9 5、静电防护及接地9.5 1.洁净厂房应根据工艺生产要求采取静电防护措施.9、5、2,洁净室.区，内的防静电地面、其性能应符合下列规定 1.地面的面层应具有导电性能，并应保持长时间性能稳定，2，地面的面层应采用静电耗散性的材料 其表面电阻率应为1,0 105Ω，1、0，1012Ω。或体积电阻率为1,0,104Ω，cm，1。0，1011Ω、cm。3。地面应设有导电泄放措施和接地构造，其对地泄放电阻值应为1,0、105Ω。1 0、109Ω，9，5,3、洁净室的净化空调系统应采取防静电接地措施.9,5。4、洁净室内可能产生静电危害的设备,流动液体.气体或粉体管道应采取防静电接地措施,其中有爆炸和火灾危险场所的设备.管道应符合现行国家标准。爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范 GB、50058的有关规定、9。5。5，防静电接地系统应分别按不同要求设置接地连接端子 在一个房间内应设置等电位的接地网格或闭合的接地铜排环.在防静电接地系统各个连接部位之间电阻值应小于0。1Ω。9.5、6 洁净厂房内不同功能的接地系统的设计均应遵循等电位联结的原则。其中直流接地系统不能与交流接地系统混接.直流工作接地的接地干线应单独绝缘敷设.并应使用绝缘屏蔽电缆.9.5,7，接地系统采用综合接地方式时接地电阻值应小于或等于1Ω,选择分散接地方式时.各种功能接地系统的接地体必须远离防雷接地系统的接地体.两者应保持20m以上的间距，洁净厂房的防雷接地系统设计应符合现行国家标准,建筑物防雷设计规范 GB。50057的有关规定、