5、3。其他安全设施5 3,1、为确保生产厂房和特种气体系统的运行安全，本条规定了自燃性。易燃性。剧毒性、毒性，腐蚀性气体的储存.分配及使用场所安全设施的设置.1,本款规定了设置数字式视频监控摄像机，门禁，摄像机 门禁应考虑与使用环境相适应,如有防爆.防腐蚀要求的场所，需使用相应防护的产品、2、本款是从实际情况看、安全管理显示屏一般安装在洁净室内.洁净室入口服务台处、气瓶柜间的入口等位置.其显示内容为阻止人员接近危险区域以及采取切断阀门等措施，以TCP、IP网络联机方式连接至洁净室入口服务台处之服务器、在洁净室入口服务台处及值班室的工作站.可键入日常信息、在安全显示屏上显示。为此做了本款规定,3.因为自燃性、易燃性。毒性气体一旦发生泄漏等安全事故.将对电子类工厂的生产与人员生命安全带来巨大隐患,为此。本款规定在这些气体的储存。分配 使用场所内及相关建筑主入口,内通道等设置明显的灯光闪烁报警装置。提醒人员注意.采取防范措施、4、为了在紧急情况下切断特种气体的供应。避免事故的蔓延与扩大，本款规定在自燃性.易燃性 毒性气体储存 分配 使用场所入口处应设紧急手动按钮、由于应急处理中心室有专人值班，规定了主要紧急手动按钮设在应急处理中心室,5.3 2、为防止地震破坏电子类工厂的特种气体系统而造成重大次生灾害,对生产与作业人员带来危害.本条规定了在地震多发地区。特种气体的主要生产车间宜设地震探测装置.5.3.3 国外电子工厂地震探测装置在运用较普遍,一般设置三组地震探测装置，设置位置应根据地震仪特性及现场环境因素确定,为了防止地震仪误动作影响生产并造成不必要的人员恐慌，本条规定了只有当其中任两组同时检测到里氏5级以上地震时,才立即执行联锁控制功能 并将警报信号传送至工厂设备管理控制系统、对于实验室、工艺设备少的电子工厂。按需要设置地震探测装置，不做强制要求安装、5，3,5、从保护人员生命安全的角度考虑,本条规定了气体站房应配置防毒面具。自吸式防毒面具等安全防护设施 5。3 6.为了在事故状态下保障疏散人员的按照正确的方向逃生 本条规定了在特种气体站房屋顶最高点处应设置明显的风向标.