平整光洁.色泽一致 无毛刺。无划痕、无锈蚀,不起鼓.柜体顶部应设抽风口,柜门下方应设可调节空气过滤网进风口、3,面板上应有气体的名称.化学式，浓度 化学性质和危险标志的标识，并应有管线 阀体及附件相互连接的系统图.同时 应配有与其对应的操作手册。4.内部引出的管路和阀件接口应用专用管帽和堵头封堵、5。在运输过程中盘面内应保有不低于0。1MPa、表压、压力的氮气.6，阀门、仪表与面板之间应有专用阀门支撑件。支撑件材质应采用不锈钢.不得将阀门.仪表等直接用螺栓固定在面板上、10，2.2.尾气处理装置进场验收应符合下列规定、1.尾气处理装置进场应对外观.外形尺寸,构成、接口、铭牌，气密试验、阀门动作、信号传输等性能进行检查和核对 2。尾气处理装置的主要组成件.附件应符合设计与合同的要求 随机资料和专用工具应齐全，3，酸碱中和装置的洗涤塔,风机 泵、控制盘。酸、碱,储罐以及连接管路等应进行外观检查。随机资料应齐全、4,尾气处理装置、风机，泵的出厂合格证。性能测试报告。铭牌.标识应齐全,5，系统流程图,控制原理图、设备使用说明书应齐全，10.2。3,管道、管件和阀门进场验收应符合下列规定.1 在非洁净室全数目测检查管道外包装，不得有破损.变形，2、检查合格的管道.管件及阀门搬入洁净室前,应在缓冲间.前室，去除外包装薄膜 搬入洁净室后，应按种类、规格分别存放在洁净室的货架上 不得直接放在地面上。洁净室的洁净度宜优于或等于7级、0，5μm.3 进场的管道，管件和阀门应有产品规格。型号。合格证，材质证明,使用说明书。检验报告、10，2。4、管道.管件和阀门应在洁净室内进行内包装开封检查、并应符合下列规定,1 管道,管件。阀门应有独立的内包装。端口均应装有防尘帽。2.管道 管件 阀门检查后应恢复内包装及防尘帽.3、管道外观检查应按全数的5、以上抽查 规格尺寸。壁厚,圆度，端面子整度等应符合产品的技术要求.4 材质检查宜采用便携式金属光谱分析仪检查 每批每种规格应随机抽查5 以上,且不得少于l件，其化学成分应符合材质质量保证书及相关要求.5，管道。管件内表面粗糙度应采用样品比较法在管道两端检查.每批每种规格应随机抽查5。以上。且不得少于1件、有不合格时应加倍抽查，6。管道内壁平均表面粗糙度Ra及最大表面糙度Rmax应满足设计文件的要求。