2,术语，本章所列术语。定义是根据本标准的范围和特种气体的特性以及储存 输送的实际需要进行制定。在制定相关术语时还依据美国消防协会标准.压缩气体及低温流体规范,Compressed.Gases。and.Cryogenic，Fluids，Code、NFPA，55,2016版，建筑建设和安全规范 Building,Construction,and。Safety。Code,NFPA、5000。2018版 美国国家标准学会 ANSI.标准,硅烷和硅烷混合物的储存和输送.Storage。and Handling，of,Silane.and.Silane。Mixture ANSI，CGA。13 2015版中的有关规定.如本节第2.0，16条，生产区,fabrication。area,是按照NFPA.5000.2018中的3,3、35.5.fabrication。area。制定的,该条的内容摘录如下.3,3,35。5 半导体生产设备及相关研发区域 在该区域内 有些工艺生产需要使用危险性生产材料,HPM.如本节第2,0，22条,ISO标准集装瓶组、是按照ANSI CGA.13.2015中的3、2,4、1、2.ISO模块。制定的,该条的内容摘录如下.3、2,4.1，2，采用集气管将气体钢瓶，长管钢瓶或气瓶集装格相互连接并安装在专用金属框架上的组合集装模块 ISO模块的框架及其角件都经过特殊设计、其尺寸适合于集装箱船，高速公路集装箱半挂车和铁路运集装箱的多模运输，本章的特种气体不包括电子工业中常用的五种大宗气体.即氮气、氢气。氧气,氩气和氦气,