4 4.噪声控制4、4 1。洁净室内的空态噪声级、非单向流洁净室不应大于60dB A、单向流.混合流洁净室不应大于65dB、A。4,4、2。洁净室的噪声频谱限制应采用倍频程声压级。空态噪声频谱的限制值不宜大于表4 4.2中的规定.表4.4 2,空态噪声频谱的限制值4 4、3,洁净厂房的平面和空间设计应考虑噪声控制要求、洁净室的围护结构应有良好的隔声性能,并宜使其各部分隔声量相接近.4,4,4、洁净室内的各种设备均应选用低噪声产品 对于辐射噪声值超过洁净室允许值的设备,宜设置专用隔声或消声设施 4,4,5 净化空调系统噪声超过允许值时。应采取隔声 消声。隔振等控制措施,除事故排风外 洁净室内的排风系统应进行减噪设计。4,4、6,根据室内容许噪声级要求,净化空调系统风管内风速宜符合下列规定。1。总风管风速宜为6m,s、10m。s。2 无送.回风口的支风管风速宜为4m,s,6m s,3。有送,回风口的支风管风速宜为2m。s.5m.s
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