9 3、采暖通风与空气调节9 3。1、特种气体站房用于储存和分配自燃性 易燃性,毒性,腐蚀性、氧化性,窒息性气体、存在管道或阀门泄漏和积聚的潜在危险性，因此.特种气体站房应设置连续的机械通风,防止自燃性，易燃性.毒性.腐蚀性、氧化性.窒息性气体在特种气体间内积聚。通常。自燃性,易燃性。毒性、腐蚀性气体储存在气瓶柜内。气瓶柜应设置局部通风 房间通风量应不小于气瓶柜的通风要求.为了保证房间通风良好,本条规定了特种气体站房的最小通风换气率,美国国家消防协会标准,半导体生产设施防护标准 NFPA、318 2018第5 5、3条也做了规定,该条内容摘录如下 5 5.3、有害化学品储存和配送房间应设置机械通风,机械通风换气率不应低于0。31m3，min m2,1ft3，min ft2.地面面积，0.31m3。min.m2，相当于18m3 h,m2 地面面积，特种气体气瓶安装在气柜内。特种气体气柜设有机械排风,自动喷水灭火喷头 气体侦测装置。控制以及吹扫装置 一旦有极少量有害气体泄漏 气体探测装置将自动切断气瓶瓶头阀门并停止气体供应、自动吹扫管道,机械排风系统将释放在气柜内的极少量有害气体及时排出 不会造成有害气体在特种气体站房扩散.特种气体站房为恒温恒湿空调环境、且采用直流式空调系统。为降低能耗。在保证安全的前提下、应尽量减少新风量.基于上述原因,故本条规定了特种气体站房通风换气率不应小于18m3、h。m2,地面面积、9。3、2、本条为强制性条文 必须严格执行,特种气体气瓶柜和阀门箱内安装了特种气体分配阀门和管道.阀门和管道接口较多.存在泄漏的可能性、因此。特种气体的气瓶柜和阀门箱应设置机械排风进行强制通风。防止自燃性 易燃性 毒性 腐蚀性.氧化性、窒息性气体在气瓶柜和阀门箱内积聚而引起事故 9.3.3,特种气体的排风系统划分原则包括以下三点。1.防止不同种类和性质的特种气体混合后引起燃烧或爆炸事故 2,避免形成毒性更大的混合物或化合物 对人体造成危害或设备和管道腐蚀。3。防止在风管中积聚粉尘。从而增加风管阻力或造成风管堵塞 影响通风系统的正常运行.9.3、4、大宗特种气体站房内特种气体容器容积较大 且特种气体容器直接暴露在特气站房环境内,发生气体泄漏时。气体直接泄漏至特种气体站房环境内，操作人员，救援人员暴露风险高 因此,大宗气体站房应设置事故通风，事故通风量应根据事故时泄放的特种气体量和危害程度通过计算确定，根据现行国家职业卫生标准 工业企业设计卫生标准、中的规定.事故通风换气次数的下限定为12次.h 特种气体站房事故通风系统与环境气体探测器联锁，当发生气体泄漏事故时、自动开启事故通风系统 以降低环境中气体浓度、报警在特种气体站房外设置紧急按钮以便救援人员启动事故排风系统.9。3,5 9,3，6、硅烷属于易燃、易爆气体、一旦发生泄漏、将会发生自燃，有可能导致火灾或爆炸、为了确保硅烷的泄漏数量不会导致自燃,本条规定是为了将硅烷供应使用区域的硅烷浓度控制在0、4.以下。美国国家标准学会标准 硅烷和硅烷混合物储存和操作、CGA，G，13.2015第13章第13.2，3条也做了规定、该条的内容摘录如下、13、2,3，排风罩，抽风罩，气柜应设置排风系统 以阻止渗漏硅烷积聚，并限制硅烷平均浓度为0 4 即体积比250 1.试验表明0.4,平均浓度可能引起气柜内局部体积爆燃,PVD、估计0、4.限值所产生的超压可以通过气柜门闩失灵来泄爆。标准硅烷体积流量应根据管道系统泄放至密闭空间的最大流量来决定。流量应根据管线限流孔板或气瓶阀尺寸和硅烷源最大压力来计算 在硅烷气瓶或管道系统非焊接附件和连接处的最小通风量应不小于最大硅烷体积流量的250倍、表13、2,3为标准硅烷流量和最小通风量,表13，2 3、标准硅烷流量和最小通风量。