3、空气洁净度等级3、0,1。洁净室及洁净区内空气中悬浮粒子空气洁净度等级应符合下列规定,1.洁净室及洁净区空气洁净度整数等级应按表3、0。1确定.表3 0,1,洁净室及洁净区空气洁净度整数等级注,按不同的测量方法、各等级水平的浓度数据的有效数字不应超过3位.2 各种要求粒径D的最大浓度限值Cn应按下式计算。式中。Cn、大于或等于要求粒径的最大浓度限值,pc,m3,Cn是四舍五入至相近的整数。有效位数不超过三位数、N。空气洁净度等级,数字不超过9,洁净度等级整数之间的中间数可以按0 1为最小允许递增量 D。要求的粒径,μm、0 1 常数。其量纲为μm,3,当工艺要求粒径不止一个时 相邻两粒径中的大者与小者之比不得小于1.5倍 4。空气洁净度等级的粒径范围应为0 1μm,0,5μm,超出粒径范围时可采用U描述符或M描述符补充说明,3.0.2.空气洁净度等级所处状态包括空态,静态.动态.空气洁净度等级所处状态应与业主协商确定 3.0,3、空气洁净度的测试方法应按本规范附录A的要求进行.3,0 4 当洁净室。区、内的产品生产工艺要求控制微生物,化学污染物时,应根据工艺特点对各空气洁净度等级规定相应的微生物.化学污染物浓度限值.

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