9、5、静电防护及接地9.5.1.洁净厂房应根据工艺生产要求采取静电防护措施,9.5，2,洁净室，区,内的防静电地面、其性能应符合下列规定 1，地面的面层应具有导电性能、并应保持长时间性能稳定,2，地面的面层应采用静电耗散性的材料，其表面电阻率应为1,0.105Ω、1。0 1012Ω.或体积电阻率为1,0、104Ω,cm。1。0,1011Ω，cm.3.地面应设有导电泄放措施和接地构造、其对地泄放电阻值应为1,0 105Ω,1,0、109Ω，9 5.3、洁净室的净化空调系统应采取防静电接地措施.9、5、4.洁净室内可能产生静电危害的设备。流动液体.气体或粉体管道应采取防静电接地措施。其中有爆炸和火灾危险场所的设备,管道应符合现行国家标准 爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范。GB,50058的有关规定 9，5、5 防静电接地系统应分别按不同要求设置接地连接端子，在一个房间内应设置等电位的接地网格或闭合的接地铜排环 在防静电接地系统各个连接部位之间电阻值应小于0 1Ω。9,5,6 洁净厂房内不同功能的接地系统的设计均应遵循等电位联结的原则.其中直流接地系统不能与交流接地系统混接。直流工作接地的接地干线应单独绝缘敷设,并应使用绝缘屏蔽电缆，9 5,7。接地系统采用综合接地方式时接地电阻值应小于或等于1Ω.选择分散接地方式时.各种功能接地系统的接地体必须远离防雷接地系统的接地体、两者应保持20m以上的间距,洁净厂房的防雷接地系统设计应符合现行国家标准，建筑物防雷设计规范，GB 50057的有关规定。