9,5.静电防护及接地9，5、1 洁净厂房应根据工艺生产要求采取静电防护措施、9,5.2，洁净室，区、内的防静电地面，其性能应符合下列规定，1.地面的面层应具有导电性能。并应保持长时间性能稳定,2.地面的面层应采用静电耗散性的材料，其表面电阻率应为1、0 105Ω,1.0。1012Ω、或体积电阻率为1,0、104Ω，cm。1、0、1011Ω，cm、3、地面应设有导电泄放措施和接地构造。其对地泄放电阻值应为1、0。105Ω。1，0，109Ω。9.5，3。洁净室的净化空调系统应采取防静电接地措施、9、5 4 洁净室内可能产生静电危害的设备、流动液体。气体或粉体管道应采取防静电接地措施,其中有爆炸和火灾危险场所的设备 管道应符合现行国家标准 爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范,GB.50058的有关规定、9，5，5.防静电接地系统应分别按不同要求设置接地连接端子、在一个房间内应设置等电位的接地网格或闭合的接地铜排环,在防静电接地系统各个连接部位之间电阻值应小于0，1Ω、9 5、6 洁净厂房内不同功能的接地系统的设计均应遵循等电位联结的原则,其中直流接地系统不能与交流接地系统混接.直流工作接地的接地干线应单独绝缘敷设。并应使用绝缘屏蔽电缆 9,5 7。接地系统采用综合接地方式时接地电阻值应小于或等于1Ω,选择分散接地方式时.各种功能接地系统的接地体必须远离防雷接地系统的接地体，两者应保持20m以上的间距.洁净厂房的防雷接地系统设计应符合现行国家标准。建筑物防雷设计规范，GB 50057的有关规定,