5 2、特种气体探测系统5,2.1.本条是对电子工厂中设置特种气体探测器位置的区域或场所的规定，本条第1款。第5款为强制性条款.必须严格执行，1，3,自燃性.易燃性、剧毒性。毒性，腐蚀性气体储存、分配设备的排风口、因发生特种气体泄漏，可能达到规定报警浓度.应设气体探测器、4 使用惰性气体房间应设置氧气探测器，主要是因为惰性气体泄漏后、可能使空气中氧浓度降低到使房间的作业人员造成窒息、且国内外已有多个工厂发生惰性气体造成人员窒息伤亡事故，5 自燃性，易燃性,剧毒性，毒性、腐蚀性气体储存.分配间内的气体发生泄漏。易积聚处应设气体探测器、主要是因为气体储存.分配间的体积相对于生产区较小。发生泄漏容易聚集 并达到报警的数字，6,自燃性，易燃性、剧毒性，毒性 腐蚀性气体的使用场所是指使用以上气体的工艺设备房间内，气体操作箱等气体可能发生泄漏处附近，技术夹层内气体探测器是设置在有阀门箱等可能发生气体泄漏、易积聚的设备内 国际防火规范,IFC。2018第2703。13条.气体探测系统。也做了规定。该条款摘录如下.27章,半导体生产装置.2703.13,气体探测系统。符合916节的气体探测系统将用于HPM气体,按照2703、13,1至2703,13。2.2的要求 气体和易燃性气体的生理学报警阈值高于可接受允许暴露限制、Permissible Exposure,Limit PEL.2703。13、1,气体侦测器需要布置的地方 2703。13 1 1至2703。13,1.4节规定了气体侦测器应布置的区域、2703,13 1、1，生产区。使用HPM气体的电子生产区域应设置气体侦测器、2703.13,1、2、HPM房间。使用HPM气体的HPM房间应设置气体侦测器 2703、13、1，3.气体柜 密闭排风和气体房间.HPM气体的气瓶柜和密闭排风环境 HPM气体未放置在气瓶柜或密闭排风的环境应设置气体侦测器,2703 13，1.4，走道.HPM气体穿越由墙。地面、顶面构成的走道应设置气体侦测器 5.2.2、由于自燃性,易燃性.有毒气体一旦泄漏超过规定值 危害性极大 为此做了本条规定,一级报警后.即使气体浓度发生变化,报警仍应持续.只有经人工确认并采取相应的措施后才能停止报警 特种气体探测系统检测装置主要有以下几种。1,自燃性。易燃性气体检测采用催化燃烧型检测装置、半导体检测装置,电化学检测装置、2。毒性气体检测采用电化学检测装置,3、根据使用场所的不同确定不同特种气体采样方式，正确选用扩散式检测装置,单点或多点吸入式气体检测装置、5,2.3、为了明确检测报警装置的工作状况、防止事故发生。本条规定了自燃性，易燃性 毒性气体检测装置报警设定值的要求 本条第1款,第3款为强制性条款、必须严格执行.1。本款规定了自燃性 易燃性气体的一级报警和二级报警设定值,一级报警设定值不应大于25，易燃性气体爆炸浓度下限值、二级报警设定值不应大于50 易燃性气体爆炸浓度下限值是为了在气体早期泄漏时。通过一次和二次监测报警,自动关闭应急切断阀、关断气源 防止事态扩大,采用25、和50 分别作为一级和二级报警值时行业内的通常做法,既可以判断气体泄漏 泄漏的气体浓度又不会引起爆炸。2 本款规定了剧毒性 毒性气体的一级报警和二级报警设定值.目的是在气体早期泄漏时,自动关闭应急切断阀,保护工作人员的生命安全，一级,二级报警设定值也是根据国内外多年的使用经验规定的 3 本款规定了惰性气体间的氧气探测器的一级报警和二级报警设定值。目的是为了防止惰性气体泄漏导致人员窒息伤亡,氧气探测器一旦报警 启动应急排风和自动关闭应急切断阀,保护工作人员的生命安全。一级.二级报警设定值也是根据国内外多年的使用经验规定的、4.本款规定二氧化碳气体系统宜设二氧化碳气体探测器，主要是因为近年来,电子工厂发生二氧化碳泄漏导致人员伤亡的情况 为保护人员生命安全 制定本款，目前国内电子工厂多采用5000ppm作为C02的报警值.美国消防协会标准。压缩气体和低温液体规范.NFPA，55，2016第A 13,6 2、1条也做了规定.美国政府工业卫生医师学会，ACGIH,关于TLVS和BEIS,即化学物质,物理药物和生物暴露数组的临界极限数组.TLVS.C02的最高允许浓度值，时间加权平均容许浓度、TLV TWA,确定为5000ppm，短期数组.STEL、TLV，为30000ppm 5.2。4。本条确定的数值符合现行国家标准,石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计标准，GB,50493中的有关规定,同时结合半导体工厂使用气体检测装置产品的快速响应要求做出检测报警响应时间规定。5，2，5，气体探测器的设置位置是否恰当将直接影响到能否及时.正确报警、为确保生产厂房和特种气体系统安全,稳定运行,本条按特种气体相对密度的不同 做出了气体探测器的设置位置不同的规定,5，2，6，本条为强制性条文,必须严格执行。规定在硅烷排风管道中设置气体探测器.设定报警值并与硅烷气源的自动切断阀进行联锁。目的是为了硅烷系统能做到早期报警,防止事故产生,规定硅烷站设置环境气体探测器。设定报警值但不与硅烷自动控制系统联锁 这是为了防止环境中的硅烷气体探测器误报警导致影响正常生产 综合考虑安全与生产的关系后,规定报警但不切断输送系统,工作人员可在不停产的情况下，确认报警是否是由硅烷泄漏引起还是其他原因造成的误报,美国国家标准学会标准.硅烷和硅烷混合物的储存和操作 ANSI.CGA G、13，2015第11.1，4、1条.排风区域内的监控、和11,1,4、2条.排风区域外的监控、也做了规定。现摘录如下。11,1。4 1、排风区域内的监控。排风区域应设置监控装置.当硅烷气体浓度小于或等于50ppm时 气体监控系统启动报警,11，1 4,2，排风区域外的监控，排风区域外应设置监控装置。当硅烷气体浓度小于或等于5ppm时 气体监控系统启动报警，