5,3、其他安全设施5 3 1、为确保生产厂房和特种气体系统的运行安全，本条规定了自燃性、易燃性、剧毒性，毒性、腐蚀性气体的储存.分配及使用场所安全设施的设置。1 本款规定了设置数字式视频监控摄像机，门禁 摄像机，门禁应考虑与使用环境相适应。如有防爆,防腐蚀要求的场所、需使用相应防护的产品.2.本款是从实际情况看、安全管理显示屏一般安装在洁净室内,洁净室入口服务台处 气瓶柜间的入口等位置、其显示内容为阻止人员接近危险区域以及采取切断阀门等措施，以TCP,IP网络联机方式连接至洁净室入口服务台处之服务器,在洁净室入口服务台处及值班室的工作站,可键入日常信息,在安全显示屏上显示，为此做了本款规定.3。因为自燃性，易燃性，毒性气体一旦发生泄漏等安全事故.将对电子类工厂的生产与人员生命安全带来巨大隐患。为此。本款规定在这些气体的储存.分配、使用场所内及相关建筑主入口，内通道等设置明显的灯光闪烁报警装置 提醒人员注意，采取防范措施，4。为了在紧急情况下切断特种气体的供应，避免事故的蔓延与扩大.本款规定在自燃性.易燃性 毒性气体储存,分配、使用场所入口处应设紧急手动按钮 由于应急处理中心室有专人值班.规定了主要紧急手动按钮设在应急处理中心室.5。3。2.为防止地震破坏电子类工厂的特种气体系统而造成重大次生灾害,对生产与作业人员带来危害,本条规定了在地震多发地区。特种气体的主要生产车间宜设地震探测装置，5、3.3。国外电子工厂地震探测装置在运用较普遍。一般设置三组地震探测装置,设置位置应根据地震仪特性及现场环境因素确定,为了防止地震仪误动作影响生产并造成不必要的人员恐慌，本条规定了只有当其中任两组同时检测到里氏5级以上地震时,才立即执行联锁控制功能。并将警报信号传送至工厂设备管理控制系统。对于实验室 工艺设备少的电子工厂.按需要设置地震探测装置 不做强制要求安装,5.3，5.从保护人员生命安全的角度考虑.本条规定了气体站房应配置防毒面具，自吸式防毒面具等安全防护设施、5，3。6,为了在事故状态下保障疏散人员的按照正确的方向逃生，本条规定了在特种气体站房屋顶最高点处应设置明显的风向标.