注，1,硅烷气源温度为75 F、24，2,限流孔板下流侧压力为opsi。3，限流孔板孔口出流系数为0。8，4，立方英尺 分 scfm、转换为升。分换算系数28、32,5.Psi转换为kPa换算系数6、895.9.3、7 排风管道为负压，采用柔性风管或软管,风管的有效通风面积减小、将会影响到通风效果 同时 柔性风管或软管对火灾的耐受性较差 很容易造成排风管烧坏和变形，因此 易燃性，毒性。腐蚀性气体柜和阀门箱的排风与主排风管道连接的支管采用刚性风管。气瓶柜，阀门箱排风管道是保证气瓶柜通风良好的必要前提、如果在气瓶柜,阀门箱的排风管道上设置防火阀、一方面。防火阀可能误动作 导致气瓶柜、阀门箱排风故障，将存在有害气体在气瓶柜内积聚，存在安全风险,另一方面 在火灾情形下，气瓶柜 阀门的排风仍有必要保持联系工作 才能保证操作人员和消防人员的生命安全.因此。本条规定了气瓶柜 阀门箱的排风管路上不应设置防火阀、大宗有毒性气体容器出口阀门部位管道连接为机械密封。存在泄漏风险,故本条规定了应设置抽风罩、提高通风效率、阻止泄漏气体进入室内环境。9.3.8.房间排风口的位置应根据特种气体与空气的相对密度来确定。防止有害气体积聚，为了将不同位置积聚的特种气体排出，本条规定了根据特种气体相对密度的大小设置房间排风口的位置、这样可以有效地将大于，小于空气密度的特种气体排至室外 9、3、9。避免特种气体站房排风造成对周围环境和人身安全造成危害，因此、应根据排风中特种气体的性质和浓度等因素确定设置处理装置进行处理，如洗涤塔。吸附塔等 9 3。10。为保证特种气体站房排风系统的连续可靠运行 宜设置备用排风机，备用排风机也可以兼做事故排风机、特种气体间通风系统电源设置应急电源、目的是保证排风系统的稳定运行可靠,9。3、11，特种气体站房的火灾危险性属甲类。乙类。如采用循环空调系统。易形成易燃性气体积聚，而引起爆炸事故、另外.毒性，腐蚀性的特种气体的积聚也危及人员的生命安全,因此、不应采用循环空调系统、特种气体间设置空调系统目的是为特种气体柜及其控制系统提供一个适宜的工作环境，9 3.12、避免相邻特种气体间的火灾蔓延 或因一个特种气体间火灾而导致多个特种气体间的通风关闭.造成更大的危害。因此、空调风管不应穿越特种气体间之间的分隔墙。9，3.13，为保证特种气体间的环境状态稳定。因此,建议空调系统设置备用空调机组，当受到条件限制时.采用适当措施保证在空调机组维护或故障时。特种气体房间能取得足够的补风,也是保证安全的有效措施之一 9、3,14,特种气体间空调系统电源设置应急电源、目的是保证特种气体间的通风平衡和稳定，9。3、15.本条为强制性条文。必须严格执行.特种气体设备及站房排风管道及空调风管采用不燃材料制作、保温采用应采用不燃或难燃材料，是为了防止火灾蔓延和扩散。规定腐蚀性特种气体的排风管道采用耐腐蚀材料.是为了防止腐蚀气体破坏排风管道,产生气体泄漏事故，9，3.16,为防止因空气摩擦产生静电积聚，而引起燃烧和爆炸事故,因此.特种气体设备排风管。站房通风管道及空调风管应设置防静电接地装置,消除风管静电。9 3、17 本条为强制性条文,必须严格执行,为了保证特气站房排风系统连续运行,防止特种气体积聚。从而降低了火灾危险性和对救援人员的危害。本条规定特气站房排风系统不得与火灾报警系统联动控制,因为火灾时 一旦关闭特种气体站房的排风系统.特种气体系统的自燃，易燃,毒性。腐蚀性，窒息性气体可能会泄漏进入房间。造成人员伤害,伤害可能比火灾危险发生更早 所以,本条规定火灾发生时.严禁关闭排风系统,