4,5 微振控制4,5 1 有微振控制要求的洁净厂房.设计应考虑建筑结构的选型及地面。楼面.的构造做法、如增加基础及上部结构垂直及横向刚度、增加地面、楼面,刚度 能有效减小振动影响,此外、还应考虑隔振缝设置及其有效的构造措施,壁板与地面及顶棚采用柔性连接等,均能减小振动传递。即减小了对精密设备。仪器仪表的振动影响.在洁净厂房设计中,应首先考虑对强振源采取隔振措施 以减小强振源对精密设备 仪器仪表的振动影响 在此基础上,精密设备 仪器仪表再根据各自的容许振动值采取被动隔振措施。就大致能够达到预定目的 在原规范中,本条为强制性条文,虽然明确规定本条只用于有微振控制要求的洁净厂房。但由于没有量化的规定、容易引起执行不准确的问题.实施以来确有此种情况发生,为此本次修订将本条改为推荐性条文,4 5,4.精密设备、仪器仪表的被动隔振措施,由隔振台座及隔振器、或隔振装置,组成.根据隔振设计计算需要,设定隔振台座为不变形刚体 为此应对隔振台座的形状,几何尺寸及材质选用等方面加以考虑、使之具有足够的刚度,某些精密设备 仪器仪表在运行时,由于移动部件位置变化或加工.测试件的质量及质心位置变化,使各隔振器的变形量不相等 隔振台座发生倾斜.导致精密设备.仪器仪表难以正常工作。为此 应设置校正倾斜装置,使隔振台座保持原有的水平度、以保证精密设备 仪器仪表的正常运行,隔振系统阻尼过小,会产生较大的自振.以及受外界突发干扰,如对隔振台座的冲击.室内气流的扰动影响等 造成隔振台座晃动 这种振动值有时会大于精密设备,仪器仪表的容许振动值,影响其正常运行 为此应增大隔振系统阻尼值,才能减小此类振动 通过多项工程实践表明.隔振系统阻尼比不小于0。15是比较恰当的 4 5,5.空气弹簧的垂直向,横向刚度很低 使隔振系统具有很低的固有振动频率,同时它具有可调节阻尼值的特性,隔振系统可获得需要的阻尼 因此,隔振系统具有良好的隔振效果、当配用高精度控制阀时,可自动校正隔振台座的倾斜 由于空气弹簧具有其他隔振材料及隔振器不可替代的优越性,已被我国及国际工程界普遍采用作为精密设备、仪器仪表的隔振元件、用于被动隔振措施的空气弹簧隔振装置由空气弹簧隔振器 高精度控制阀 仪表箱及气源组成、由于空气弹簧隔振装置在校正隔振台座倾斜时会排出气体、如压缩空气.氮气等。因此对气源应进行净化处理 使其达到洁净室的空气洁净度等级,才能保证排出的气体不致对洁净室造成污染