4，5 微振控制4，5 1.有微振控制要求的洁净厂房 设计应考虑建筑结构的选型及地面。楼面、的构造做法、如增加基础及上部结构垂直及横向刚度,增加地面。楼面、刚度、能有效减小振动影响,此外,还应考虑隔振缝设置及其有效的构造措施、壁板与地面及顶棚采用柔性连接等,均能减小振动传递,即减小了对精密设备 仪器仪表的振动影响、在洁净厂房设计中。应首先考虑对强振源采取隔振措施,以减小强振源对精密设备,仪器仪表的振动影响 在此基础上.精密设备。仪器仪表再根据各自的容许振动值采取被动隔振措施、就大致能够达到预定目的，在原规范中 本条为强制性条文。虽然明确规定本条只用于有微振控制要求的洁净厂房,但由于没有量化的规定、容易引起执行不准确的问题。实施以来确有此种情况发生、为此本次修订将本条改为推荐性条文，4 5。4，精密设备 仪器仪表的被动隔振措施。由隔振台座及隔振器,或隔振装置，组成、根据隔振设计计算需要。设定隔振台座为不变形刚体、为此应对隔振台座的形状，几何尺寸及材质选用等方面加以考虑.使之具有足够的刚度.某些精密设备、仪器仪表在运行时，由于移动部件位置变化或加工,测试件的质量及质心位置变化，使各隔振器的变形量不相等.隔振台座发生倾斜。导致精密设备.仪器仪表难以正常工作。为此、应设置校正倾斜装置.使隔振台座保持原有的水平度。以保证精密设备，仪器仪表的正常运行。隔振系统阻尼过小、会产生较大的自振 以及受外界突发干扰，如对隔振台座的冲击,室内气流的扰动影响等，造成隔振台座晃动.这种振动值有时会大于精密设备 仪器仪表的容许振动值、影响其正常运行。为此应增大隔振系统阻尼值.才能减小此类振动.通过多项工程实践表明,隔振系统阻尼比不小于0、15是比较恰当的.4 5，5、空气弹簧的垂直向,横向刚度很低,使隔振系统具有很低的固有振动频率.同时它具有可调节阻尼值的特性,隔振系统可获得需要的阻尼、因此，隔振系统具有良好的隔振效果。当配用高精度控制阀时.可自动校正隔振台座的倾斜。由于空气弹簧具有其他隔振材料及隔振器不可替代的优越性 已被我国及国际工程界普遍采用作为精密设备。仪器仪表的隔振元件,用于被动隔振措施的空气弹簧隔振装置由空气弹簧隔振器,高精度控制阀.仪表箱及气源组成。由于空气弹簧隔振装置在校正隔振台座倾斜时会排出气体.如压缩空气 氮气等。因此对气源应进行净化处理，使其达到洁净室的空气洁净度等级，才能保证排出的气体不致对洁净室造成污染,