5、3。其他安全设施5 3 1.为确保生产厂房和特种气体系统的运行安全,本条规定了自燃性。易燃性,剧毒性、毒性。腐蚀性气体的储存,分配及使用场所安全设施的设置，1。本款规定了设置数字式视频监控摄像机,门禁.摄像机、门禁应考虑与使用环境相适应，如有防爆、防腐蚀要求的场所,需使用相应防护的产品 2。本款是从实际情况看，安全管理显示屏一般安装在洁净室内,洁净室入口服务台处,气瓶柜间的入口等位置。其显示内容为阻止人员接近危险区域以及采取切断阀门等措施.以TCP IP网络联机方式连接至洁净室入口服务台处之服务器,在洁净室入口服务台处及值班室的工作站,可键入日常信息,在安全显示屏上显示,为此做了本款规定，3.因为自燃性 易燃性.毒性气体一旦发生泄漏等安全事故，将对电子类工厂的生产与人员生命安全带来巨大隐患 为此 本款规定在这些气体的储存 分配、使用场所内及相关建筑主入口。内通道等设置明显的灯光闪烁报警装置、提醒人员注意、采取防范措施.4，为了在紧急情况下切断特种气体的供应、避免事故的蔓延与扩大 本款规定在自燃性.易燃性.毒性气体储存，分配。使用场所入口处应设紧急手动按钮、由于应急处理中心室有专人值班。规定了主要紧急手动按钮设在应急处理中心室.5 3。2,为防止地震破坏电子类工厂的特种气体系统而造成重大次生灾害、对生产与作业人员带来危害、本条规定了在地震多发地区 特种气体的主要生产车间宜设地震探测装置。5。3 3.国外电子工厂地震探测装置在运用较普遍,一般设置三组地震探测装置、设置位置应根据地震仪特性及现场环境因素确定 为了防止地震仪误动作影响生产并造成不必要的人员恐慌。本条规定了只有当其中任两组同时检测到里氏5级以上地震时.才立即执行联锁控制功能。并将警报信号传送至工厂设备管理控制系统 对于实验室.工艺设备少的电子工厂、按需要设置地震探测装置，不做强制要求安装、5.3、5.从保护人员生命安全的角度考虑.本条规定了气体站房应配置防毒面具.自吸式防毒面具等安全防护设施、5。3，6、为了在事故状态下保障疏散人员的按照正确的方向逃生、本条规定了在特种气体站房屋顶最高点处应设置明显的风向标。