4，2.特种气体输送系统4，2。1.特种气体系统的气瓶柜。气瓶架的设置应符合下列规定、1、气瓶柜与气瓶架可采用单工艺气瓶外置吹扫气源，双工艺气瓶外置吹扫气源 双工艺气瓶内置吹扫气源等多种结构配置。2。不相容气体瓶不应放置于同一气瓶柜或气瓶架中.3,气瓶柜 气瓶架应设置作业用气体面板，4。系统的供应能力应经过热力学和流体力学计算核实、5、气瓶柜闭门时应保持不低于100Pa负压、柜内的排风换气次数不得低于300次，h，6,自燃性。易燃性 毒性.腐蚀性气瓶柜应在排风出口设置固定式气体泄漏探测器,7、气瓶柜柜体外壳钢板厚度不应小于2,5mm,并应有防腐蚀涂层、8，气瓶柜门应具备自动关闭功能 并应配备防爆玻璃观察窗.气瓶柜的固定螺栓设计应满足当地地震设防烈度的要求。9,气瓶柜.气瓶架应设置清晰明确的安全标识牌.10.当气瓶柜放置在有爆炸和火灾危险环境时.其设计应符合现行国家标准,爆炸危险环境电力装置设计规范,GB.50058的有关规定 4，2,2 特种气体的气瓶柜.气瓶架的气体面板设置应符合下列规定,1，自燃性、易燃性 毒性，腐蚀性气体面板应设有紧急关断阀门，并应为常闭气动阀门 位置应靠近气瓶 2，气瓶压力大于0。1MPa的自燃性，易燃性,毒性,腐蚀性气体面板应设有过流开关,3、自燃性。易燃性,毒性 腐蚀性气体面板应设有惰性气体吹扫，辅助抽真空装置 真空管路应设止回阀 4 气体面板应设置工艺气体排气口、4.2,3。可燃和自燃性特种气体的气瓶柜应符合下列规定、1，当硅烷气瓶使用直径0 25mm限流孔时,气瓶柜的排风换气次数不得低于1200次、h、当使用直径0.15mm限流孔时.气瓶柜的排风换气次数不得低于400次、h.且气瓶柜的负压应连续监控，2 自燃性特种气体的气瓶柜应设置紫外,红外火焰探测器，3、易燃性特种气体的气瓶柜应设置水喷淋系统。4.自燃性特种气体的气瓶柜应在气瓶之间设置隔离钢板，4。2.4，大宗特种气体系统应符合下列规定,1，应设置独立气瓶。储罐或长管拖车等的压力指示或钢瓶称重装置 连接回型管.气流控制的气体面板.吹扫氮气单元 电气控制柜等装置.2,大宗特种气体系统的功能配备应符合本标准第4、2,1条的有关规定、3,液态气体瓶应设计钢瓶加热与保温装置、4.减压降温效应显著的气体 应在减压前对气体进行预热，4，2.5，液态特种气体系统的设置应符合下列规定.1。应设置独立的液体槽罐,液体输送柜、连接回型管。驱动气体单元、吹扫氮气单元 电气控制柜,重量计量等装置.2。液态特种气体系统宜利用驱动气体压力将液态特种气体从槽罐输送至液态特种气体柜，或从液态特种气体柜直接驱动输送至用气工艺设备，液态特种气体亦可采用泵送.3 用气点应设置鼓泡器或蒸发器、将液态特种气体鼓泡或直接蒸发 以汽化形式输送至工艺反应设备.4。液态特种气瓶柜功能设置应符合本标准第4,2,1条的有关规定.5,具有自燃性和遇水反应性的金属有机物前驱体液体.供应柜应设置相应灭火系统 底部应设置收集槽。并应放置吸附材料,4 2、6。自燃性。易燃性。毒性 腐蚀性特种气体系统的阀门箱设置应符合下列规定、1,应设置进气管路隔离阀及压力指示装置 2、气体支路应设有独立的压力控制调节阀，过滤器.3.气体支路应设有独立的出口隔离阀 4、气体分支路应设置独立的吹扫气体装置、4 2 7。惰性及氧化性特种气体系统的阀门盘设置应符合下列规定、1。应设有进气管路隔离阀及压力指示装置。2 气体支路应设有独立的压力控制调节阀.过滤器。3。气体支路应设有独立出口隔离阀门。4，2、8，负压气源特种气体的气瓶柜、气瓶架的设置应符合负压气源特种气体的特性,