14、空间管理14,1、一般规定14、1。1 本条明确了薄膜晶体管液晶显示器工厂空间管理进行管线综合时应满足的基本要求。薄膜晶体管液晶显示器工厂内管线庞杂。主要包括下列管线.1，工艺管线 含压缩空气,大宗气体 工艺真空,清扫真空。特种气体.纯水、工艺废水 工艺循环冷却水.化学品供应、化学品回收。局部工艺排风等管线。2，公用管线。含一般给排水、消防,送风 回风。全室排风.排烟。冷冻水等管线,3,电气管线、含工艺设备.公用设备.照明等使用的母线 桥架、14,1，2 14，1、4.厂房的层高是调研了部分薄膜晶体管液晶显示器工厂总结的一个高度.随着薄膜晶体管液晶显示器的尺寸变大。厂房的高度也在不断增高。以满足生产工艺的需要，各世代薄膜晶体管液晶显示器工厂洁净生产层和技术夹层净高可参考表5.表5 各世代薄膜晶体管液晶显示器工厂洁净生产层和技术夹层净高示例。m，