6,2、洁净室压差控制6、2.1、洁净室。区,与周围的空间必须维持一定的压差 并应按工艺要求决定维持正压差或负压差 6 2 2,不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5Pa,洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa、洁净区与室外的压差不应小于10Pa,6。2,3、洁净室维持不同的压差值所需的压差风量,根据洁净室特点、宜采用缝隙法或换气次数法确定,6.2 4,送风.回风和排风系统的启闭宜联锁。正压洁净室联锁程序应先启动送风机,再启动回风机和排风机.关闭时联锁程序应相反,负压洁净室联锁程序应与上述正压洁净室相反,6,2、5、非连续运行的洁净室,可根据生产工艺要求设置值班送风、并应进行净化空调处理.

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