7.3.气，体7。3。2。条文中规定风冷式空气压缩机设置热排风管道.这是为了防止热空气发生短路现象.导致设备因为冷却不当而停机.7、3。3 工程实践表明。干燥压缩空气输送露点低于 40.时。管道采用不锈钢无缝钢管 阀门采用球阀是合适的、7、3，4 由于微波集成组件工厂大宗气体用量相对较小，采用外购液态气储罐或瓶装气体方式供气可以满足生产需求.这也是目前微波集成组件工厂普遍采用的大宗气体供气方式、7，3。5.气体纯化装置是保证气体品质的重要设备 气体气源参数和使用参数是确定纯化装置的重要数据,终端纯化器靠近工艺设备是为了保证气体的品质，7 3,6，大宗气体管道和阀门的选择与工艺对气体品质的要求关联度较大，因此规定根据气体的纯度确定管道材料和阀门类型.可燃气体管道尽量采用波纹管阀 7 3。7。工艺真空系统管道材料根据工艺真空系统压力选用。7，3、9,常用的工艺真空管道材料为镀锌钢管或厚壁聚氯乙烯管道