9.5、静电防护及接地9 5，1。洁净厂房应根据工艺生产要求采取静电防护措施、9。5 2.洁净室。区.内的防静电地面、其性能应符合下列规定,1 地面的面层应具有导电性能。并应保持长时间性能稳定。2.地面的面层应采用静电耗散性的材料,其表面电阻率应为1、0,105Ω.1、0.1012Ω、或体积电阻率为1 0、104Ω、cm。1 0、1011Ω.cm。3。地面应设有导电泄放措施和接地构造。其对地泄放电阻值应为1。0。105Ω.1 0、109Ω、9、5 3、洁净室的净化空调系统应采取防静电接地措施。9.5.4,洁净室内可能产生静电危害的设备 流动液体。气体或粉体管道应采取防静电接地措施、其中有爆炸和火灾危险场所的设备,管道应符合现行国家标准 爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范 GB 50058的有关规定。9 5,5。防静电接地系统应分别按不同要求设置接地连接端子，在一个房间内应设置等电位的接地网格或闭合的接地铜排环，在防静电接地系统各个连接部位之间电阻值应小于0 1Ω,9 5、6、洁净厂房内不同功能的接地系统的设计均应遵循等电位联结的原则。其中直流接地系统不能与交流接地系统混接.直流工作接地的接地干线应单独绝缘敷设 并应使用绝缘屏蔽电缆、9,5、7、接地系统采用综合接地方式时接地电阻值应小于或等于1Ω。选择分散接地方式时 各种功能接地系统的接地体必须远离防雷接地系统的接地体。两者应保持20m以上的间距、洁净厂房的防雷接地系统设计应符合现行国家标准 建筑物防雷设计规范，GB。50057的有关规定，