4,4。硅烷工艺系统4,4，1，硅烷工艺系统的设计应根据下列因素确定 1 硅烷站的规模 2。硅烷的物理化学性质、3 当地硅烷供应的充装 运输状况、4 用户对硅烷纯度、压力和负荷变化的要求、4。4，2 硅烷输送系统应设有硅烷容器、气体面板，阀门箱及连接管道。4、4。3、硅烷气体面板应包括减压过滤.吹扫。排气，安全控制的功能。4。4。4.硅烷系统必须采用独立的惰性气源进行吹扫,4,4、5，硅烷阀门箱设置除应符合本标准第4，2、6条的规定外。还应配置惰性气体吹扫装置.气体泄漏探测器和紫外红外火焰探测器、4 4.6,硅烷系统的排气装置的设置应符合下列规定,1,硅烷系统的排气管不得接入排风系统、2.排气管应采用惰性气体连续吹扫 吹扫气体流速不得小于0、3m s，4.4.7,硅烷连接管道钢瓶侧应设置常闭式紧急切断阀 硅烷站的安全出口应设置手动紧急切断按钮，至少有一个手动紧急切断按钮与输送装置的距离不应小于4 6m.4、4、8，硅烷系统阀门.附件的设置应符合下列规定,1，硅烷输送系统应采用金属材质的波纹管阀，隔膜阀、调压阀.2。硅烷输送系统应根据流量配置不同直径的限流孔板，3。硅烷系统应配置过流开关，紧急切断阀,调压阀的加热装置应根据流量核算确定，