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- 特种气体系统工程技术标准 GB 50646-2020
- 1 总则
- 2 术语
- 3 特种气体站房
- 4 特种气体工艺系统
- 4．1 一般规定
- 4．2 特种气体输送系统
- 4．3 吹扫和排气系统
- 4．4 硅烷工艺系统
- 5 生命安全系统
- 6 特种气体管道输送系统
- 7 建筑结构
- 8 电气与防雷
- 9 公用工程
- 10 特种气体系统工程施工
- 11 特种气体系统工程验收
- 附录A 特种气体管道氦检漏方法
- 附录B 电子工业用特种气体的主要物化性质(单一气体)
- 本标准用词说明
- 引用标准名录
- 条文说明
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4.特种气体工艺系统4,1.一般规定4，1.1，特种气体工艺系统应设置下列主要装置 1。储存，供气的气瓶柜 气瓶架.集装格。卧式气瓶、长管拖车,2。气体分配用阀门箱。阀门盘 3,辅助氮气吹扫系统,4，尾气处理装置、4。1，2.特种气体工艺系统的设计应满足电子产品生产工艺对特种气体工艺参数，污染控制，使用安全的要求,4、1。3 不相容的特种气体的排气管道不得接入同一排气系统 4、1 4 不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统，