6、3、气流流型和送风量6 3。1、气流流型的设计应符合下列规定 1、洁净室,区。的气流流型和送风量应符合表6。3、3的要求。空气洁净度等级要求严于4级时、应采用单向流、空气洁净度等级为4级、5级时 应采用单向流,空气洁净度等级为6级 9级时 应采用非单向流 2、洁净室工作区的气流分布应均匀 3，洁净室工作区的气流流速应符合生产工艺要求 6、3.2.洁净室的送风量应取下列三项中的最大值 1、满足空气洁净度等级要求的送风量 2.根据热.湿负荷计算确定的送风量 3.按本规范第6，1，5条的要求向洁净室内供给的新鲜空气量 6、3。3，为保证空气洁净度等级的送风量。应按表6,3，3中的有关数据进行计算或按室内发尘量进行计算、表6、3、3。气流流型和送风量注,1、换气次数适用于层高小于4.0m的洁净室.2,应根据室内人员,工艺设备的布置以及物料传输等情况采用上,下限值,6 3。4,洁净室内各种设施的布置应考虑对气流流型和空气洁净度的影响，并应符合下列规定。1，单向流洁净室内不宜布置洁净工作台 非单向流洁净室的回风口宜远离洁净工作台，2。需排风的工艺设备宜布置在洁净室下风侧.3,有发热设备时，应采取措施减少热气流对气流分布的影响,4，余压阀宜布置在洁净气流的下风侧，