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3.空气洁净度等级3,0、1。洁净室及洁净区内空气中悬浮粒子空气洁净度等级应符合下列规定,1、洁净室及洁净区空气洁净度整数等级应按表3,0。1确定。表3,0,1。洁净室及洁净区空气洁净度整数等级注 按不同的测量方法,各等级水平的浓度数据的有效数字不应超过3位,2.各种要求粒径D的最大浓度限值Cn应按下式计算,式中.Cn。大于或等于要求粒径的最大浓度限值、pc。m3 Cn是四舍五入至相近的整数,有效位数不超过三位数.N、空气洁净度等级,数字不超过9,洁净度等级整数之间的中间数可以按0,1为最小允许递增量。D、要求的粒径.μm,0、1、常数,其量纲为μm。3.当工艺要求粒径不止一个时,相邻两粒径中的大者与小者之比不得小于1.5倍。4、空气洁净度等级的粒径范围应为0.1μm,0.5μm.超出粒径范围时可采用U描述符或M描述符补充说明,3,0,2 空气洁净度等级所处状态包括空态 静态.动态。空气洁净度等级所处状态应与业主协商确定、3。0.3.空气洁净度的测试方法应按本规范附录A的要求进行。3。0.4、当洁净室。区,内的产品生产工艺要求控制微生物,化学污染物时,应根据工艺特点对各空气洁净度等级规定相应的微生物,化学污染物浓度限值,
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