4。3 吹扫和排气系统4.3 1，特种气体系统吹扫气体的设置应符合下列规定。1。自燃性，易燃性、毒性，腐蚀性特种气体系统的吹扫气体应与独立的气源连接、不得与公用气源或工艺气源系统相连，2。不相容性特种气体系统的吹扫气体不得共用同一气源.3 吹扫气体管线应设置止回阀.4、3。2.吹扫氮气的气体面板应设有压力调节阀,排气管，高低压截止阀。高低压压力指示装置，安全阀 4、3 3。特种气体系统的辅助抽真空装置的设置应符合下列规定，1.真空发生器宜采用氮气作为引射气源 2。抽真空用氮气可由公用普通氮气供给 自燃性和腐蚀性气体.氮气供应管道应设置止回阀和微漏阀,4、3,4、特种气体排气与废气处理的设置应符合下列规定,1、特种气体系统的排气管应设置氮气稀释与连续吹扫装置，2，自燃性 易燃性。毒性。腐蚀性特种气体的排空气体应经过尾气处理装置处理、处理后的气体应符合现行国家废气排放要求。4.3,5。特种气体尾气处理装置的设置应符合下列规定。1 尾气处理装置的类型，应根据所处理的排气中特种气体的特性进行选择,不相容特种气体应分别设置尾气处理装置，2.尾气处理装置应靠近特种气体柜 气瓶架等特种气体设备布置，3.特种气体的尾气处理方法宜采用干式吸附,湿式洗涤，加热分解 燃烧、等离子分解 稀释及以上几种处理方式的组合、