3,术语和定义、下列术语和定义适用于本文件。3,1 等离子体、plasma,由离子.电子和中性分子或原子组成的混合体、注 本标准的等离子体是由气体分子在电场作用下电离后形成的.3.2.过氧化氢气体等离子体低温灭菌器、low.temperature，hydrogen、peroxide。gas、plasma sterilizer.在60。下.用过氧化氢气体进行灭菌 并用等离子分解残留过氧化氢的装置 3。3 准备期 conditioning.stage 过氧化氢注入舱体前为准备灭菌进行真空和加热的过程.可有过氧化氢提纯,等离子体化过程.3,4。灭菌期.sterilization。stage，过氧化氢注入舱体,依靠过氧化氢气体在一定浓度,温度 压力下作用一定时间进行灭菌的过程.3、5、解析期。ventilation，stage,排出和分解过氧化氢气体的过程。包括真空排气。等离子体化过程.