9、5。静电防护及接地9，5,1.洁净厂房应根据工艺生产要求采取静电防护措施、9.5，2 洁净室，区 内的防静电地面、其性能应符合下列规定 1.地面的面层应具有导电性能、并应保持长时间性能稳定，2。地面的面层应采用静电耗散性的材料、其表面电阻率应为1。0,105Ω 1.0，1012Ω,或体积电阻率为1，0、104Ω.cm、1,0.1011Ω cm,3 地面应设有导电泄放措施和接地构造。其对地泄放电阻值应为1,0。105Ω。1。0 109Ω，9 5。3.洁净室的净化空调系统应采取防静电接地措施 9.5、4、洁净室内可能产生静电危害的设备、流动液体 气体或粉体管道应采取防静电接地措施.其中有爆炸和火灾危险场所的设备，管道应符合现行国家标准，爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范,GB，50058的有关规定。9,5、5。防静电接地系统应分别按不同要求设置接地连接端子.在一个房间内应设置等电位的接地网格或闭合的接地铜排环 在防静电接地系统各个连接部位之间电阻值应小于0。1Ω、9，5。6，洁净厂房内不同功能的接地系统的设计均应遵循等电位联结的原则 其中直流接地系统不能与交流接地系统混接、直流工作接地的接地干线应单独绝缘敷设、并应使用绝缘屏蔽电缆，9.5。7,接地系统采用综合接地方式时接地电阻值应小于或等于1Ω 选择分散接地方式时、各种功能接地系统的接地体必须远离防雷接地系统的接地体。两者应保持20m以上的间距、洁净厂房的防雷接地系统设计应符合现行国家标准,建筑物防雷设计规范，GB，50057的有关规定、