3.术语和定义，下列术语和定义适用于本文件,3。1 等离子体.plasma。由离子 电子和中性分子或原子组成的混合体。注、本标准的等离子体是由气体分子在电场作用下电离后形成的。3、2 过氧化氢气体等离子体低温灭菌器，low.temperature,hydrogen、peroxide gas，plasma,sterilizer，在60.下.用过氧化氢气体进行灭菌，并用等离子分解残留过氧化氢的装置,3、3、准备期。conditioning,stage、过氧化氢注入舱体前为准备灭菌进行真空和加热的过程、可有过氧化氢提纯、等离子体化过程,3,4 灭菌期.sterilization.stage.过氧化氢注入舱体。依靠过氧化氢气体在一定浓度，温度,压力下作用一定时间进行灭菌的过程 3、5。解析期，ventilation,stage,排出和分解过氧化氢气体的过程，包括真空排气 等离子体化过程，