5,3.其他安全设施5,3、1。为确保生产厂房和特种气体系统的运行安全。本条规定了自燃性.易燃性,剧毒性。毒性，腐蚀性气体的储存，分配及使用场所安全设施的设置.1 本款规定了设置数字式视频监控摄像机,门禁.摄像机.门禁应考虑与使用环境相适应.如有防爆,防腐蚀要求的场所.需使用相应防护的产品，2,本款是从实际情况看、安全管理显示屏一般安装在洁净室内,洁净室入口服务台处，气瓶柜间的入口等位置.其显示内容为阻止人员接近危险区域以及采取切断阀门等措施.以TCP。IP网络联机方式连接至洁净室入口服务台处之服务器、在洁净室入口服务台处及值班室的工作站.可键入日常信息，在安全显示屏上显示、为此做了本款规定,3、因为自燃性。易燃性，毒性气体一旦发生泄漏等安全事故 将对电子类工厂的生产与人员生命安全带来巨大隐患。为此,本款规定在这些气体的储存,分配 使用场所内及相关建筑主入口、内通道等设置明显的灯光闪烁报警装置，提醒人员注意 采取防范措施 4,为了在紧急情况下切断特种气体的供应,避免事故的蔓延与扩大 本款规定在自燃性 易燃性,毒性气体储存。分配。使用场所入口处应设紧急手动按钮。由于应急处理中心室有专人值班、规定了主要紧急手动按钮设在应急处理中心室.5.3。2，为防止地震破坏电子类工厂的特种气体系统而造成重大次生灾害.对生产与作业人员带来危害。本条规定了在地震多发地区、特种气体的主要生产车间宜设地震探测装置,5 3，3、国外电子工厂地震探测装置在运用较普遍.一般设置三组地震探测装置，设置位置应根据地震仪特性及现场环境因素确定、为了防止地震仪误动作影响生产并造成不必要的人员恐慌.本条规定了只有当其中任两组同时检测到里氏5级以上地震时.才立即执行联锁控制功能、并将警报信号传送至工厂设备管理控制系统。对于实验室，工艺设备少的电子工厂 按需要设置地震探测装置、不做强制要求安装.5、3、5。从保护人员生命安全的角度考虑，本条规定了气体站房应配置防毒面具，自吸式防毒面具等安全防护设施、5，3、6。为了在事故状态下保障疏散人员的按照正确的方向逃生。本条规定了在特种气体站房屋顶最高点处应设置明显的风向标.