10 2 主要设备,材料进场验收10 2 1、气瓶柜、气瓶架、阀门箱,阀门盘进场验收应符合下列规定，1,外包装上应具有防止倾倒,轻放 防雨标识，防震标识,并应完整无损，2.表面应平整光洁、色泽一致 无毛刺，无划痕.无锈蚀，不起鼓。柜体顶部应设抽风口。柜门下方应设可调节空气过滤网进风口,3,面板上应有气体的名称 化学式，浓度,化学性质和危险标志的标识。并应有管线 阀体及附件相互连接的系统图。同时.应配有与其对应的操作手册 4.内部引出的管路和阀件接口应用专用管帽和堵头封堵，5,在运输过程中盘面内应保有不低于0,1MPa。表压，压力的氮气、6.阀门，仪表与面板之间应有专用阀门支撑件，支撑件材质应采用不锈钢，不得将阀门，仪表等直接用螺栓固定在面板上、10，2 2.尾气处理装置进场验收应符合下列规定。1。尾气处理装置进场应对外观,外形尺寸,构成 接口.铭牌.气密试验 阀门动作 信号传输等性能进行检查和核对、2、尾气处理装置的主要组成件。附件应符合设计与合同的要求.随机资料和专用工具应齐全 3.酸碱中和装置的洗涤塔、风机，泵 控制盘、酸.碱，储罐以及连接管路等应进行外观检查，随机资料应齐全，4.尾气处理装置.风机 泵的出厂合格证 性能测试报告、铭牌 标识应齐全.5。系统流程图，控制原理图，设备使用说明书应齐全.10 2.3,管道.管件和阀门进场验收应符合下列规定 1 在非洁净室全数目测检查管道外包装、不得有破损,变形。2.检查合格的管道.管件及阀门搬入洁净室前，应在缓冲间,前室.去除外包装薄膜 搬入洁净室后.应按种类,规格分别存放在洁净室的货架上、不得直接放在地面上.洁净室的洁净度宜优于或等于7级。0,5μm、3 进场的管道.管件和阀门应有产品规格，型号 合格证.材质证明 使用说明书,检验报告。10，2，4、管道,管件和阀门应在洁净室内进行内包装开封检查 并应符合下列规定,1.管道、管件 阀门应有独立的内包装 端口均应装有防尘帽、2。管道。管件 阀门检查后应恢复内包装及防尘帽,3。管道外观检查应按全数的5 以上抽查，规格尺寸 壁厚。圆度.端面子整度等应符合产品的技术要求，4、材质检查宜采用便携式金属光谱分析仪检查。每批每种规格应随机抽查5，以上,且不得少于l件、其化学成分应符合材质质量保证书及相关要求.5。管道,管件内表面粗糙度应采用样品比较法在管道两端检查。每批每种规格应随机抽查5 以上,且不得少于1件 有不合格时应加倍抽查,6,管道内壁平均表面粗糙度Ra及最大表面糙度Rmax应满足设计文件的要求.