14 空间管理14.1、一般规定14,1 1,空间管理设计应符合下列规定.1,工艺设备平面布置。运行,维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高,2,一般给水排水 纯水、工艺冷却循环水.废水处理、消防等设备外形尺寸、平面布置、运行。维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高,3。洁净,采暖、送风,排风。冷冻水等设备的外形尺寸。平面布置、运行、维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高,4,冷,热源,大宗气体供应。压缩空气站,真空泵房,特种气体站房内设备的外形尺寸。平面布置。运行,维修,安装及主要配管应满足最小安全距离及占用标高、5 化学品供应及回收设备外形尺寸。平面布置、运行。维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高 6,电气设备、照明灯具等设备的平面布置和电缆桥架,母线槽等配管应满足最小安全距离及占用标高。14,1.2、洁净生产层净高应按工艺设备和物料运输设备尺寸.微环境装置及洁净气流控制等因素确定、阵列.彩膜.成盒区域不宜低于4m 模组区域不宜低于3m。14 1、3。下技术夹层净高应按照工艺辅助设备尺寸及其搬入高度、管线布置。洁净气流控制等因素确定 不宜低于4m 14、1,4,上技术夹层净高应按照空调设备。管线布置。洁净气流控制等因素确定.不宜低于3m。

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