6，3。气流流型和送风量6.3,1,气流流型的设计应符合下列规定、1.洁净室、区.的气流流型和送风量应符合表6,3、3的要求,空气洁净度等级要求严于4级时，应采用单向流、空气洁净度等级为4级。5级时、应采用单向流.空气洁净度等级为6级,9级时 应采用非单向流,2,洁净室工作区的气流分布应均匀、3 洁净室工作区的气流流速应符合生产工艺要求、6，3、2,洁净室的送风量应取下列三项中的最大值.1,满足空气洁净度等级要求的送风量,2,根据热.湿负荷计算确定的送风量,3，按本规范第6、1 5条的要求向洁净室内供给的新鲜空气量,6.3,3、为保证空气洁净度等级的送风量，应按表6.3、3中的有关数据进行计算或按室内发尘量进行计算，表6 3,3、气流流型和送风量注，1、换气次数适用于层高小于4.0m的洁净室、2,应根据室内人员 工艺设备的布置以及物料传输等情况采用上、下限值,6、3，4 洁净室内各种设施的布置应考虑对气流流型和空气洁净度的影响.并应符合下列规定。1、单向流洁净室内不宜布置洁净工作台,非单向流洁净室的回风口宜远离洁净工作台.2.需排风的工艺设备宜布置在洁净室下风侧,3。有发热设备时 应采取措施减少热气流对气流分布的影响 4 余压阀宜布置在洁净气流的下风侧，