4。4,硅烷工艺系统4,4,1。硅烷工艺系统的设计应根据下列因素确定 1 硅烷站的规模，2。硅烷的物理化学性质、3 当地硅烷供应的充装 运输状况,4 用户对硅烷纯度,压力和负荷变化的要求，4、4,2。硅烷输送系统应设有硅烷容器，气体面板，阀门箱及连接管道,4.4，3。硅烷气体面板应包括减压过滤,吹扫。排气。安全控制的功能,4 4、4.硅烷系统必须采用独立的惰性气源进行吹扫 4 4。5,硅烷阀门箱设置除应符合本标准第4 2,6条的规定外，还应配置惰性气体吹扫装置。气体泄漏探测器和紫外红外火焰探测器,4，4。6.硅烷系统的排气装置的设置应符合下列规定、1,硅烷系统的排气管不得接入排风系统、2。排气管应采用惰性气体连续吹扫，吹扫气体流速不得小于0.3m s.4,4、7.硅烷连接管道钢瓶侧应设置常闭式紧急切断阀。硅烷站的安全出口应设置手动紧急切断按钮.至少有一个手动紧急切断按钮与输送装置的距离不应小于4.6m 4。4、8.硅烷系统阀门，附件的设置应符合下列规定。1,硅烷输送系统应采用金属材质的波纹管阀，隔膜阀 调压阀。2.硅烷输送系统应根据流量配置不同直径的限流孔板,3，硅烷系统应配置过流开关.紧急切断阀、调压阀的加热装置应根据流量核算确定,