4 4，硅烷工艺系统4，4，1 硅烷工艺系统的设计应根据下列因素确定,1,硅烷站的规模，2。硅烷的物理化学性质 3 当地硅烷供应的充装、运输状况、4.用户对硅烷纯度.压力和负荷变化的要求,4 4 2、硅烷输送系统应设有硅烷容器 气体面板,阀门箱及连接管道，4 4、3,硅烷气体面板应包括减压过滤，吹扫,排气，安全控制的功能、4.4.4.硅烷系统必须采用独立的惰性气源进行吹扫、4.4 5，硅烷阀门箱设置除应符合本标准第4，2,6条的规定外，还应配置惰性气体吹扫装置 气体泄漏探测器和紫外红外火焰探测器，4,4，6、硅烷系统的排气装置的设置应符合下列规定.1，硅烷系统的排气管不得接入排风系统、2.排气管应采用惰性气体连续吹扫.吹扫气体流速不得小于0,3m。s,4。4，7.硅烷连接管道钢瓶侧应设置常闭式紧急切断阀.硅烷站的安全出口应设置手动紧急切断按钮.至少有一个手动紧急切断按钮与输送装置的距离不应小于4.6m。4，4,8、硅烷系统阀门.附件的设置应符合下列规定、1，硅烷输送系统应采用金属材质的波纹管阀，隔膜阀 调压阀。2、硅烷输送系统应根据流量配置不同直径的限流孔板,3.硅烷系统应配置过流开关 紧急切断阀，调压阀的加热装置应根据流量核算确定