4.3。吹扫和排气系统4，3,1，特种气体系统吹扫气体的设置应符合下列规定 1.自燃性，易燃性、毒性。腐蚀性特种气体系统的吹扫气体应与独立的气源连接，不得与公用气源或工艺气源系统相连。2,不相容性特种气体系统的吹扫气体不得共用同一气源.3，吹扫气体管线应设置止回阀,4，3，2,吹扫氮气的气体面板应设有压力调节阀，排气管。高低压截止阀，高低压压力指示装置、安全阀，4,3。3.特种气体系统的辅助抽真空装置的设置应符合下列规定、1。真空发生器宜采用氮气作为引射气源,2，抽真空用氮气可由公用普通氮气供给，自燃性和腐蚀性气体.氮气供应管道应设置止回阀和微漏阀.4 3 4、特种气体排气与废气处理的设置应符合下列规定 1，特种气体系统的排气管应设置氮气稀释与连续吹扫装置,2 自燃性,易燃性、毒性.腐蚀性特种气体的排空气体应经过尾气处理装置处理、处理后的气体应符合现行国家废气排放要求，4，3 5.特种气体尾气处理装置的设置应符合下列规定，1,尾气处理装置的类型,应根据所处理的排气中特种气体的特性进行选择 不相容特种气体应分别设置尾气处理装置，2。尾气处理装置应靠近特种气体柜,气瓶架等特种气体设备布置.3 特种气体的尾气处理方法宜采用干式吸附,湿式洗涤,加热分解，燃烧 等离子分解,稀释及以上几种处理方式的组合、