4。3。吹扫和排气系统4。3、1,特种气体系统吹扫气体的设置应符合下列规定、1 自燃性、易燃性 毒性 腐蚀性特种气体系统的吹扫气体应与独立的气源连接.不得与公用气源或工艺气源系统相连,2。不相容性特种气体系统的吹扫气体不得共用同一气源,3.吹扫气体管线应设置止回阀.4,3.2.吹扫氮气的气体面板应设有压力调节阀,排气管、高低压截止阀、高低压压力指示装置、安全阀,4.3。3、特种气体系统的辅助抽真空装置的设置应符合下列规定，1，真空发生器宜采用氮气作为引射气源.2，抽真空用氮气可由公用普通氮气供给.自燃性和腐蚀性气体。氮气供应管道应设置止回阀和微漏阀、4.3、4，特种气体排气与废气处理的设置应符合下列规定。1、特种气体系统的排气管应设置氮气稀释与连续吹扫装置、2 自燃性,易燃性,毒性.腐蚀性特种气体的排空气体应经过尾气处理装置处理.处理后的气体应符合现行国家废气排放要求，4 3.5、特种气体尾气处理装置的设置应符合下列规定，1，尾气处理装置的类型、应根据所处理的排气中特种气体的特性进行选择、不相容特种气体应分别设置尾气处理装置。2,尾气处理装置应靠近特种气体柜，气瓶架等特种气体设备布置.3。特种气体的尾气处理方法宜采用干式吸附。湿式洗涤 加热分解 燃烧.等离子分解。稀释及以上几种处理方式的组合。