3 术语和定义，下列术语和定义适用于本文件。3 1。等离子体、plasma 由离子，电子和中性分子或原子组成的混合体.注 本标准的等离子体是由气体分子在电场作用下电离后形成的。3.2。过氧化氢气体等离子体低温灭菌器，low。temperature。hydrogen，peroxide.gas.plasma.sterilizer，在60、下 用过氧化氢气体进行灭菌,并用等离子分解残留过氧化氢的装置 3。3，准备期，conditioning。stage.过氧化氢注入舱体前为准备灭菌进行真空和加热的过程,可有过氧化氢提纯，等离子体化过程 3，4。灭菌期，sterilization stage.过氧化氢注入舱体 依靠过氧化氢气体在一定浓度 温度,压力下作用一定时间进行灭菌的过程。3 5，解析期 ventilation,stage，排出和分解过氧化氢气体的过程,包括真空排气。等离子体化过程。