4 5.微振控制4，5。1，有微振控制要求的洁净厂房 设计应考虑建筑结构的选型及地面.楼面,的构造做法、如增加基础及上部结构垂直及横向刚度.增加地面、楼面。刚度。能有效减小振动影响、此外,还应考虑隔振缝设置及其有效的构造措施。壁板与地面及顶棚采用柔性连接等、均能减小振动传递.即减小了对精密设备,仪器仪表的振动影响,在洁净厂房设计中 应首先考虑对强振源采取隔振措施，以减小强振源对精密设备.仪器仪表的振动影响.在此基础上、精密设备 仪器仪表再根据各自的容许振动值采取被动隔振措施,就大致能够达到预定目的.在原规范中.本条为强制性条文、虽然明确规定本条只用于有微振控制要求的洁净厂房，但由于没有量化的规定.容易引起执行不准确的问题.实施以来确有此种情况发生.为此本次修订将本条改为推荐性条文，4。5、4，精密设备.仪器仪表的被动隔振措施。由隔振台座及隔振器.或隔振装置,组成，根据隔振设计计算需要、设定隔振台座为不变形刚体.为此应对隔振台座的形状，几何尺寸及材质选用等方面加以考虑、使之具有足够的刚度.某些精密设备、仪器仪表在运行时。由于移动部件位置变化或加工,测试件的质量及质心位置变化 使各隔振器的变形量不相等、隔振台座发生倾斜、导致精密设备 仪器仪表难以正常工作.为此,应设置校正倾斜装置、使隔振台座保持原有的水平度.以保证精密设备，仪器仪表的正常运行、隔振系统阻尼过小,会产生较大的自振.以及受外界突发干扰,如对隔振台座的冲击。室内气流的扰动影响等。造成隔振台座晃动.这种振动值有时会大于精密设备.仪器仪表的容许振动值，影响其正常运行 为此应增大隔振系统阻尼值.才能减小此类振动，通过多项工程实践表明,隔振系统阻尼比不小于0、15是比较恰当的.4、5 5、空气弹簧的垂直向 横向刚度很低，使隔振系统具有很低的固有振动频率,同时它具有可调节阻尼值的特性.隔振系统可获得需要的阻尼、因此。隔振系统具有良好的隔振效果.当配用高精度控制阀时.可自动校正隔振台座的倾斜、由于空气弹簧具有其他隔振材料及隔振器不可替代的优越性、已被我国及国际工程界普遍采用作为精密设备、仪器仪表的隔振元件 用于被动隔振措施的空气弹簧隔振装置由空气弹簧隔振器,高精度控制阀 仪表箱及气源组成 由于空气弹簧隔振装置在校正隔振台座倾斜时会排出气体,如压缩空气，氮气等.因此对气源应进行净化处理.使其达到洁净室的空气洁净度等级，才能保证排出的气体不致对洁净室造成污染.