6,3,气流流型和送风量6 3.1、气流流型的设计应符合下列规定、1、洁净室.区 的气流流型和送风量应符合表6。3。3的要求.空气洁净度等级要求严于4级时，应采用单向流、空气洁净度等级为4级.5级时、应采用单向流 空气洁净度等级为6级，9级时,应采用非单向流、2。洁净室工作区的气流分布应均匀，3,洁净室工作区的气流流速应符合生产工艺要求，6,3.2 洁净室的送风量应取下列三项中的最大值 1，满足空气洁净度等级要求的送风量,2，根据热 湿负荷计算确定的送风量.3 按本规范第6，1、5条的要求向洁净室内供给的新鲜空气量。6 3.3。为保证空气洁净度等级的送风量 应按表6，3.3中的有关数据进行计算或按室内发尘量进行计算，表6.3，3,气流流型和送风量注、1.换气次数适用于层高小于4、0m的洁净室.2。应根据室内人员。工艺设备的布置以及物料传输等情况采用上.下限值 6、3,4.洁净室内各种设施的布置应考虑对气流流型和空气洁净度的影响.并应符合下列规定。1 单向流洁净室内不宜布置洁净工作台 非单向流洁净室的回风口宜远离洁净工作台,2、需排风的工艺设备宜布置在洁净室下风侧、3，有发热设备时,应采取措施减少热气流对气流分布的影响.4。余压阀宜布置在洁净气流的下风侧、