4 4.硅烷工艺系统4、4,1，硅烷工艺系统的设计应根据下列因素确定.1,硅烷站的规模.2,硅烷的物理化学性质 3、当地硅烷供应的充装、运输状况.4.用户对硅烷纯度.压力和负荷变化的要求 4.4，2，硅烷输送系统应设有硅烷容器。气体面板,阀门箱及连接管道 4,4,3.硅烷气体面板应包括减压过滤.吹扫 排气.安全控制的功能.4。4,4，硅烷系统必须采用独立的惰性气源进行吹扫，4、4、5 硅烷阀门箱设置除应符合本标准第4 2.6条的规定外，还应配置惰性气体吹扫装置 气体泄漏探测器和紫外红外火焰探测器。4.4、6、硅烷系统的排气装置的设置应符合下列规定.1.硅烷系统的排气管不得接入排风系统，2。排气管应采用惰性气体连续吹扫,吹扫气体流速不得小于0.3m,s，4 4 7。硅烷连接管道钢瓶侧应设置常闭式紧急切断阀,硅烷站的安全出口应设置手动紧急切断按钮，至少有一个手动紧急切断按钮与输送装置的距离不应小于4.6m.4 4、8，硅烷系统阀门,附件的设置应符合下列规定、1、硅烷输送系统应采用金属材质的波纹管阀，隔膜阀，调压阀、2、硅烷输送系统应根据流量配置不同直径的限流孔板.3 硅烷系统应配置过流开关,紧急切断阀,调压阀的加热装置应根据流量核算确定，