5、3。其他安全设施5。3、1,为确保生产厂房和特种气体系统的运行安全,本条规定了自燃性 易燃性,剧毒性。毒性。腐蚀性气体的储存、分配及使用场所安全设施的设置,1 本款规定了设置数字式视频监控摄像机。门禁，摄像机、门禁应考虑与使用环境相适应 如有防爆。防腐蚀要求的场所，需使用相应防护的产品。2 本款是从实际情况看，安全管理显示屏一般安装在洁净室内.洁净室入口服务台处.气瓶柜间的入口等位置 其显示内容为阻止人员接近危险区域以及采取切断阀门等措施.以TCP，IP网络联机方式连接至洁净室入口服务台处之服务器 在洁净室入口服务台处及值班室的工作站 可键入日常信息.在安全显示屏上显示,为此做了本款规定,3.因为自燃性，易燃性，毒性气体一旦发生泄漏等安全事故，将对电子类工厂的生产与人员生命安全带来巨大隐患,为此 本款规定在这些气体的储存,分配、使用场所内及相关建筑主入口.内通道等设置明显的灯光闪烁报警装置，提醒人员注意,采取防范措施,4、为了在紧急情况下切断特种气体的供应，避免事故的蔓延与扩大.本款规定在自燃性。易燃性 毒性气体储存。分配。使用场所入口处应设紧急手动按钮.由于应急处理中心室有专人值班 规定了主要紧急手动按钮设在应急处理中心室。5.3。2.为防止地震破坏电子类工厂的特种气体系统而造成重大次生灾害.对生产与作业人员带来危害、本条规定了在地震多发地区.特种气体的主要生产车间宜设地震探测装置、5,3。3.国外电子工厂地震探测装置在运用较普遍。一般设置三组地震探测装置.设置位置应根据地震仪特性及现场环境因素确定.为了防止地震仪误动作影响生产并造成不必要的人员恐慌.本条规定了只有当其中任两组同时检测到里氏5级以上地震时、才立即执行联锁控制功能,并将警报信号传送至工厂设备管理控制系统、对于实验室,工艺设备少的电子工厂。按需要设置地震探测装置.不做强制要求安装.5，3，5.从保护人员生命安全的角度考虑、本条规定了气体站房应配置防毒面具.自吸式防毒面具等安全防护设施 5,3 6、为了在事故状态下保障疏散人员的按照正确的方向逃生，本条规定了在特种气体站房屋顶最高点处应设置明显的风向标，