4,5 微振控制4。5。1、有微振控制要求的洁净厂房、设计应考虑建筑结构的选型及地面 楼面 的构造做法、如增加基础及上部结构垂直及横向刚度.增加地面，楼面。刚度，能有效减小振动影响.此外。还应考虑隔振缝设置及其有效的构造措施 壁板与地面及顶棚采用柔性连接等,均能减小振动传递,即减小了对精密设备、仪器仪表的振动影响.在洁净厂房设计中 应首先考虑对强振源采取隔振措施.以减小强振源对精密设备、仪器仪表的振动影响.在此基础上.精密设备。仪器仪表再根据各自的容许振动值采取被动隔振措施，就大致能够达到预定目的.在原规范中 本条为强制性条文.虽然明确规定本条只用于有微振控制要求的洁净厂房,但由于没有量化的规定、容易引起执行不准确的问题，实施以来确有此种情况发生。为此本次修订将本条改为推荐性条文,4、5、4,精密设备,仪器仪表的被动隔振措施.由隔振台座及隔振器、或隔振装置、组成，根据隔振设计计算需要 设定隔振台座为不变形刚体,为此应对隔振台座的形状。几何尺寸及材质选用等方面加以考虑 使之具有足够的刚度.某些精密设备.仪器仪表在运行时，由于移动部件位置变化或加工、测试件的质量及质心位置变化,使各隔振器的变形量不相等.隔振台座发生倾斜、导致精密设备.仪器仪表难以正常工作，为此,应设置校正倾斜装置、使隔振台座保持原有的水平度、以保证精密设备，仪器仪表的正常运行。隔振系统阻尼过小。会产生较大的自振,以及受外界突发干扰,如对隔振台座的冲击，室内气流的扰动影响等、造成隔振台座晃动、这种振动值有时会大于精密设备,仪器仪表的容许振动值.影响其正常运行.为此应增大隔振系统阻尼值。才能减小此类振动,通过多项工程实践表明,隔振系统阻尼比不小于0。15是比较恰当的 4。5。5 空气弹簧的垂直向，横向刚度很低，使隔振系统具有很低的固有振动频率，同时它具有可调节阻尼值的特性、隔振系统可获得需要的阻尼 因此，隔振系统具有良好的隔振效果 当配用高精度控制阀时,可自动校正隔振台座的倾斜,由于空气弹簧具有其他隔振材料及隔振器不可替代的优越性、已被我国及国际工程界普遍采用作为精密设备、仪器仪表的隔振元件.用于被动隔振措施的空气弹簧隔振装置由空气弹簧隔振器.高精度控制阀,仪表箱及气源组成，由于空气弹簧隔振装置在校正隔振台座倾斜时会排出气体.如压缩空气。氮气等，因此对气源应进行净化处理.使其达到洁净室的空气洁净度等级。才能保证排出的气体不致对洁净室造成污染，