5，5.半导体材料制备5、5、1，硅.锗材料制备的生产废水处理应符合下列要求。1、制备多晶硅的生产废水应中和处理后回用或达标排放。2。硅片加工过程产生的浆料应回收利用.3、制备氯化锗产生的蒸馏残液。水解母液以及废气淋洗液,应中和处理、4 单晶硅，单晶锗酸洗产生的酸性废气淋洗液应中和处理，5,产品检测产生的含铬废液必须单独收集或回用、不能返回工艺或作其他利用的含铬废液中的总铬及六价铬、必须达标后再送全厂污水处理站进一步处理 5、5。2，制备砷化镓产生的含砷废水 液、必须单独收集 且应首先回收砷.不能回收时应将三价砷转变为五价砷再进一步进行脱砷净化处理,