14 空间管理14、1，一般规定14,1，1,空间管理设计应符合下列规定、1.工艺设备平面布置。运行 维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高。2。一般给水排水 纯水.工艺冷却循环水.废水处理.消防等设备外形尺寸.平面布置，运行.维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高 3 洁净.采暖，送风，排风、冷冻水等设备的外形尺寸、平面布置。运行、维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高 4，冷 热源、大宗气体供应。压缩空气站。真空泵房.特种气体站房内设备的外形尺寸、平面布置、运行，维修,安装及主要配管应满足最小安全距离及占用标高。5、化学品供应及回收设备外形尺寸,平面布置，运行，维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高,6,电气设备 照明灯具等设备的平面布置和电缆桥架、母线槽等配管应满足最小安全距离及占用标高、14.1 2.洁净生产层净高应按工艺设备和物料运输设备尺寸、微环境装置及洁净气流控制等因素确定 阵列 彩膜。成盒区域不宜低于4m，模组区域不宜低于3m 14，1、3 下技术夹层净高应按照工艺辅助设备尺寸及其搬入高度 管线布置.洁净气流控制等因素确定 不宜低于4m,14，1,4.上技术夹层净高应按照空调设备 管线布置、洁净气流控制等因素确定 不宜低于3m,