9，5、静电防护及接地9,5 1,洁净厂房应根据工艺生产要求采取静电防护措施，9，5。2,洁净室 区。内的防静电地面.其性能应符合下列规定,1.地面的面层应具有导电性能 并应保持长时间性能稳定，2、地面的面层应采用静电耗散性的材料，其表面电阻率应为1 0、105Ω、1，0，1012Ω.或体积电阻率为1,0。104Ω。cm,1,0.1011Ω cm，3。地面应设有导电泄放措施和接地构造 其对地泄放电阻值应为1、0 105Ω、1，0、109Ω.9 5 3.洁净室的净化空调系统应采取防静电接地措施、9。5。4 洁净室内可能产生静电危害的设备.流动液体 气体或粉体管道应采取防静电接地措施 其中有爆炸和火灾危险场所的设备。管道应符合现行国家标准，爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范。GB 50058的有关规定。9,5，5.防静电接地系统应分别按不同要求设置接地连接端子 在一个房间内应设置等电位的接地网格或闭合的接地铜排环 在防静电接地系统各个连接部位之间电阻值应小于0。1Ω，9,5.6 洁净厂房内不同功能的接地系统的设计均应遵循等电位联结的原则、其中直流接地系统不能与交流接地系统混接，直流工作接地的接地干线应单独绝缘敷设。并应使用绝缘屏蔽电缆、9 5、7。接地系统采用综合接地方式时接地电阻值应小于或等于1Ω.选择分散接地方式时。各种功能接地系统的接地体必须远离防雷接地系统的接地体 两者应保持20m以上的间距 洁净厂房的防雷接地系统设计应符合现行国家标准、建筑物防雷设计规范、GB，50057的有关规定、