4，4、硅烷工艺系统4。4、1。硅烷工艺系统的设计应根据下列因素确定。1 硅烷站的规模,2 硅烷的物理化学性质、3.当地硅烷供应的充装.运输状况 4.用户对硅烷纯度.压力和负荷变化的要求、4，4,2 硅烷输送系统应设有硅烷容器,气体面板。阀门箱及连接管道，4 4、3，硅烷气体面板应包括减压过滤，吹扫 排气.安全控制的功能.4。4，4、硅烷系统必须采用独立的惰性气源进行吹扫。4 4 5,硅烷阀门箱设置除应符合本标准第4，2、6条的规定外,还应配置惰性气体吹扫装置,气体泄漏探测器和紫外红外火焰探测器,4。4 6.硅烷系统的排气装置的设置应符合下列规定,1,硅烷系统的排气管不得接入排风系统 2，排气管应采用惰性气体连续吹扫,吹扫气体流速不得小于0、3m，s。4，4、7 硅烷连接管道钢瓶侧应设置常闭式紧急切断阀 硅烷站的安全出口应设置手动紧急切断按钮、至少有一个手动紧急切断按钮与输送装置的距离不应小于4，6m，4、4，8，硅烷系统阀门，附件的设置应符合下列规定、1，硅烷输送系统应采用金属材质的波纹管阀 隔膜阀，调压阀 2、硅烷输送系统应根据流量配置不同直径的限流孔板，3，硅烷系统应配置过流开关.紧急切断阀,调压阀的加热装置应根据流量核算确定