3,术语和定义、下列术语和定义适用于本文件、3 1、等离子体,plasma.由离子。电子和中性分子或原子组成的混合体,注。本标准的等离子体是由气体分子在电场作用下电离后形成的,3、2,过氧化氢气体等离子体低温灭菌器。low、temperature.hydrogen。peroxide。gas plasma,sterilizer，在60.下。用过氧化氢气体进行灭菌,并用等离子分解残留过氧化氢的装置.3。3.准备期,conditioning，stage.过氧化氢注入舱体前为准备灭菌进行真空和加热的过程，可有过氧化氢提纯。等离子体化过程.3,4，灭菌期,sterilization。stage 过氧化氢注入舱体、依靠过氧化氢气体在一定浓度。温度.压力下作用一定时间进行灭菌的过程,3。5。解析期。ventilation stage 排出和分解过氧化氢气体的过程，包括真空排气、等离子体化过程，