4 4。硅烷工艺系统4，4。1.硅烷工艺系统的设计应根据下列因素确定 1，硅烷站的规模.2，硅烷的物理化学性质,3,当地硅烷供应的充装 运输状况。4，用户对硅烷纯度 压力和负荷变化的要求.4,4。2.硅烷输送系统应设有硅烷容器、气体面板,阀门箱及连接管道.4,4、3、硅烷气体面板应包括减压过滤、吹扫、排气.安全控制的功能。4、4.4.硅烷系统必须采用独立的惰性气源进行吹扫，4,4。5 硅烷阀门箱设置除应符合本标准第4,2,6条的规定外，还应配置惰性气体吹扫装置。气体泄漏探测器和紫外红外火焰探测器，4.4。6。硅烷系统的排气装置的设置应符合下列规定。1.硅烷系统的排气管不得接入排风系统 2.排气管应采用惰性气体连续吹扫，吹扫气体流速不得小于0 3m。s，4 4.7 硅烷连接管道钢瓶侧应设置常闭式紧急切断阀，硅烷站的安全出口应设置手动紧急切断按钮。至少有一个手动紧急切断按钮与输送装置的距离不应小于4.6m，4 4。8 硅烷系统阀门。附件的设置应符合下列规定.1，硅烷输送系统应采用金属材质的波纹管阀，隔膜阀，调压阀。2,硅烷输送系统应根据流量配置不同直径的限流孔板,3，硅烷系统应配置过流开关 紧急切断阀、调压阀的加热装置应根据流量核算确定，