4,5 微振控制4 5,1。有微振控制要求的洁净厂房。设计应考虑建筑结构的选型及地面,楼面。的构造做法,如增加基础及上部结构垂直及横向刚度.增加地面,楼面、刚度。能有效减小振动影响 此外,还应考虑隔振缝设置及其有效的构造措施 壁板与地面及顶棚采用柔性连接等,均能减小振动传递 即减小了对精密设备 仪器仪表的振动影响,在洁净厂房设计中,应首先考虑对强振源采取隔振措施。以减小强振源对精密设备、仪器仪表的振动影响.在此基础上、精密设备.仪器仪表再根据各自的容许振动值采取被动隔振措施,就大致能够达到预定目的,在原规范中,本条为强制性条文.虽然明确规定本条只用于有微振控制要求的洁净厂房,但由于没有量化的规定、容易引起执行不准确的问题,实施以来确有此种情况发生。为此本次修订将本条改为推荐性条文,4,5 4,精密设备、仪器仪表的被动隔振措施.由隔振台座及隔振器,或隔振装置。组成 根据隔振设计计算需要、设定隔振台座为不变形刚体,为此应对隔振台座的形状。几何尺寸及材质选用等方面加以考虑 使之具有足够的刚度 某些精密设备.仪器仪表在运行时 由于移动部件位置变化或加工.测试件的质量及质心位置变化.使各隔振器的变形量不相等 隔振台座发生倾斜 导致精密设备 仪器仪表难以正常工作 为此,应设置校正倾斜装置。使隔振台座保持原有的水平度。以保证精密设备.仪器仪表的正常运行、隔振系统阻尼过小 会产生较大的自振 以及受外界突发干扰,如对隔振台座的冲击,室内气流的扰动影响等。造成隔振台座晃动,这种振动值有时会大于精密设备,仪器仪表的容许振动值,影响其正常运行 为此应增大隔振系统阻尼值,才能减小此类振动、通过多项工程实践表明,隔振系统阻尼比不小于0。15是比较恰当的,4 5。5 空气弹簧的垂直向。横向刚度很低,使隔振系统具有很低的固有振动频率、同时它具有可调节阻尼值的特性,隔振系统可获得需要的阻尼 因此,隔振系统具有良好的隔振效果 当配用高精度控制阀时、可自动校正隔振台座的倾斜 由于空气弹簧具有其他隔振材料及隔振器不可替代的优越性.已被我国及国际工程界普遍采用作为精密设备。仪器仪表的隔振元件.用于被动隔振措施的空气弹簧隔振装置由空气弹簧隔振器,高精度控制阀.仪表箱及气源组成,由于空气弹簧隔振装置在校正隔振台座倾斜时会排出气体,如压缩空气 氮气等,因此对气源应进行净化处理,使其达到洁净室的空气洁净度等级,才能保证排出的气体不致对洁净室造成污染、