9 5，静电防护及接地9。5，1,洁净厂房应根据工艺生产要求采取静电防护措施,9、5 2,洁净室。区、内的防静电地面，其性能应符合下列规定 1，地面的面层应具有导电性能,并应保持长时间性能稳定，2.地面的面层应采用静电耗散性的材料.其表面电阻率应为1.0 105Ω、1 0.1012Ω，或体积电阻率为1 0、104Ω、cm，1,0 1011Ω，cm 3,地面应设有导电泄放措施和接地构造，其对地泄放电阻值应为1.0，105Ω。1 0,109Ω、9,5，3，洁净室的净化空调系统应采取防静电接地措施,9，5 4,洁净室内可能产生静电危害的设备，流动液体、气体或粉体管道应采取防静电接地措施，其中有爆炸和火灾危险场所的设备。管道应符合现行国家标准、爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范。GB.50058的有关规定 9 5 5、防静电接地系统应分别按不同要求设置接地连接端子.在一个房间内应设置等电位的接地网格或闭合的接地铜排环，在防静电接地系统各个连接部位之间电阻值应小于0。1Ω。9 5。6 洁净厂房内不同功能的接地系统的设计均应遵循等电位联结的原则、其中直流接地系统不能与交流接地系统混接，直流工作接地的接地干线应单独绝缘敷设，并应使用绝缘屏蔽电缆、9、5。7、接地系统采用综合接地方式时接地电阻值应小于或等于1Ω.选择分散接地方式时、各种功能接地系统的接地体必须远离防雷接地系统的接地体 两者应保持20m以上的间距，洁净厂房的防雷接地系统设计应符合现行国家标准.建筑物防雷设计规范，GB,50057的有关规定