6。3。气流流型和送风量6 3、1 气流流型的设计应符合下列规定 1，洁净室,区，的气流流型和送风量应符合表6、3,3的要求.空气洁净度等级要求严于4级时、应采用单向流、空气洁净度等级为4级,5级时,应采用单向流,空气洁净度等级为6级,9级时、应采用非单向流。2、洁净室工作区的气流分布应均匀.3，洁净室工作区的气流流速应符合生产工艺要求，6.3.2,洁净室的送风量应取下列三项中的最大值 1 满足空气洁净度等级要求的送风量、2 根据热.湿负荷计算确定的送风量 3.按本规范第6。1，5条的要求向洁净室内供给的新鲜空气量。6,3,3,为保证空气洁净度等级的送风量，应按表6,3,3中的有关数据进行计算或按室内发尘量进行计算 表6。3 3.气流流型和送风量注 1 换气次数适用于层高小于4。0m的洁净室。2 应根据室内人员。工艺设备的布置以及物料传输等情况采用上、下限值 6.3、4，洁净室内各种设施的布置应考虑对气流流型和空气洁净度的影响。并应符合下列规定，1、单向流洁净室内不宜布置洁净工作台，非单向流洁净室的回风口宜远离洁净工作台。2.需排风的工艺设备宜布置在洁净室下风侧、3.有发热设备时、应采取措施减少热气流对气流分布的影响,4，余压阀宜布置在洁净气流的下风侧.