5.3，其他安全设施5，3，1.为确保生产厂房和特种气体系统的运行安全，本条规定了自燃性.易燃性，剧毒性.毒性、腐蚀性气体的储存 分配及使用场所安全设施的设置、1 本款规定了设置数字式视频监控摄像机。门禁，摄像机。门禁应考虑与使用环境相适应、如有防爆.防腐蚀要求的场所、需使用相应防护的产品 2.本款是从实际情况看.安全管理显示屏一般安装在洁净室内。洁净室入口服务台处，气瓶柜间的入口等位置 其显示内容为阻止人员接近危险区域以及采取切断阀门等措施 以TCP，IP网络联机方式连接至洁净室入口服务台处之服务器.在洁净室入口服务台处及值班室的工作站.可键入日常信息。在安全显示屏上显示。为此做了本款规定、3 因为自燃性。易燃性，毒性气体一旦发生泄漏等安全事故。将对电子类工厂的生产与人员生命安全带来巨大隐患,为此.本款规定在这些气体的储存，分配。使用场所内及相关建筑主入口,内通道等设置明显的灯光闪烁报警装置。提醒人员注意 采取防范措施,4,为了在紧急情况下切断特种气体的供应 避免事故的蔓延与扩大。本款规定在自燃性，易燃性.毒性气体储存、分配 使用场所入口处应设紧急手动按钮,由于应急处理中心室有专人值班 规定了主要紧急手动按钮设在应急处理中心室。5,3,2,为防止地震破坏电子类工厂的特种气体系统而造成重大次生灾害 对生产与作业人员带来危害，本条规定了在地震多发地区.特种气体的主要生产车间宜设地震探测装置 5 3 3。国外电子工厂地震探测装置在运用较普遍，一般设置三组地震探测装置,设置位置应根据地震仪特性及现场环境因素确定 为了防止地震仪误动作影响生产并造成不必要的人员恐慌.本条规定了只有当其中任两组同时检测到里氏5级以上地震时、才立即执行联锁控制功能,并将警报信号传送至工厂设备管理控制系统。对于实验室,工艺设备少的电子工厂,按需要设置地震探测装置，不做强制要求安装、5，3、5。从保护人员生命安全的角度考虑，本条规定了气体站房应配置防毒面具,自吸式防毒面具等安全防护设施、5,3,6、为了在事故状态下保障疏散人员的按照正确的方向逃生。本条规定了在特种气体站房屋顶最高点处应设置明显的风向标。