7 3 气,体7。3。2。条文中规定风冷式空气压缩机设置热排风管道。这是为了防止热空气发生短路现象,导致设备因为冷却不当而停机,7。3.3.工程实践表明、干燥压缩空气输送露点低于。40,时、管道采用不锈钢无缝钢管.阀门采用球阀是合适的、7，3，4、由于微波集成组件工厂大宗气体用量相对较小 采用外购液态气储罐或瓶装气体方式供气可以满足生产需求.这也是目前微波集成组件工厂普遍采用的大宗气体供气方式.7。3。5。气体纯化装置是保证气体品质的重要设备。气体气源参数和使用参数是确定纯化装置的重要数据 终端纯化器靠近工艺设备是为了保证气体的品质,7。3 6,大宗气体管道和阀门的选择与工艺对气体品质的要求关联度较大,因此规定根据气体的纯度确定管道材料和阀门类型,可燃气体管道尽量采用波纹管阀，7，3,7,工艺真空系统管道材料根据工艺真空系统压力选用 7、3.9，常用的工艺真空管道材料为镀锌钢管或厚壁聚氯乙烯管道,