"大量文字复制"等功能仅限VIP会员使用，您可以选择以下方式解决：
1、选择少量文本，重新进行复制操作
2、开通VIP，享受下载海量资源、文字任意复制等特权
- 特种气体系统工程技术标准 GB 50646-2020
- 1 总则
- 2 术语
- 3 特种气体站房
- 4 特种气体工艺系统
- 4．1 一般规定
- 4．2 特种气体输送系统
- 4．3 吹扫和排气系统
- 4．4 硅烷工艺系统
- 5 生命安全系统
- 6 特种气体管道输送系统
- 7 建筑结构
- 8 电气与防雷
- 9 公用工程
- 10 特种气体系统工程施工
- 11 特种气体系统工程验收
- 附录A 特种气体管道氦检漏方法
- 附录B 电子工业用特种气体的主要物化性质(单一气体)
- 本标准用词说明
- 引用标准名录
- 条文说明
热门资源
更多>
- 老年人建筑设计规范[附条文说明] JGJ 122-99
- 既有建筑维护与改造通用规范[附条文说明] GB 55022-2021
- 住宅项目规范[附条文说明] GB 55038-2025
- 托儿所、幼儿园建筑设计规范[附条文说明]（2019年版） JGJ 39-2016（2019年版）
- 生活垃圾处理处置工程项目规范[附条文说明] GB 55012-2021
- 宿舍、旅馆建筑项目规范[附条文说明] GB 55025-2022
- 建筑节能与可再生能源利用通用规范[附条文说明] GB 55015-2021
- 民用建筑隔声设计规范[附条文说明] GB 50118-2010
- 民用建筑太阳能热水系统应用技术标准[附条文说明] GB 50364-2018
- 锅炉房设计标准[附条文说明] GB 50041-2020
4,特种气体工艺系统4,1。一般规定4。1、1.特种气体工艺系统应设置下列主要装置,1.储存、供气的气瓶柜.气瓶架.集装格,卧式气瓶,长管拖车，2.气体分配用阀门箱.阀门盘。3、辅助氮气吹扫系统、4,尾气处理装置。4.1 2,特种气体工艺系统的设计应满足电子产品生产工艺对特种气体工艺参数，污染控制，使用安全的要求、4,1。3。不相容的特种气体的排气管道不得接入同一排气系统，4 1，4 不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统，