4、3，吹扫和排气系统4 3.1 特种气体系统吹扫气体的设置应符合下列规定。1，自燃性.易燃性,毒性 腐蚀性特种气体系统的吹扫气体应与独立的气源连接.不得与公用气源或工艺气源系统相连，2 不相容性特种气体系统的吹扫气体不得共用同一气源。3,吹扫气体管线应设置止回阀 4，3.2。吹扫氮气的气体面板应设有压力调节阀.排气管。高低压截止阀。高低压压力指示装置 安全阀。4。3，3、特种气体系统的辅助抽真空装置的设置应符合下列规定，1.真空发生器宜采用氮气作为引射气源、2,抽真空用氮气可由公用普通氮气供给、自燃性和腐蚀性气体。氮气供应管道应设置止回阀和微漏阀,4 3、4 特种气体排气与废气处理的设置应符合下列规定，1.特种气体系统的排气管应设置氮气稀释与连续吹扫装置,2。自燃性 易燃性 毒性，腐蚀性特种气体的排空气体应经过尾气处理装置处理.处理后的气体应符合现行国家废气排放要求 4，3.5,特种气体尾气处理装置的设置应符合下列规定，1、尾气处理装置的类型,应根据所处理的排气中特种气体的特性进行选择。不相容特种气体应分别设置尾气处理装置.2 尾气处理装置应靠近特种气体柜，气瓶架等特种气体设备布置，3.特种气体的尾气处理方法宜采用干式吸附。湿式洗涤，加热分解.燃烧,等离子分解 稀释及以上几种处理方式的组合。