4,5、微振控制4、5,1,有微振控制要求的洁净厂房,设计应考虑建筑结构的选型及地面.楼面 的构造做法,如增加基础及上部结构垂直及横向刚度 增加地面。楼面,刚度,能有效减小振动影响.此外,还应考虑隔振缝设置及其有效的构造措施,壁板与地面及顶棚采用柔性连接等,均能减小振动传递,即减小了对精密设备,仪器仪表的振动影响,在洁净厂房设计中。应首先考虑对强振源采取隔振措施,以减小强振源对精密设备,仪器仪表的振动影响。在此基础上、精密设备,仪器仪表再根据各自的容许振动值采取被动隔振措施 就大致能够达到预定目的。在原规范中,本条为强制性条文。虽然明确规定本条只用于有微振控制要求的洁净厂房、但由于没有量化的规定 容易引起执行不准确的问题 实施以来确有此种情况发生,为此本次修订将本条改为推荐性条文 4。5 4,精密设备。仪器仪表的被动隔振措施、由隔振台座及隔振器.或隔振装置,组成 根据隔振设计计算需要、设定隔振台座为不变形刚体,为此应对隔振台座的形状.几何尺寸及材质选用等方面加以考虑。使之具有足够的刚度。某些精密设备、仪器仪表在运行时,由于移动部件位置变化或加工。测试件的质量及质心位置变化.使各隔振器的变形量不相等。隔振台座发生倾斜、导致精密设备。仪器仪表难以正常工作 为此。应设置校正倾斜装置.使隔振台座保持原有的水平度.以保证精密设备,仪器仪表的正常运行.隔振系统阻尼过小。会产生较大的自振、以及受外界突发干扰,如对隔振台座的冲击,室内气流的扰动影响等。造成隔振台座晃动.这种振动值有时会大于精密设备,仪器仪表的容许振动值.影响其正常运行 为此应增大隔振系统阻尼值,才能减小此类振动,通过多项工程实践表明 隔振系统阻尼比不小于0,15是比较恰当的,4 5。5、空气弹簧的垂直向、横向刚度很低,使隔振系统具有很低的固有振动频率 同时它具有可调节阻尼值的特性.隔振系统可获得需要的阻尼.因此、隔振系统具有良好的隔振效果,当配用高精度控制阀时。可自动校正隔振台座的倾斜.由于空气弹簧具有其他隔振材料及隔振器不可替代的优越性,已被我国及国际工程界普遍采用作为精密设备、仪器仪表的隔振元件,用于被动隔振措施的空气弹簧隔振装置由空气弹簧隔振器 高精度控制阀,仪表箱及气源组成,由于空气弹簧隔振装置在校正隔振台座倾斜时会排出气体 如压缩空气。氮气等,因此对气源应进行净化处理、使其达到洁净室的空气洁净度等级 才能保证排出的气体不致对洁净室造成污染、
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