4 3.吹扫和排气系统4，3、1。特种气体系统吹扫气体的设置应符合下列规定、1、自燃性 易燃性.毒性 腐蚀性特种气体系统的吹扫气体应与独立的气源连接。不得与公用气源或工艺气源系统相连.2，不相容性特种气体系统的吹扫气体不得共用同一气源 3。吹扫气体管线应设置止回阀 4，3,2。吹扫氮气的气体面板应设有压力调节阀。排气管。高低压截止阀。高低压压力指示装置 安全阀.4、3 3.特种气体系统的辅助抽真空装置的设置应符合下列规定，1。真空发生器宜采用氮气作为引射气源,2，抽真空用氮气可由公用普通氮气供给 自燃性和腐蚀性气体 氮气供应管道应设置止回阀和微漏阀.4.3.4.特种气体排气与废气处理的设置应符合下列规定,1,特种气体系统的排气管应设置氮气稀释与连续吹扫装置，2，自燃性 易燃性，毒性 腐蚀性特种气体的排空气体应经过尾气处理装置处理,处理后的气体应符合现行国家废气排放要求。4,3 5,特种气体尾气处理装置的设置应符合下列规定，1、尾气处理装置的类型 应根据所处理的排气中特种气体的特性进行选择，不相容特种气体应分别设置尾气处理装置.2 尾气处理装置应靠近特种气体柜、气瓶架等特种气体设备布置.3、特种气体的尾气处理方法宜采用干式吸附,湿式洗涤。加热分解。燃烧。等离子分解、稀释及以上几种处理方式的组合，