10.气体与真空10.1,大宗气体10，1。1、大宗气体供应系统宜采用在厂区内设置制气装置或外购液态气储罐和瓶装气体方式、10，1.2。大宗气体供应系统宜设置气体质量监控系统,10。1，3。当气体的纯度大于99，9999 露点低于,40，时 大宗气体应设置终端气体纯化装置.气体终端纯化装置应设置在用气点处。10。1、4,生产厂房内的大宗气体管道等应采取下列技术措施.1，管道及阀门附件内壁处理等级应满足输送气体的品质要求、2、混合气体管道的终端或最高点应设置放散管，放散管口应设置阻火器,3，混合气体管道应设置导出静电的设施。4。混合气体引入管道上应设置自动切断阀,10。1 5，气体管道和阀门应根据产品生产工艺要求选择,宜符合下列规定。1，当气体纯度大于99，99.露点低于.40、时、宜采用内壁处理的不锈钢管.阀门宜采用波纹管阀或球阀、2 气体管道阀门。附件的材质宜与相连接的管道材质一致，10 1。6 气体管道连接，宜符合下列规定 1，管道连接宜采用焊接、不锈钢管宜采用氩弧焊,2、管道与设备或阀门的连接、宜采用表面密封接头 密封材料宜采用金属垫或聚四氟乙烯垫,