9，5、静电防护及接地9 5.1。洁净厂房应根据工艺生产要求采取静电防护措施.9.5,2、洁净室。区 内的防静电地面 其性能应符合下列规定。1，地面的面层应具有导电性能。并应保持长时间性能稳定,2 地面的面层应采用静电耗散性的材料。其表面电阻率应为1、0。105Ω。1,0 1012Ω。或体积电阻率为1 0。104Ω，cm，1.0 1011Ω cm、3,地面应设有导电泄放措施和接地构造、其对地泄放电阻值应为1,0、105Ω，1,0 109Ω、9 5.3，洁净室的净化空调系统应采取防静电接地措施.9，5 4 洁净室内可能产生静电危害的设备、流动液体,气体或粉体管道应采取防静电接地措施.其中有爆炸和火灾危险场所的设备，管道应符合现行国家标准，爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范.GB、50058的有关规定，9。5、5.防静电接地系统应分别按不同要求设置接地连接端子.在一个房间内应设置等电位的接地网格或闭合的接地铜排环 在防静电接地系统各个连接部位之间电阻值应小于0,1Ω。9，5 6，洁净厂房内不同功能的接地系统的设计均应遵循等电位联结的原则,其中直流接地系统不能与交流接地系统混接 直流工作接地的接地干线应单独绝缘敷设.并应使用绝缘屏蔽电缆，9，5.7、接地系统采用综合接地方式时接地电阻值应小于或等于1Ω。选择分散接地方式时,各种功能接地系统的接地体必须远离防雷接地系统的接地体，两者应保持20m以上的间距、洁净厂房的防雷接地系统设计应符合现行国家标准.建筑物防雷设计规范，GB、50057的有关规定,