4,5.微振控制4、5.1、有微振控制要求的洁净厂房 设计应考虑建筑结构的选型及地面.楼面 的构造做法,如增加基础及上部结构垂直及横向刚度、增加地面，楼面。刚度、能有效减小振动影响,此外 还应考虑隔振缝设置及其有效的构造措施 壁板与地面及顶棚采用柔性连接等、均能减小振动传递.即减小了对精密设备。仪器仪表的振动影响.在洁净厂房设计中。应首先考虑对强振源采取隔振措施，以减小强振源对精密设备.仪器仪表的振动影响，在此基础上,精密设备,仪器仪表再根据各自的容许振动值采取被动隔振措施。就大致能够达到预定目的.在原规范中、本条为强制性条文，虽然明确规定本条只用于有微振控制要求的洁净厂房。但由于没有量化的规定。容易引起执行不准确的问题,实施以来确有此种情况发生,为此本次修订将本条改为推荐性条文.4,5。4。精密设备，仪器仪表的被动隔振措施.由隔振台座及隔振器.或隔振装置，组成,根据隔振设计计算需要 设定隔振台座为不变形刚体。为此应对隔振台座的形状,几何尺寸及材质选用等方面加以考虑 使之具有足够的刚度。某些精密设备 仪器仪表在运行时,由于移动部件位置变化或加工，测试件的质量及质心位置变化。使各隔振器的变形量不相等，隔振台座发生倾斜,导致精密设备、仪器仪表难以正常工作、为此 应设置校正倾斜装置。使隔振台座保持原有的水平度.以保证精密设备.仪器仪表的正常运行.隔振系统阻尼过小,会产生较大的自振,以及受外界突发干扰、如对隔振台座的冲击.室内气流的扰动影响等,造成隔振台座晃动,这种振动值有时会大于精密设备.仪器仪表的容许振动值，影响其正常运行、为此应增大隔振系统阻尼值.才能减小此类振动，通过多项工程实践表明,隔振系统阻尼比不小于0、15是比较恰当的,4、5。5.空气弹簧的垂直向。横向刚度很低 使隔振系统具有很低的固有振动频率。同时它具有可调节阻尼值的特性 隔振系统可获得需要的阻尼.因此、隔振系统具有良好的隔振效果 当配用高精度控制阀时 可自动校正隔振台座的倾斜、由于空气弹簧具有其他隔振材料及隔振器不可替代的优越性,已被我国及国际工程界普遍采用作为精密设备，仪器仪表的隔振元件、用于被动隔振措施的空气弹簧隔振装置由空气弹簧隔振器,高精度控制阀 仪表箱及气源组成、由于空气弹簧隔振装置在校正隔振台座倾斜时会排出气体、如压缩空气 氮气等.因此对气源应进行净化处理，使其达到洁净室的空气洁净度等级，才能保证排出的气体不致对洁净室造成污染，