4。5。微振控制4,5.1。有微振控制要求的洁净厂房,设计应考虑建筑结构的选型及地面,楼面。的构造做法,如增加基础及上部结构垂直及横向刚度.增加地面、楼面。刚度.能有效减小振动影响,此外,还应考虑隔振缝设置及其有效的构造措施 壁板与地面及顶棚采用柔性连接等,均能减小振动传递.即减小了对精密设备 仪器仪表的振动影响.在洁净厂房设计中.应首先考虑对强振源采取隔振措施.以减小强振源对精密设备,仪器仪表的振动影响.在此基础上,精密设备 仪器仪表再根据各自的容许振动值采取被动隔振措施。就大致能够达到预定目的,在原规范中.本条为强制性条文.虽然明确规定本条只用于有微振控制要求的洁净厂房,但由于没有量化的规定。容易引起执行不准确的问题,实施以来确有此种情况发生 为此本次修订将本条改为推荐性条文。4.5.4、精密设备,仪器仪表的被动隔振措施.由隔振台座及隔振器.或隔振装置。组成。根据隔振设计计算需要,设定隔振台座为不变形刚体.为此应对隔振台座的形状,几何尺寸及材质选用等方面加以考虑、使之具有足够的刚度,某些精密设备、仪器仪表在运行时,由于移动部件位置变化或加工.测试件的质量及质心位置变化,使各隔振器的变形量不相等、隔振台座发生倾斜。导致精密设备 仪器仪表难以正常工作.为此、应设置校正倾斜装置 使隔振台座保持原有的水平度。以保证精密设备,仪器仪表的正常运行。隔振系统阻尼过小 会产生较大的自振、以及受外界突发干扰.如对隔振台座的冲击.室内气流的扰动影响等.造成隔振台座晃动,这种振动值有时会大于精密设备、仪器仪表的容许振动值、影响其正常运行,为此应增大隔振系统阻尼值。才能减小此类振动.通过多项工程实践表明,隔振系统阻尼比不小于0,15是比较恰当的,4,5。5,空气弹簧的垂直向 横向刚度很低,使隔振系统具有很低的固有振动频率。同时它具有可调节阻尼值的特性,隔振系统可获得需要的阻尼,因此,隔振系统具有良好的隔振效果,当配用高精度控制阀时,可自动校正隔振台座的倾斜.由于空气弹簧具有其他隔振材料及隔振器不可替代的优越性、已被我国及国际工程界普遍采用作为精密设备 仪器仪表的隔振元件.用于被动隔振措施的空气弹簧隔振装置由空气弹簧隔振器、高精度控制阀、仪表箱及气源组成.由于空气弹簧隔振装置在校正隔振台座倾斜时会排出气体、如压缩空气,氮气等.因此对气源应进行净化处理,使其达到洁净室的空气洁净度等级、才能保证排出的气体不致对洁净室造成污染、