4、4,硅烷工艺系统4。4,1。硅烷工艺系统的设计应根据下列因素确定.1 硅烷站的规模 2 硅烷的物理化学性质,3。当地硅烷供应的充装 运输状况.4，用户对硅烷纯度 压力和负荷变化的要求.4,4,2 硅烷输送系统应设有硅烷容器。气体面板、阀门箱及连接管道，4,4.3 硅烷气体面板应包括减压过滤，吹扫.排气。安全控制的功能，4，4、4.硅烷系统必须采用独立的惰性气源进行吹扫、4.4。5、硅烷阀门箱设置除应符合本标准第4、2.6条的规定外、还应配置惰性气体吹扫装置 气体泄漏探测器和紫外红外火焰探测器。4。4。6,硅烷系统的排气装置的设置应符合下列规定,1,硅烷系统的排气管不得接入排风系统。2 排气管应采用惰性气体连续吹扫.吹扫气体流速不得小于0,3m s、4 4。7,硅烷连接管道钢瓶侧应设置常闭式紧急切断阀。硅烷站的安全出口应设置手动紧急切断按钮,至少有一个手动紧急切断按钮与输送装置的距离不应小于4.6m。4 4,8、硅烷系统阀门.附件的设置应符合下列规定，1。硅烷输送系统应采用金属材质的波纹管阀.隔膜阀,调压阀,2。硅烷输送系统应根据流量配置不同直径的限流孔板,3、硅烷系统应配置过流开关.紧急切断阀。调压阀的加热装置应根据流量核算确定